公开(公告)号：KR1020050120310A

公开(公告)日：2005-12-22

申请号：KR1020040045619

申请日：2004-06-18

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박광범 ,  이형욱 ,  이낙규 ,  나경환

IPC: B81B7/02 ,  G01N3/08

Abstract: 본 발명은 마이크로 인장 시편 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 기판과; 상기 기판을 관통하여 형성되고, 상호 일정거리 이격되어 있는 제 1과 2 관통홀과;상기 제 1 관통홀과 2 관통홀들을 연결하는 직선상에 위치되고, 상기 제 1 및 2 관통홀과 이격되며, 상기 기판이 관통되어 형성된 제 3 관통홀과; 상기 제 1 관통홀에서 제 2 관통홀까지 연결되는 직선상에 위치되고, 상기 제 3 관통홀의 내측 일측벽에서 타측벽까지 연장되어 있으며, 하부로부터 부상되는 브릿지와; 상기 브릿지 상부에 일정간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 마커(Marker)들로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 소자에 적용되는 막의 인장시편을 제작함으로써, 소자를 제조하지 않고도 막의 기계적인 특성을 측정할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR102087238B1

公开(公告)日：2020-03-11

申请号：KR1020180008918

申请日：2018-01-24

Applicant: 한국생산기술연구원 ,  주식회사 스페이스솔루션 ,  전자부품연구원

Inventor： 박진호 ,  유의상 ,  이낙규 ,  장세엽 ,  신준희 ,  박준식 ,  김동순 ,  황태호

IPC: A61B5/01 ,  A61B5/00

公开(公告)号：KR100586021B1

公开(公告)日：2006-06-08

申请号：KR1020040045619

申请日：2004-06-18

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박광범 ,  이형욱 ,  이낙규 ,  나경환

IPC: B81B7/02 ,  G01N3/08

Abstract: 본 발명은 마이크로 인장 시편 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 기판과; 상기 기판을 관통하여 형성되고, 상호 일정거리 이격되어 있는 제 1과 2 관통홀과;상기 제 1 관통홀과 2 관통홀들을 연결하는 직선상에 위치되고, 상기 제 1 및 2 관통홀과 이격되며, 상기 기판이 관통되어 형성된 제 3 관통홀과; 상기 제 1 관통홀에서 제 2 관통홀까지 연결되는 직선상에 위치되고, 상기 제 3 관통홀의 내측 일측벽에서 타측벽까지 연장되어 있으며, 하부로부터 부상되는 브릿지와; 상기 브릿지 상부에 일정간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 마커(Marker)들로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 소자에 적용되는 막의 인장시편을 제작함으로써, 소자를 제조하지 않고도 막의 기계적인 특성을 측정할 수 있는 효과가 있다.
인장, 시편, 마이크로, 마커, 잉크, 금속

公开(公告)号：KR1020040095062A

公开(公告)日：2004-11-12

申请号：KR1020030028659

申请日：2003-05-06

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박광범 ,  박효덕 ,  윤대원 ,  나경환 ,  이낙규 ,  강성군

IPC: H01L41/22

Abstract: PURPOSE: A sample, an apparatus, and a method for measuring a piezoelectric transverse coefficient of a PZT piezoelectric layer are provided to measure accurately the piezoelectric transverse coefficient and obtain comparative data about various piezoelectric materials by providing an improved structure of the sample. CONSTITUTION: A sample for measuring a piezoelectric transverse coefficient of a PZT piezoelectric layer includes a lower electrode deposited on a substrate, a piezoelectric layer having a lower electrode opening formed on the lower electrode, and an upper electrode(60) and a fixing part formed on the piezoelectric layer. The upper electrode is formed on the fixing part without using a connection part.

Abstract translation: 目的：提供用于测量PZT压电层的压电横向系数的样品，装置和方法，以通过提供改进的样品结构来精确地测量压电横向系数并获得关于各种压电材料的比较数据。 构成：用于测量PZT压电层的压电横向系数的样本包括沉积在基底上的下电极，形成在下电极上的具有下电极开口的压电层，以及形成的上电极（60）和固定部 在压电层上。 上部电极形成在固定部分上，而不使用连接部分。