公开(公告)号：WO2021145695A1

公开(公告)日：2021-07-22

申请号：PCT/KR2021/000534

申请日：2021-01-14

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 하준석 ,  차안나 ,  노호균

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명의 일실시예는 전자 소자용 박막을 제공한다. 기판; 상기 기판 상에 위치하는 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 위치하는 탄소나노튜브-금속촉매 복합체층; 및 상기 탄소나노튜브- 금속촉매 복합체층 상에 위치하는 금속산화물 에피택셜층; 을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실시예에 따른 전자 소자용 박막은, 기판과 금속산화물 에피택셜 구조체 사이의 격자상수 차이로 인해 종래 내부적으로 발생하였던 관통 전위와 스트레인이 감소되어, 격자상수 차이에 거의 영향을 받지 않아 결함에 자유로울 수 있다.

公开(公告)号：KR102173611B1

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：KR20190004173

申请日：2019-01-11

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 하준석 ,  노호균 ,  이상현 ,  배효정 ,  차안나 ,  박준범

IPC: C01B32/168 ,  C23C28/02 ,  C25D3/00 ,  C25D5/54 ,  C25D7/00 ,  D06M11/83

Abstract: 본발명은, 전기적및/또는기계적성질이우수한전도성섬유복합체의제조방법에관한것으로서, 복수개의전도성섬유가닥을포함하는전도성섬유를전류안정기(Current stabilizer)를포함하는도금조에제공하는단계; 및상기도금조에서전해도금공정을수행하여전도성섬유의내부에금속플레이크를형성하는단계를포함하는전도성섬유복합체의제조방법을제공한다.