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公开(公告)号：KR100325055B1
公开(公告)日：2002-08-09
申请号：KR1019950045806
申请日：1995-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: PURPOSE: A field emission display device is provided to optimize a vacuum degree of the inside of the field emission display device by forming a spacer as a getter material or forming a getter layer on a gate electrode. CONSTITUTION: A plurality of electron emission tips(56) are formed on a substrate(54) in order to emit electrons. A plurality of gate electrodes(52) are used for forming electric field around the electron emission tips(56). A fluorescent substance(42) is coated on an anode electrode. A spacer/filler(40) is arrayed between the substrate(54) and the anode electrode in order to form a space therebetween. The spacer/filler(40) is formed with a getter material, namely zirconium or titanium. A getter layer(40a) is formed on the gate electrode(52). A sealing member(48) is installed at both end portions of the field emission display device. A transparent electrode(46) is inserted between the anode electrode(44) and the fluorescent substance(42). An insulator(50) is inserted between the substrate(54) and the gate electrode(52).
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公开(公告)号：KR1019970030123A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950045807
申请日：1995-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: 본 발명은 전계방출 표시장치의 방출 효율이 증가되도록 그 내부공간을 수소분위기화하는 수소저장합금이 내장된 전계방출 표시장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 전계방출 팁과, 상기 전계방출 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극 및 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체가 마련된 에노드전극을 구비한 전계방출 표시장치에 있어서, 상기 전계방출 표시장치의 내부에 수소가스를 배출하는 수소저장합금이 내장되어 있는 방출 효율을 증가시킬 수 있으며 진공챔버내의 진공도를 낮출 수 있는 이점을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1019970030056A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950045806
申请日：1995-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: 본 발명은 전계방출 표시장치의 내부 진공도를 향상시키고 그 진공도를 적절하게 유지시키기 위해 전계방출팁이 형성되는 기판과 형광체가 도포된 에노드전극사이에 배치되어 이들사이에 공간이 형성되도록 하는 스페이서/필러(pillar)를 게더(getter)용 물질로 구성한 전계방출 표시장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과, 이기판사에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 전계방출 팁과, 상기 전계방출 팁에서 전자가 방출 되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극과, 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체가 도포된 에노드전극 및 상기 기판과 에노드전극사이에 배치되어 이들사이에 공간이 형성되도록 하는 스페이서/필러를 구비한 전계방출 표시장치에 있어서, 상기 스페이서/필러가 진공형성용 게더물질로 되어 있고, 상기 게이트 전극상에 게더물질로 구성된 게더층이 형성되어 있기 때문에 전계방출 표시장치의 간단한 구조에 의해 그 내부진공도를 적절하게 유지시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100207583B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019950010556
申请日：1995-04-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J31/15
Abstract: 본 발명은 필드에미션 디스플레이(Field Emission display) 내부의 진공도를 향상시키고 그 진공도를 적절하게 유지시키기 위해 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극 및 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체가 마련된 에노드전극을 구비한 필드 에미션 디스플레이에 있어서, 상기 필드 에미션 디스플레이의 내부공간에 유입되는 외부공기와 기존에 존재하는 공기원소 및 상기 내부공간에서 생성되는 불요원소를 흡착하는 흡착성 원소를 구비하여 상기 필드 에미션 디스플레이의 내부공간의 진공도를 소정범위까지 유지시키는 이온펌프 수단을 포함함으로써, 상기 필드에미션 디스플레이의 안정적인 동작을 향상시킬 수 있는 이점을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1019970030122A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950045805
申请日：1995-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: 본 발명은 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자(Field Emission Device)에 관한 것으로서, 특히 소정의 다이아몬드(Diamond Like Carbon; DLC, 또는 Amorphic 하부 Diamond) 캐소오드가 형성되는 기판과 상기 소정의 다이아몬드 캐소오드의 표면적을 증가시켜, 즉 전계방출의 유효면적을 증가시켜 전자 방출 효율을 높인 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과 이 기판상에 레이저 증착 또는 화학기상증착법에 의해 전자를 방출하도록 형성된 다이아몬드 캐소오드와, 상기 다이아몬드 캐소오드에서 방출된 전자가 충돌되면 그 고유 색상의 광을 발생하는 소정의 형광체가 도포되어 있으며, 상기 캐소오드에서 방출되는 전자를 잡아당기도록 전압이 인가되는 에노드전극을 구비한 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자에 있어서, 상기 캐소오드의 표면에는 소정의 박막 형성공정에 의해 요철부가 형성되어 있는 점에 그 특징이 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970017858A
