公开(公告)号：KR102029824B1

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：KR1020180042074

申请日：2018-04-11

Applicant: 조선대학교산학협력단 ,  김진섭 ,  김대희 ,  윤영호

Inventor： 주기남 ,  김진섭 ,  김대희 ,  윤영호

IPC: G01B11/06 ,  G01J1/02 ,  G02B5/08

公开(公告)号：KR1020170055661A

公开(公告)日：2017-05-22

申请号：KR1020150158595

申请日：2015-11-12

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 주기남 ,  서용범 ,  윤영호

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/06 ,  G01N21/21

Abstract: 본발명은대면적실시간타원계측장치에관한것으로, 보다구체적으로는시편에조사되는편광의방향을전자적으로제어하여, 편광방향을빠르게변화시킬수 있고, 면측정방식으로시편의박막을삼차원으로측정할수 있는대면적실시간박막측정분광영상타워계측장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种大规模实时椭偏仪，和通过电子控制偏振方向被照射在试样上，sikilsu迅速变化的偏振方向更具体euroneun，并且其可以在三个维度测量所述试样的薄膜的表面的测量方法 对大面积实时薄膜测量光谱图像塔测量装置。

公开(公告)号：KR101936792B1

公开(公告)日：2019-01-09

申请号：KR1020170107929

申请日：2017-08-25

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 주기남 ,  윤영호 ,  김대희

IPC: G01B11/06 ,  G01B9/02

公开(公告)号：KR101678891B1

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：KR1020150185907

申请日：2015-12-24

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 주기남 ,  서용범 ,  윤영호

IPC: G01B9/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  G02B27/10 ,  G02B27/30

Abstract: 본발명은분산판을이용한방향판별분산간섭계및 이를이용한측정시스템에관한것으로, 보다구체적으로는분산간섭계에서추출되는광주파수별위상의비선형성분을이용하여거리의방향성을판별할수 있는분산간섭계및 이를이용한측정시스템에관한것이다. 본발명의분산판을이용한방향판별분산간섭계에의하면, 분산간섭계에서추출되는광주파수별위상의비선형성분을이용하여거리의방향성을판별할수 있어측정영역이증가하는장점이있다. 또한, 본발명의분산간섭계를이용한측정시스템에의하면분산간섭계의방향성판별을통해측정영역을확장할수 있을뿐만아니라, 구동스테이지의불필요한움직임을제거할수 있는효과가있다.