公开(公告)号：KR1020150032436A

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：KR1020130112071

申请日：2013-09-17

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 김진혁 ,  이정용 ,  문종하 ,  신승욱 ,  마훼시 ,  파틸

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

Abstract: SILAR법을 이용하여 CZTS 기반 광흡수 박막을 제조하는 방법이 개시된다. 이는 (a) 기판을 구리염, 아연염, 및 주석염을 포함하는 양이온 용액에 침지시키는 단계와, (b) 단계 (a)를 통과한 기판을 1차 세정하는 단계와, (c) 단계 (b)를 통과한 기판을 황염을 포함하는 음이온 용액에 침지시키는 단계와, (d) 단계 (d)를 통과한 기판을 2차 세정하는 단계를 포함한다. 이러한 싸이클을 소정 횟수 반복한 후, 건조와 열처리를 수행하여 CZTS 박막을 제조한다.

Abstract translation: 公开了使用SILAR法制造基于CZTS的光吸收薄膜的方法。 使用SILAR方法制造基于CZTS的光吸收薄膜的方法包括以下步骤：（a）将基板浸入包括铜盐，锌盐和锡盐的阳离子溶液中; （b）首先清洗在步骤（a）中处理的基材; （c）将步骤（b）中处理的基材浸入含硫盐的阴离子溶液中; 和（d）二次清洗步骤（c）中处理的基材。 通过干燥处理制造CZTS薄膜，并以预先设定的数量重复上述循环后的热处理。