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公开(公告)号:KR101551651B1
公开(公告)日:2015-09-08
申请号:KR1020140060293
申请日:2014-05-20
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01L51/56
Abstract: 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 기판이 개시된다. 본 발명의 방법은, 기판 상에 광산란 매질층을 형성하고, 상기 광산란 매질층 상에 금속 성분을 포함하는 금속 유기잉크로 이루어지는 금속 유기잉크층을 형성하고, 열처리에 의해 상기 금속 유기잉크층을 소결하여 금속 나노 마스크를 형성하고, 상기 광산란 매질층을 식각하여 나노 요철 구조를 형성하고, 상기 금속 나노 마스크를 식각하여 나노 요철 구조가 형성된 기판을 제조한다.
Abstract translation: 公开了一种制造其上形成有纳米不平坦结构的基板的方法和由此制造的基板。 本发明的方法包括以下步骤:在基片上形成光散射介质层; 在所述光散射介质层上形成由包含金属成分的金属有机油墨制成的金属有机油墨层; 通过热处理烧结金属有机油墨层来形成金属纳米掩模; 通过蚀刻光散射介质层形成纳米不均匀结构; 并通过蚀刻金属纳米掩模制造具有纳米不均匀结构的衬底。
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