公开(公告)日：1997-04-30
申请号：KR1019950033934
申请日：1995-09-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 필드 에미션 디바이스(field emission device)에 사용되는 필드 에미터 팁의 구조 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마스킹기법 및 실리콘(Si)등의 무거운 이온들을 이용하는 이온주입법등을 이용하여 기판자체에 실리콘등의 이온을 주입함으로써 전자를 방출하는 필드 에미터 팁을 형성한 필드 에미션 디바이스의 에미터 팁의 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명에서는 상기 필드 에미터 팁이 상기 기판의 소정부분에 마스킹을 통해 이온이 주입되어 상기 기판자체내에 뽀쭉한 산형태로 형성된다. 본 발명의 필드 에미터 팁의 제조방법은, 기판에 이온을 주입하여 기판자체내에 필드 에미터 팁을 제조하는 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 단계와 상기 기판자체에 이온이 주입되는 부분을 제외하고는 포토레지스트를 입히는 마스킹단계와, 상기 포토레지스트가 입혀지지 않은 기판의 부분에 골형태로 이온을 주입하는 단계와, 상기 포토레지스트 부분의 상방에 광차단층을 입히는 단계, 및 상기 포토레지스트를 제거하기 위하여 상기 광차단층을 통해 광을 조사하여 포토레지스트부분을 현상하여 상기 기판자체내에 뽀쭉한 산형태의 필드에미터 팁을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019970030124A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950045808
申请日：1995-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J1/30
Abstract: 본 발명은 전계방출 표시장치(Field Emission Display)의 형광체구조에 관한 것으로서, 더 상세하게는 전계방출 표시장치의 형광체의 발광 유효면적을 크게하여 발광효율을 증가시킨 전계방출 표시장치의 형광체 구조에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 기판과 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 전계방출 팁과, 상기 전계방출 팁에서 전가가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극과, 그 표면에 전기장에 의하여 각각 적색, 녹색, 청색으로 발광되는 형광체로 도포되어 있으며 상기 전계방출 팁에서 방출되는 전자를 잡아당기도록 전압이 인가되는 에노드전극 및 상기 에노오드전극이 배치되는 유리기판을 구비한 전계방출 표시장치에 있어서, 상기 형광체를 산과 골의 형상으로 요철화함으로써 전계방출 표시장치의 발광효율을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019960039060A
公开(公告)日：1996-11-21
申请号：KR1019950010556
申请日：1995-04-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J31/15
Abstract: 본 발명은 필드에미션 디스플레이(Field Emissin display) 내부의 진공도를 향상시키고 그 진공도를 적절하게 유지시키기 위해 이온펌프를 부착한 필드에미션 디스플레이에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과, 이기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극 및 상기 방출전자의 충돌에 의해 발광하는 형광체가 마련된 에노드전극을 구비한 필드 에미션 디스플레이에 있어서, 상기 필드 에미션 디스 플레이의 내부공간에 유입되는 외부공기와 기존에 존재하는 공기원소 및 내부공간에서 생성되는 불요원소를 흡착하는 흡착성 원소를 공급하여 상기 필드 에미션 디스 플레이의 내부공간의 진공도를 소정범위까지 유지시키는 이온펌프 수단을 구비함으로써, 상기 필드 에미션 디스 플레이의 안정적인 동작을 향상시킬 수 있는 이점을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1019970054545A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950069788
申请日：1995-12-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/86
Abstract: 본 발명은 전계방출소자(Field Emission Device)에 관한 것으로서, 특히 단위면적당 전계방출 소오스가 증가되도록 구조를 변경한 전계방출소자에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 소정의 전자방출 소오스와 상기 전자방출 소오스에서 방출된 전자를 싱크하는 전자 싱크부를 포함하는 전계방출소자에 있어서, 소정의 전압이 인가될 때 전자를 방출하는 다수의 나삿니와 소정의 방출전자를 싱크하는 다수의 나사골을 갖는 제1톱니형상부가 마련된 제1기판과, 상기 제1기판과 소정거리 이격되어 있으며, 상기 제1톱니형상부와 치합하는 형태로 형성되어 소정의 전압이 인가될 때 전자를 방출하는 다수의 나삿니와 방출전자를 싱크하는 나사골을 갖는 제2톱니 형상부가 마련된 제2기판을 포함하고 있어, 전자방출 효율을 향상시킨다.
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公开(公告)号：KR1019970017859A
公开(公告)日：1997-04-30
申请号：KR1019950033936
申请日：1995-09-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01J1/304
Abstract: 본 발명은 필드 에미션 디바이스의 에노드전극을 산과 골형상으로 요철화하여 필드에미션 디바이스의 팁에서 방출되는 전자빔이 최적으로 집속되도록 에노드전극을 구조변경한 필드에미션 디바이스에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과, 이 기판상에서 돌출되어 전자를 방출하는 다수의 필드에미터 팁과, 상기 필드에미터 팁에서 전자가 방출되도록 그 주변에 전기장을 형성시키는 다수의 게이트 전극 및 그표면에 다수의 색상으로 순차적으로 배열된 형광체가 도포되어 있으며 상기 필드에미터 팁에서 방출되는 전자를 잡아당기도록 전압이 인가되는 에노드전극을 구비한 필드 에미션 디바이스에 있어서, 상기 에노드전극의 그 일표면을 산과 골의 형상으로 요철화함으로써 상기 팁에서 방출되어 상기 애노드전극으로 진행하는 전자빔의 포커싱 및 집속효과를 향상시킬 수 있다.
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