公开(公告)号：KR1020140125316A

公开(公告)日：2014-10-28

申请号：KR1020140045953

申请日：2014-04-17

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 최정민 ,  노조,하루키 ,  박용순 ,  유용식 ,  강동헌 ,  김고은 ,  김태완

IPC: C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B1/00 ,  B24B37/044 ,  C09G1/00 ,  C09G1/04 ,  C09G1/06 ,  C09K3/1454 ,  C09K3/1463 ,  C09K3/1472 ,  C09K13/06 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/3212

Abstract: 본 발명은 극성 용매, 비극성 용매 중 하나 이상; 및 금속산화물 연마제를 포함하고, 산성이고, 탄소 함량이 50 내지 95atom%인 유기막을 연마하기 위한 유기막 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于有机膜的CMP浆料组合物，其包括极性溶剂和/或非极性溶剂; 和金属氧化物研磨剂是酸性的，并且用于研磨碳含量为50〜95原子％的有机膜以及使用其的研磨方法。 根据本发明，提供了一种用于有机膜的CMP浆料组合物，其具有对具有高碳含量的有机膜以及膜的密度和硬度具有优异的抛光效果。

公开(公告)号：KR101659144B1

公开(公告)日：2016-09-23

申请号：KR1020140045953

申请日：2014-04-17

Applicant: 제일모직주식회사

Inventor： 최정민 ,  노조,하루키 ,  박용순 ,  유용식 ,  강동헌 ,  김고은 ,  김태완

IPC: C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B1/00 ,  B24B37/044 ,  C09G1/00 ,  C09G1/04 ,  C09G1/06 ,  C09K3/1454 ,  C09K3/1463 ,  C09K3/1472 ,  C09K13/06 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/3212

Abstract: 본발명은극성용매, 비극성용매중 하나이상; 및금속산화물연마제를포함하고, 산성이고, 탄소함량이 50 내지 95atom%인유기막을연마하기위한유기막 CMP 슬러리조성물및 이를이용한연마방법에관한것이다.