公开(公告)号：KR20210029637A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：KR1020190133092A

申请日：2019-10-24

Applicant: 주식회사 글린트머티리얼즈 ,  숭실대학교산학협력단

Inventor： 장동준 ,  정성준

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67742

Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 미끄럼 방지 패드는, 웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드로서, 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재 및 상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재를 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR20210029638A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：KR1020190133093A

申请日：2019-10-24

Applicant: 주식회사 글린트머티리얼즈 ,  숭실대학교산학협력단

Inventor： 장동준 ,  정성준

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67742

Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 이중 구조의 미끄럼 방지 패드는, 웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드로서, 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되며, 상면에는 상기 웨이퍼의 일면이 안착되는 패드부재를 포함하며, 상기 패드부재에는 상호 다른 반데르발스 힘(van der Walls force)을 구비하는 중앙 부분과 외곽 부분이 구비될 수 있다.