公开(公告)号：KR1019980069646A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970006806

申请日：1997-02-28

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박효덕 ,  박준식 ,  신상모 ,  이재석 ,  박종완

IPC: G01N27/28

Abstract: 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 메사형의 기판과, 상기 메사형의 실리콘 기판 상에 형성된 물질막과, 상기 물질막 상에 형성된 접촉향상막과, 상기 접촉향상막 상에 형성된 가열부용 제1 백금 패턴과 상기 제1 백금 패턴의 양측에 형성된 패드용 제2 백금 패턴과, 상기 접촉향상막 상에 상기 제1 백금 패턴들 사이를 매몰하면서 형성된 보호층과, 상기 보호층 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어진다. 상기 접착향상막은 (Al, Si)O
x 막으로 이루어져 있으며, 상기 촉매층은 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어져 있다. 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 700℃까지 온도저항계수의 열화고 백금저항체의 TCR(temperature coefficient resistance)을 높이기 위해 (Al, Si)O
x 막으로 이루어진 접착향상층 상에 백금 저항 패턴이 형성되어 있고, 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어진 촉매층을 구비하여 감도를 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR100225069B1

公开(公告)日：1999-10-15

申请号：KR1019970006806

申请日：1997-02-28

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박효덕 ,  박준식 ,  신상모 ,  이재석 ,  박종완

IPC: G01N27/28

Abstract: 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 메사형의 기판과, 상기 메사형의 실리콘 기판 상에 형성된 물질막과, 상기 물질막 상에 형성된 접착향상막과, 상기 접착향상막 상에 형성된 가열부용 제1 백금 패턴과 상기 제1 백금 패턴의 양측에 형성된 패드용 제2 백금 패턴과, 상기 접착향상막 상에 상기 제1 백금 패턴들 사이를 매몰하면서 형성된 보호층과, 상기 보호층 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어진다. 상기 접착향상막은 (Al, Si)O
x 막으로 이루어져 있으며, 상기 촉매층은 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어져 있다. 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 700℃까지 온도저항계수의 열화고 백금저항체의 TCR(temperature coefficient resistance)을 높이기 위해 (Al, Si)O
x 막으로 이루어진 접착향상막 상에 백금 저항 패턴이 형성되어 있고, 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어진 촉매층을 구비하여 감도를 높일 수 있다.