公开(公告)号：KR101406085B1

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：KR1020130081539

申请日：2013-07-11

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  이봉기 ,  김지관

IPC: H01L41/00 ,  G01L1/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: H01L41/18 ,  G01L9/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193

Abstract: The present invention relates to a manufacturing method of a graphene/PDMS composite and a graphene/PDMS composite manufactured by the same. More specifically, the present invention relates to the manufacturing method of the graphene/PDMS nanocomposite which can be used for a highly sensitive sensor, and the graphene/PDMS nanocomposite manufactured by the same. According to the present invention, the manufacturing method not only is simple and easy, but also provides a material for a highly sensitive sensor which can be easily applied to various objects such as a large structure.

Abstract translation: 本发明涉及石墨烯/ PDMS复合材料的制造方法以及由其制造的石墨烯/ PDMS复合材料。 更具体地，本发明涉及可用于高灵敏度传感器的石墨烯/ PDMS纳米复合材料的制造方法以及由其制造的石墨烯/ PDMS纳米复合材料。 根据本发明，制造方法不仅简单易行，而且还提供了可以容易地应用于各种物体如大结构的高灵敏度传感器的材料。

公开(公告)号：KR101003448B1

公开(公告)日：2010-12-28

申请号：KR1020080092912

申请日：2008-09-22

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  김지관

IPC: G02B21/00 ,  G01N13/00 ,  G01N13/04 ,  G01Q70/16

Abstract: 본 발명은 마이크로 탐침장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 날카로운 탐침을 제작하는데 있어서, 건식식각 방식 및 습식식각 방식을 동시에 수행하는 새로운 방식의 공정을 이용하여, 사각구조의 4 단자 탐침을 제작함으로써, 시편의 평면상 뿐만 아니라, 곡면상의 전기적 특성의 측정가능하다.
또한, 캔틸레버내에 열적구동을 위한 열구동 배선을 형성하여, 각각의 캔틸레버를 초소형 집게로도 활용가능한 마이크로 탐침장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
마이크로 4 단자 탐침, 열구동기, 마이크로 집게

公开(公告)号：KR101548246B1

公开(公告)日：2015-08-28

申请号：KR1020130135270

申请日：2013-11-08

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  김지관

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은폴리머마이크로탐침장치, 그제작방법에관한것으로, 본발명의폴리머마이크로탐침장치는, 다수의금속패드(111)가마련되며, 일단에돌출형성된캔틸레버(112)가일체로마련된폴리머재질의몸체부(110)와; 상기금속패드(111) 각각과대응되어전극패턴으로연결되며, 상기캔틸레버(112)를따라서고정되어선단이상기캔틸레버(112)의외측으로돌출형성되어시편과접촉이이루어지는서로독립구동이가능한다수개의탐침(121)을갖는탐침부(120);를포함한다.

公开(公告)号：KR1020150053397A

公开(公告)日：2015-05-18

申请号：KR1020130135270

申请日：2013-11-08

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  김지관

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/067 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/06733 ,  G01R31/26 ,  H01L21/00

Abstract: 본발명은폴리머마이크로탐침장치, 그제작방법에관한것으로, 본발명의폴리머마이크로탐침장치는, 다수의금속패드(111)가마련되며, 일단에돌출형성된캔틸레버(112)가일체로마련된폴리머재질의몸체부(110)와; 상기금속패드(111) 각각과대응되어전극패턴으로연결되며, 상기캔틸레버(112)를따라서고정되어선단이상기캔틸레버(112)의외측으로돌출형성되어시편과접촉이이루어지는서로독립구동이가능한다수개의탐침(121)을갖는탐침부(120);를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种聚合物微探针及其制造方法。 根据本发明的聚合物微探针包括：聚合物基体单元（110），其包括多个金属垫（111）并与在一侧上突出的一体式悬臂（112）组合; 以及具有多个探针（121）的探针单元（120），其以对应于金属垫（111）的电极图案连接并且其端部沿着悬臂（112）突出到悬臂（112）的外部，使得它们可以 与样品完全接触并独立驱动。

公开(公告)号：KR1020100038243A

公开(公告)日：2010-04-14

申请号：KR1020080092912

申请日：2008-09-22

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  김지관

IPC: G02B21/00 ,  G01N13/00 ,  G01N13/04 ,  G01Q70/16

CPC classification number: G02B21/0004 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/30 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/14 ,  G01Q70/16 ,  Y10S977/849

Abstract: PURPOSE: A micro probe device and a manufacturing method thereof are provided to use the device as subminiature tongs, and to sharply manufacture a probe to accurately measure a sample. CONSTITUTION: A micro probe device comprises a handling part and a cantilever part(120). The cantilever part is connected to the handling part, and has four cantilevers(122), a connection part(121), and probes(125). The cantilevers are formed in the end of the connection part, and arranged to be faced each other. The connection part is connected to one surface of the handling part. The probes are formed in the end of each cantilever.

Abstract translation: 目的：提供微型探针装置及其制造方法，以将该装置用作超小型钳，并且锐利地制造探针以精确测量样品。 构成：微探针装置包括处理部和悬臂部（120）。 悬臂部分连接到处理部分，并且具有四个悬臂（122），连接部分（121）和探针（125）。 悬臂形成在连接部的端部，并且被布置为彼此面对。 连接部分连接到处理部分的一个表面。 探针形成在每个悬臂的末端。