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公开(公告)号：WO2016209007A1
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：PCT/KR2016/006719
申请日：2016-06-23
Applicant: 한국기계연구원 , 전북대학교산학협력단
CPC classification number: H05H1/30 , B22F9/14 , H05H1/26 , H05H1/46 , H05H2001/4652
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치는 내부에 열플라즈마가 형성되는 공간을 제공하는 중공형 가둠관, 상기 가둠관을 감싸는 유도 코일, 및 상기 유도 코일에 전력을 공급하는 전력 공급원을 포함하되, 상기 전력 공급원은 두 개 이상의 서로 다른 주파수를 가지는 전력을 상기 유도 코일에 공급한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的双频电力驱动电感耦合等离子体焰炬包括：用于提供在其中形成热等离子体的空间的中空限制管; 用于覆盖约束管的感应线圈; 以及用于向感应线圈供电的电源，其中，电源将至少两个不同频率的功率提供给感应线圈。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101918357B1
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：KR1020160150458
申请日：2016-11-11
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: 본발명은 RF 전력유도결합플라즈마발생장치에관한것으로서, 유도코일및 이와병렬로연결된커패시터로구성된공진회로의부하임피던스와 RF 전력공급원의내부임피던스간 차이에의해발생하는임피던스미스매칭문제를, 공진회로내 유도코일에접지탭을설치하여접지와연결시키고공진회로내 RF 전류를접지탭을이용하여 RF 전력공급원으로귀환시켜줌으로써, 공진회로의공진주파수변화없이부하임피던스값만조절하여해결할수 있으며, 이로부터, 고출력운전, 복합가스및 원료분말대량투입과같은대표적임피던스미스매칭운전조건에서도역률개선및 안정적인플라즈마를발생시킬수 있도록하였다.
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公开(公告)号：KR102217152B1
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR1020200031604
申请日：2020-03-13
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: 본발명은안정적인비이송식및 이송/비이송혼성운전을가능하게하는역극성공동형플라즈마토치에관한것으로, 본발명의실시예에따른역극성공동형플라즈마토치는, 일측종단이막힌후방전극과양측종단이개방된전방전극을구비하고, 상기전방전극과상기후방전극은이격형성되고, 상기전방전극을둘러싸는전방전극절연체와상기후방전극을둘러싸는후방전극절연체에의해상기전방전극과상기후방전극은토치하우징과전기적으로절연되어동축으로형성되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101721565B1
公开(公告)日：2017-04-18
申请号：KR1020150090286
申请日：2015-06-25
Applicant: 한국기계연구원 , 전북대학교산학협력단
CPC classification number: H05H1/30 , B22F9/14 , H05H1/26 , H05H1/46 , H05H2001/4652
Abstract: 본발명은이중주파수전력구동유도결합플라즈마토치에관한것으로서, 내부에열플라즈마가형성되는공간을제공하는중공형가둠관, 상기가둠관을감싸는유도코일및 상기유도코일에전력을공급하는전력공급원을포함하되, 상기전력공급원은두 개이상의서로다른주파수를가지는전력을상기유도코일에공급함으로써, 가둠관내의열 플라즈마의온도분포를효과적으로제어하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种双频功率驱动的感应耦合等离子炬，提供其中热等离子体在其中形成共形的约束管，包围该感应线圈的所述约束管和电源将电力供应到感应线圈的空间的， 以上，包括：电源，其特征在于，有效地控制通过具有至少两个不同的频率向感应线圈供电的等离子体约束管的热的温度分布。
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公开(公告)号：KR1020170000994A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：KR1020150090286
申请日：2015-06-25
Applicant: 한국기계연구원 , 전북대학교산학협력단
CPC classification number: H05H1/30 , B22F9/14 , H05H1/26 , H05H1/46 , H05H2001/4652
Abstract: 본발명은이중주파수전력구동유도결합플라즈마토치에관한것으로서, 내부에열플라즈마가형성되는공간을제공하는중공형가둠관, 상기가둠관을감싸는유도코일및 상기유도코일에전력을공급하는전력공급원을포함하되, 상기전력공급원은두 개이상의서로다른주파수를가지는전력을상기유도코일에공급함으로써, 가둠관내의열 플라즈마의온도분포를효과적으로제어하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例的双频电力驱动电感耦合等离子体焰炬包括：用于提供在其中形成热等离子体的空间的中空限制管; 用于覆盖约束管的感应线圈; 以及用于向感应线圈供电的电源，其中，电源将至少两个不同频率的功率提供给感应线圈。
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公开(公告)号：KR1020170055926A
公开(公告)日：2017-05-22
申请号：KR1020160150458
申请日：2016-11-11
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: 본발명은 RF 전력유도결합플라즈마발생장치에관한것으로서, 유도코일및 이와병렬로연결된커패시터로구성된공진회로의부하임피던스와 RF 전력공급원의내부임피던스간 차이에의해발생하는임피던스미스매칭문제를, 공진회로내 유도코일에접지탭을설치하여접지와연결시키고공진회로내 RF 전류를접지탭을이용하여 RF 전력공급원으로귀환시켜줌으로써, 공진회로의공진주파수변화없이부하임피던스값만조절하여해결할수 있으며, 이로부터, 고출력운전, 복합가스및 원료분말대량투입과같은대표적임피던스미스매칭운전조건에서도역률개선및 안정적인플라즈마를발생시킬수 있도록하였다.
Abstract translation: 本发明是一种感应线圈和配置谐振电路的其并联连接的电容器负载阻抗引起的相关的电感耦合等离子体产生器的RF功率，所述谐振电路的RF电源不匹配问题的内部阻抗之间的差的阻抗 使用地面我的RF电流标签中，通过给所述反馈到RF电源连接到地和谐振电路的感应线圈内安装一个接地片，并且通过仅调整谐振而不在谐振电路中，频率的负载阻抗的变化来解决，其 即使在典型的阻抗失配操作条件下，例如高输出操作，复杂的气体和原料粉末的质量输入，也可以提高功率因数并产生稳定的等离子体。
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