Radio-Frequency 전력 유도결합 플라즈마 발생장치
    2.
    发明公开
    Radio-Frequency 전력 유도결합 플라즈마 발생장치 审中-实审
    射频功率电感耦合等离子体发生器

    公开(公告)号:KR1020170055926A

    公开(公告)日:2017-05-22

    申请号:KR1020160150458

    申请日:2016-11-11

    Abstract: 본발명은 RF 전력유도결합플라즈마발생장치에관한것으로서, 유도코일및 이와병렬로연결된커패시터로구성된공진회로의부하임피던스와 RF 전력공급원의내부임피던스간 차이에의해발생하는임피던스미스매칭문제를, 공진회로내 유도코일에접지탭을설치하여접지와연결시키고공진회로내 RF 전류를접지탭을이용하여 RF 전력공급원으로귀환시켜줌으로써, 공진회로의공진주파수변화없이부하임피던스값만조절하여해결할수 있으며, 이로부터, 고출력운전, 복합가스및 원료분말대량투입과같은대표적임피던스미스매칭운전조건에서도역률개선및 안정적인플라즈마를발생시킬수 있도록하였다.

    Abstract translation: 本发明是一种感应线圈和配置谐振电路的其并联连接的电容器负载阻抗引起的相关的电感耦合等离子体产生器的RF功率,所述谐振电路的RF电源不匹配问题的内部阻抗之间的差的阻抗 使用地面我的RF电流标签中,通过给所述反馈到RF电源连接到地和谐振电路的感应线圈内安装一个接地片,并且通过仅调整谐振而不在谐振电路中,频率的负载阻抗的变化来解决,其 即使在典型的阻抗失配操作条件下,例如高输出操作,复杂的气体和原料粉末的质量输入,也可以提高功率因数并产生稳定的等离子体。

    NiO-MgO 고용체 나노촉매 및 이의 제조방법
    3.
    发明授权
    NiO-MgO 고용체 나노촉매 및 이의 제조방법 有权
    NiO-MgO固溶体纳米催化剂及其制备方法相同

    公开(公告)号:KR101280574B1

    公开(公告)日:2013-07-02

    申请号:KR1020110100281

    申请日:2011-09-30

    Abstract: 본 발명은 종래의 NiO-MgO 고용체 촉매 제조법 등이 지닌 Ni 고용 함량, 탄소침적 문제 및 고온에서의 Ni 입자간 소결 문제 등을 극복하기 위해, 나노 막대 모양의 MgO 산화물에, 100 nm 이하의 Ni 입자들이 30~50 mol % 의 고농도 조성으로 담지되어 있는 NiO-MgO 고용체 나노촉매를 제조하는 공정과 이를 이용하여 얻어진 NiO-MgO 고용체 나노촉매 를 제공한다.

    이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치 및 이를 이용한 나노 입자 생성 장치
    4.
    发明授权
    이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치 및 이를 이용한 나노 입자 생성 장치 有权
    双频功率驱动使用相同的感应耦合等离子炬和纳米颗粒生成装置

    公开(公告)号:KR101721565B1

    公开(公告)日:2017-04-18

    申请号:KR1020150090286

    申请日:2015-06-25

    CPC classification number: H05H1/30 B22F9/14 H05H1/26 H05H1/46 H05H2001/4652

    Abstract: 본발명은이중주파수전력구동유도결합플라즈마토치에관한것으로서, 내부에열플라즈마가형성되는공간을제공하는중공형가둠관, 상기가둠관을감싸는유도코일및 상기유도코일에전력을공급하는전력공급원을포함하되, 상기전력공급원은두 개이상의서로다른주파수를가지는전력을상기유도코일에공급함으로써, 가둠관내의열 플라즈마의온도분포를효과적으로제어하는것을특징으로한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种双频功率驱动的感应耦合等离子炬,提供其中热等离子体在其中形成共形的约束管,包围该感应线圈的所述约束管和电源将电力供应到感应线圈的空间的, 以上,包括:电源,其特征在于,有效地控制通过具有至少两个不同的频率向感应线圈供电的等离子体约束管的热的温度分布。

    Radio-Frequency 전력 유도결합 플라즈마 발생장치

    公开(公告)号:KR101918357B1

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:KR1020160150458

    申请日:2016-11-11

    Abstract: 본발명은 RF 전력유도결합플라즈마발생장치에관한것으로서, 유도코일및 이와병렬로연결된커패시터로구성된공진회로의부하임피던스와 RF 전력공급원의내부임피던스간 차이에의해발생하는임피던스미스매칭문제를, 공진회로내 유도코일에접지탭을설치하여접지와연결시키고공진회로내 RF 전류를접지탭을이용하여 RF 전력공급원으로귀환시켜줌으로써, 공진회로의공진주파수변화없이부하임피던스값만조절하여해결할수 있으며, 이로부터, 고출력운전, 복합가스및 원료분말대량투입과같은대표적임피던스미스매칭운전조건에서도역률개선및 안정적인플라즈마를발생시킬수 있도록하였다.

