균일 유량 배분이 가능한 분산유닛
    2.
    发明授权
    균일 유량 배분이 가능한 분산유닛 有权
    均匀分散扩散器

    公开(公告)号:KR101670073B1

    公开(公告)日:2016-11-10

    申请号:KR1020160004007

    申请日:2016-01-13

    Abstract: 분산유닛은내부에서처리가스가반응되는반응챔버의기저부에위치하며, 유입부, 챔버부, 가이드베인및 확산부를포함한다. 상기유입부는처리가스가유입된다. 상기챔버부는상기유입부로부터연장되어상기처리가스의이동통로를확장하며내부에공간을형성한다. 상기가이드베인은상기챔버부의공간에수납되며복수의가이드프레임들이중첩되어복수의베인들을형성하며, 상기유입부로유입된처리가스가상기베인들을통해상부로분배된다. 상기확산부는상기가이드베인의상부에상기반응챔버와의사이에위치하여, 상기처리가스를상기반응챔버로균일하게확산시킨다.

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