公开(公告)号：KR1020050096469A

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：KR1020040021693

申请日：2004-03-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 신상훈 ,  이재찬 ,  박준식 ,  박효덕 ,  박광범 ,  신규식

IPC: G01N27/00

CPC classification number: G01N27/87 ,  G01N9/002 ,  G01N27/128 ,  G01N27/283 ,  G01N29/022

Abstract: 본 발명은 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멤스 공정 기술을 이용한 초소형 화학 센서 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버; 상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막; 상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법은 외부로부터 극소량의 ppb 또는 ppt 수준의 산업 환경유해 물질의 농도에 신속하게 반응하여 공진주파수의 변화를 통해 즉시 감지가 가능하여 빠른 응답 속도와 높은 감도 낮은 전력 손실이 가능한 장점이 있고, 시스템의 소형화로 인한 휴대형화, 실리콘 반도체 가공기술로 대량생산에 따른 제조원가 절감 및 집적의 용이함, 다양한 감지 대상 물질을 감지할 수 있도록 어레이 형태로 제작이 가능하며, 생명공학, 의학 및 환경관련 분야에 활용이 가능한 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100453973B1

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：KR1020020022331

申请日：2002-04-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박효덕 ,  전성진 ,  이재찬

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: A micro optical switch using a micro piezoelectric actuator is provided, which enables to obtain information as to driving range of a driving actuator with a sensing actuator, and control a mirror accurately with the above information, and perform a repetitive driving. CONSTITUTION: The micro optical switch comprises a supporting part(10), and a supporting plate(48) floated by being connected to the above supporting part. The first - fourth actuator(101,102,103,104) are formed on the supporting plate respectively, and includes a piezoelectric capacitor respectively. And a mirror(50) is formed on the upper part of the supporting plate, and has a movement displacement by driving at least a pair of actuators among the above four actuators.

Abstract translation: 目的：提供一种使用微型压电致动器的微型光学开关，其能够利用感测致动器获得关于驱动致动器的驱动范围的信息，并且利用上述信息精确地控制镜子，并且执行重复驱动。 构成：微型光开关包括支撑部分（10）和通过连接到上述支撑部分而浮动的支撑板（48）。 第一至第四致动器（101,102,103,104）分别形成在支撑板上，并且分别包括压电电容器。 并且在支撑板的上部形成有镜子（50），并通过驱动上述四个致动器中的至少一对致动器而具有移动位移。

公开(公告)号：KR100620255B1

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：KR1020040021693

申请日：2004-03-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 신상훈 ,  이재찬 ,  박준식 ,  박효덕 ,  박광범 ,  신규식

IPC: G01N27/00

Abstract: 본 발명은 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멤스 공정 기술을 이용한 초소형 화학 센서 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버; 상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막; 상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법은 외부로부터 극소량의 ppb 또는 ppt 수준의 산업 환경유해 물질의 농도에 신속하게 반응하여 공진주파수의 변화를 통해 즉시 감지가 가능하여 빠른 응답 속도와 높은 감도 낮은 전력 손실이 가능한 장점이 있고, 시스템의 소형화로 인한 휴대형화, 실리콘 반도체 가공기술로 대량생산에 따른 제조원가 절감 및 집적의 용이함, 다양한 감지 대상 물질을 감지할 수 있도록 어레이 형태로 제작이 가능하며, 생명공학, 의학 및 환경관련 분야에 활용이 가능한 효과가 있다.
멤스, 마이크로 칸티레버

公开(公告)号：KR1020030083929A

公开(公告)日：2003-11-01

申请号：KR1020020022331

申请日：2002-04-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박효덕 ,  전성진 ,  이재찬

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: A micro optical switch using a micro piezoelectric actuator is provided, which enables to obtain information as to driving range of a driving actuator with a sensing actuator, and control a mirror accurately with the above information, and perform a repetitive driving. CONSTITUTION: The micro optical switch comprises a supporting part(10), and a supporting plate(48) floated by being connected to the above supporting part. The first - fourth actuator(101,102,103,104) are formed on the supporting plate respectively, and includes a piezoelectric capacitor respectively. And a mirror(50) is formed on the upper part of the supporting plate, and has a movement displacement by driving at least a pair of actuators among the above four actuators.

Abstract translation: 目的：提供一种使用微型压电致动器的微型光学开关，其能够获得关于具有感测致动器的驱动致动器的驱动范围的信息，并且利用上述信息准确地控制镜子，并且执行重复驱动。 构成：微型光学开关包括支撑部分（10）和通过连接到上述支撑部分而浮动的支撑板（48）。 第一 - 第四致动器（101,102,103,104）分别形成在支撑板上，并且分别包括压电电容器。 并且在支撑板的上部形成有反射镜（50），并且通过在上述四个致动器中驱动至少一对致动器而具有移动位移。