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1.发明授权
公开(公告)号：KR101541602B1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：KR1020130126657
申请日：2013-10-23
Applicant: 조선대학교산학협력단
Abstract: 본발명은저간섭성광원과분산형간섭계를이용하여여러채널의측정신호를하나의검출장치에서수신하여동시에신호처리할수 있도록구성된광학갭 센서장치및 광학갭 센서를이용한다축측정광학갭 센싱방법에관한것으로, 상기갭 센서장치는다파장광원과, 분산형간섭계분광기와, 말단에반사코팅층이형성된 N개의채널프로브광섬유로이루어지는 N채널프로브와, 2x1광커플러와, 1xN 광커플러를포함하여, 상기다파장광원에서생성된광원이상기 2x1 광커플러와상기 1xN 광커플러를통해상기 N채널프로브의각각의채널프로브광섬유로입사되고, 상기각각의채널프로브광섬유의말단반사코팅층에서반사된기준광과측정대상에서반사된측정광을포함하는갭측정광신호가상기 Nx1 광커플러와상기 2x1 광커플러를통해상기분산형간섭계분광기로입사되어채널별갭측정광신호의간섭무늬로부터갭을연산하도록구성되어, 하나의분광기를이용하여다수채널의갭 측정신호를연산처리할수 있도록구성되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101457303B1
公开(公告)日：2014-11-04
申请号：KR1020130119220
申请日：2013-10-07
Applicant: 조선대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 근적외선의 간섭무늬를 가시광선용 CCD카메라로 촬영하여, 웨이퍼의 3차원 정보를 한 번의 측정으로 획득할 수 있도록 함으로써, 웨이퍼의 기하학적 치수의 측정과 굴절률의 측정을 동시에 수행할 수 있도록 하는 근적외선을 이용한 웨이퍼 형상, 두께, 굴절률 3D 측정 장치 및 방법에 관한 것으로,
상기 근적외선을 이용한 웨이퍼 측정 장치는, 근적외선을 방출하는 광원부;와, 상기 광원부에서 조사된 근적외선을 분할하여 기준거울과 웨이퍼를 투과한 후 측정거울에 의해 반사시킨 후 합성하여 간섭무늬를 형성하는 광간섭부;와, 상기 광간섭부에서 형성된 간섭무늬 신호를 촬영하는 카메라를 구비하여 간섭무늬 신호를 처리하는 신호처리부;를 포함하고, 상기 근적외선은 저 간섭성으로 상기 웨이퍼에 대하여 투과성을 가지며, 상기 카메라는 가시광선 감지소자를 구비한 카메라로 구성되어,
가시광선용 CCD카메라에 의해 간섭무늬를 촬상하도록 하는 것에 의해 웨이퍼 측정장치의 가격을 현저히 낮추며, 측정광을 비웨이퍼영역(A)과 웨이퍼영역(B)으로 분할하여 간섭무늬를 형성시키는 것에 의해 웨이퍼의 기하하적 수치 및 굴절률을 동시에 측정할 수 있도록 한다.Abstract translation: 本发明涉及使用近红外线对晶片形状，厚度和折射率进行3D测量的装置和方法。 根据本发明，通过用于可见光的CCD照相机对近红外线的干涉图案进行成像，可以通过单次成像获得晶片的三维信息，并且可以通过几何尺寸测量和折射率测量来获得 晶片可以同时进行。 使用上述近红外线的晶片测量装置包括发射近红外线的光源单元; 光干涉单元，其通过由光源单元发射的近红外线的分离，通过参考反射镜和晶片的近红外线的穿透，测量镜的反射和合成而形成干涉图案; 以及信号处理单元，其具有对由光干涉单元形成的干涉图形信号进行成像并处理干涉图案信号的照相机。 近红外线是低干扰的，能够穿透晶片，相机被配置为配备有可见光检测元件的相机，并且用于可见光的CCD照相机成像干涉图案，因此， 晶片测量装置可以显着地减少。 测量的光在形成干涉图案时分裂成非晶片区域（A）和晶片区域（B），因此可以同时测量晶片的几何尺寸和折射率。
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3.发明公开
公开(公告)号：KR1020150046981A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020130126657
申请日：2013-10-23
Applicant: 조선대학교산학협력단
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B2290/20
Abstract: 본발명은저간섭성광원과분산형간섭계를이용하여여러채널의측정신호를하나의검출장치에서수신하여동시에신호처리할수 있도록구성된광학갭 센서장치및 광학갭 센서를이용한다축측정광학갭 센싱방법에관한것으로, 상기갭 센서장치는다파장광원과, 분산형간섭계분광기와, 말단에반사코팅층이형성된 N개의채널프로브광섬유로이루어지는 N채널프로브와, 2x1광커플러와, 1xN 광커플러를포함하여, 상기다파장광원에서생성된광원이상기 2x1 광커플러와상기 1xN 광커플러를통해상기 N채널프로브의각각의채널프로브광섬유로입사되고, 상기각각의채널프로브광섬유의말단반사코팅층에서반사된기준광과측정대상에서반사된측정광을포함하는갭측정광신호가상기 Nx1 광커플러와상기 2x1 광커플러를통해상기분산형간섭계분광기로입사되어채널별갭측정광신호의간섭무늬로부터갭을연산하도록구성되어, 하나의분광기를이용하여다수채널의갭 측정신호를연산처리할수 있도록구성되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够通过使用低相干光源和分布式干涉仪从一个检测装置接收信号来同时处理各种测量信号的光学间隙传感器装置，以及使用多轴测量光学间隙检测方法 光学间隙传感器。 间隙传感器装置包括：多波长光源; 分布式干涉仪分光器，由N个具有在其上形成的反射涂层的N个通道探针光纤形成的第N沟道探针，2×1光耦合器和1×N光耦合器。 本发明形成为通过将在多波长光源中产生的光源通过2×1光学器件输入到第N个通道探针的每个通道探针光纤，从通过通道的间隙可测量光信号的干涉条纹计算间隙 耦合器和1xN光耦合器，以及间隙可测量的光信号，其包含从每个通道探针光纤末端的反射涂层反射的参考光和从被测量物体反射到测量对象的测量光通过分布式干涉仪分光镜 Nx1光耦合器和2x1光耦合器; 从而使用一个分光镜操作多个通道的间隙测量信号。
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