    IZTO 미세분말로 제조된 소결체
    7.
    发明公开
    IZTO 미세분말로 제조된 소결체 审中-实审
    超细纤维(氧化锌)粉末的粉末

    公开(公告)号:KR1020130078156A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:KR1020110146944

    申请日:2011-12-30

    CPC classification number: C04B35/01 C04B35/626 C04B35/64

    Abstract: PURPOSE: A producing method of a sintered body formed of indium zinc tin oxide (IZTO) fine powder is provided to obtain a high intensity IZTO sintered body containing In, Zn, and Sn which are uniformly dispersed by a simply molding and sintering process of the IZTO fine powder having the average particle size less than 1 um. CONSTITUTION: A producing method of a sintered body formed of IZTO fine powder comprises a step of molding the IZTO fine powder, and sintering the molded product at 1,200-1,400°C. The IZTO fine powder contains In2O3, ZnO, and SnO2 as main components, and the compounds are oxides with the average particle size less than 1 um. The In content rate in comparison to the total positive ion atomic weight of the IZTO fine powder is 60-90 at.%, and the crystalline structure of the In has an In2O3 single phase form. The density of the sintered body is 60-100% compare to the theoretical density of In2O3.

    Abstract translation: 目的:提供由铟锌锡氧化物(IZTO)细粉末形成的烧结体的制造方法,以通过简单的成型和烧结工艺获得均匀分散的含有In,Zn和Sn的高强度IZTO烧结体 平均粒径小于1μm的IZTO细粉末。 构成:由IZTO细粉末形成的烧结体的制造方法包括将IZTO细粉末成型,在1200-1400℃下烧结成型品的工序。 IZTO细粉末含有In2O3,ZnO和SnO2作为主要成分,化合物为平均粒径小于1μm的氧化物。 与IZTO细粉末的总正离子原子量相比,In含量为60-90原子%,In的结晶结构为In2O3单相形式。 与In2O3的理论密度相比,烧结体的密度为60-100%。

    NiO-MgO 고용체 나노촉매 및 이의 제조방법
    8.
    发明公开
    NiO-MgO 고용체 나노촉매 및 이의 제조방법 有权
    NIO-MGO固体溶液纳米催化剂及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020130035759A

    公开(公告)日:2013-04-09

    申请号:KR1020110100281

    申请日:2011-09-30

    CPC classification number: B01J37/349 B01J21/10 B01J23/755 B01J37/08 B82B3/0038

    Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a NiO-MgO(Nickel Oxide-Magnesium Oxide) solid solution nano-catalyst and NiO-MgO solid solution nano-powder manufactured by using the same are provided to improve thermal stability, carbon-deposition resistivity, and catalyst activity even in a high-temperature reaction process generally above 750 >= like a methane partial oxidation process, and to process more methane flow quantity at the same temperature as well as to offer a high methane conversion rate and high selectivity of hydrogen and carbon monoxide at a relatively low temperature(650 >=). CONSTITUTION: A manufacturing method of a NiO-MgO solid solution nano-catalyst includes the following steps: a step of quantifying Ni(Nickel) and MgO(Magnesium-Oxide) raw materials, compounding the quantified raw materials with a conventional method through a step containing the process of pulverization, mixture, and calcination, and preparing precursors in order to form desired NiO-MgO incorporation composition; a step of injecting the precursors into a high-temperature and high-enthalpy thermal flow field and heat-treating during the flight, and then converting Ni particles into droplets and vapor by melting and vaporizing, and converting MgO particles into the shape of a nano-stick by phase transition; and a step of rapidly cooling the Ni droplets and vapor, generated through the heat-treatment during the flight, and MgO carriers, converted into the shape of a nano-stick by phase transition, at the same time and allowing Ni particles less than 100 nm to be uniformly distributed and condensed on the MgO nano-sticks, and enabling Ni atoms to be widely incorporated into MgO lattices during this process, thereby synthesizing an NiO-MgO solid solution composite material.

