公开(公告)号：KR100694794B1

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：KR1020040046188

申请日：2004-06-21

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 김진혁 ,  문종하 ,  유기영

IPC: G02B6/00 ,  G02B6/13 ,  C03B37/00

Abstract: 본 발명은 광대역 평판형 증폭기에 관한 것으로 특히, 텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기에 관한 것이다.
본 발명은 텔루르 옥사이드 (Tellurium (VI) oxide)와 텅스텐 옥사이드 (Tungsten (VI) oxide)를 고상소결법을 이용하여 텅스텐 텔루라이트(TeO
2 -WO
3 )의 타겟을 제조하는 단계; 모재를 세척하는 단계; 증착 챔버내에서 RF스퍼터링을 이용하여 상기 타겟 물질을 상기 모재에 증착시켜 텅스텐-텔루라이트박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020050121046A

公开(公告)日：2005-12-26

申请号：KR1020040046188

申请日：2004-06-21

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 김진혁 ,  문종하 ,  유기영

IPC: G02B6/00 ,  G02B6/13 ,  C03B37/00

CPC classification number: H01S3/06754 ,  C03C3/32 ,  C03C4/12 ,  C03C13/048

Abstract: 본 발명은 광대역 평판형 증폭기에 관한 것으로 특히, 텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기에 관한 것이다.
본 발명은 텔루르 옥사이드 (Tellurium (VI) oxide)와 텅스텐 옥사이드 (Tungsten (VI) oxide)를 고상소결법을 이용하여 텅스텐 텔루라이트(TeO
2 -WO
3 )의 타겟을 제조하는 단계; 모재를 세척하는 단계; 증착 챔버내에서 RF스퍼터링을 이용하여 상기 타겟 물질을 상기 모재에 증착시켜 텅스펜-텔루라이트박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.