    Abstract translation: 目的:提供使用其制造的NiO-MgO(氧化镍 - 氧化镁)固溶体纳米催化剂和NiO-MgO固溶体纳米粉末的制造方法,以提高热稳定性,碳沉积电阻率和催化剂 即使在高温反应过程中,即使在高于750℃的高温反应过程中,也就像甲烷部分氧化过程,并且在相同温度下处理更多的甲烷流量以及提供高的甲烷转化率和高一氧化碳选择性 在相对较低的温度(650> =)下。 构成:NiO-MgO固溶体纳米催化剂的制造方法包括以下步骤:定量Ni(镍)和MgO(氧化镁)原料的步骤,通过常规方法将定量的原料与步骤 包含粉碎,混合和煅烧的过程,并制备前体以形成所需的NiO-MgO掺入组合物; 将前体注入高温高焓热流场和飞行中热处理的步骤,然后通过熔融和蒸发将Ni颗粒转化为液滴和蒸气,并将MgO颗粒转化成纳米尺寸 相转变的标尺; 并且通过在飞行期间的热处理而产生的Ni液滴和蒸汽迅速冷却的步骤和通过相变转化为纳米棒的形状的MgO载体同时允许Ni颗粒小于100 nm在MgO纳米棒上均匀分布和冷凝,并且在该过程中使Ni原子能够广泛地结合到MgO晶格中,从而合成NiO-MgO固溶体复合材料。

    IZTO 미세분말 및 이의 제조방법
    9.
    发明公开
    IZTO 미세분말 및 이의 제조방법 有权
    UNLTRA FINE IZTO POWDERS AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME

    公开(公告)号:KR1020130019684A

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:KR1020110081792

    申请日:2011-08-17

    CPC classification number: C04B35/453 C04B35/622 C04B41/0063 C04B2235/5204

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing fine powder of IZTO(indium zinc tin oxide) is provided to reduce indium content and to form a single phase of In_2O_3. CONSTITUTION: A method for manufacturing fine powder of IZTO(indium zinc tin oxide) comprises: a step of quantitation of ingredient powder containing one or more ingredients among In_2O_3, ZnO, and SnO_2; and a step of preparing solid phase precursor powder through one of pulverization, mixing, and calcination.

    Abstract translation: 目的:提供制造IZTO(铟锌锡氧化物)的细粉末的方法,以减少铟含量并形成In_2O_3的单相。 构成:制造IZTO(铟锌锡氧化物)的细粉末的方法包括:定量In_2O_3,ZnO和SnO_2中含有一种或多种成分的成分粉末的步骤; 以及通过粉碎,混合和煅烧之一制备固相前体粉末的步骤。

    IZTO 미세분말 및 이의 제조방법
    10.
    发明授权
    IZTO 미세분말 및 이의 제조방법 有权
    Unltra精细IZTO粉末及其制造方法相同

    公开(公告)号:KR101297581B1

    公开(公告)日:2013-08-19

    申请号:KR1020110081792

    申请日:2011-08-17

    Abstract: 본 발명은 In2O3 단일상을 갖는 IZTO (Indium Zinc Tin Oxide) 미세분말과 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 IZTO 미세분말은 In 금속 원자량 비율이 60%까지 저감된 조성에서도 In2O3의 단일상을 가지며, 그 크기가 평균 1 마이크로미터 이하인 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명에 의한 IZTO 미세분말의 제조방법은, 원하는 IZTO 조성을 구성하기 위해, In2O3, ZnO, SnO2로 주요하게 구성되는 원료분말들을 정량하고, 정량된 원료분말들을 통상적인 방법으로 분쇄, 혼합하거나 하소과정 등을 거쳐 고상 선구체 분말을 준비하는 단계; 이 단계를 통해 얻은 선구체들을 고온, 고엔탈피의 열유동원 내부로 주입시켜 비행 중 소결, 단일상 형성, 동시 용융 및 기화 등의 물리적 변화가 가능하도록 급속 가열하는 단계; 상기 물리적으로 변화시킨 결과물을 급냉시켜 In2O3 단일상 형태의 결정구조를 갖는 미세 입자 재합성하는 단계로 이루어진다.

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