Abstract:
PURPOSE: A precursor for preparing ZnO thin film and method for preparing ZnO thin film through chemical vapor deposition using the same are provided to perform ZnO thin film deposition process at low temperature and use in solar cell. CONSTITUTION: A precursor for preparing ZnO thin film has a structure of chemical formula 1. In the chemical 1, R is straight or branched alkyl group of C1-C4. A method for preparing the precursor for preparing ZnO thin film of chemical formula 1 comprises: a step of reacting tetramethylethylenediamine with zinc chloride; and a step of reacting reaction product with alkyl acetoacetate sodium. The alkyl acetoacetate sodium is ethyl acetoacetate sodium or tertiary butyl acetoacetate sodium. The ZnO thin film is formed using the precursor through chemical vapor deposition.
Abstract:
본 발명은 ZnO 박막 제조용 전구체 및 이를 이용한 화학기상증착법에 의한 ZnO 박막의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 ZnO 박막 제조용 전구체는 하기 화학식 1의 구조를 가진다.
(상기 식에서, R은 C 1 내지 C 4 의 직쇄 또는 분쇄의 알킬기이다) 본 발명의 ZnO 박막 제조용 전구체 화합물을 이용하면 ZnO 박막 증착 공정을 500℃ 이하의 낮은 온도에서도 수행할 수 있으며, 원하는 곳에 ZnO 박막을 용이하게 형성할 수 있다. Zn0 박막
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본 발명은 주족 금속 양이온 및 고립전자쌍 양이온을 포함하는 신규한 유사 육방정계 텅스텐 산화물 층상 골격구조의 혼합금속산화물에 관한 것으로, 촉매, 이온 교환, 층간 삽입 등의 특성으로 인해 촉매, 층간 삽입 복합체, 약물전달체, 이차전지 양극제 또는 전기/광학재료물질 등에 사용될 수 있다.
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본 발명은 인듐, 바나듐 및 텔루르 또는 셀레늄 전구체들의 표준 고체상 반응을 통해 결정과 순수 벌크 분말 형태로 합성되는 4기의 혼합금속산화물에 관한 것으로, 중심대칭인 화합물은 2차원 층상구조를, 비중심대칭인 화합물은 3차원 골격구조를 나타내며, 비중심대칭 화합물은 비선형 광학 특성을 가지고 있어 다양한 분야에서 사용할 수 있다.
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본 발명은 신규한 층상 구조의 인듐 셀레늄 산화염화물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고체상 합성 반응을 통해 셀레늄 산화염화물의 골격에 인듐이 도입되어 뒤틀린 InO 4 Cl 2 팔면체 및 비대칭 SeO 3 다면체가 산소 원자에 의해 연결되어 층상 구조를 형성하며, 할로겐 친화성 및 친황 모이어티가 서로 분리되어 있고, 사방정계 공간군에서 결정화되어 우수한 물적 특성을 나타내어 다양한 용도로 사용할 수 있다.
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본 발명은 신규한 층상 구조의 인듐-유기 골격 화합물에 관한 것으로, 수성 용매 하에서 인듐 화합물, 구조유도체, 불소 화합물 및 두 자리 유기화합물의 수열반응을 통해 인듐을 함유한 다면체와 두 자리 카르복실산 유기 링커가 배위되어 이차원 층상 구조를 이루고, 기공이 없는 결정 형태로 분리되어 크기가 작은 방사성 금속의 흡착 또는 저장 용도로 사용할 수 있는 신규한 인듐-유기 골격 화합물을 제공하는 효과가 있다.
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본 발명은 비대칭 구조를 갖는 구리 전구체를 화학증기증착법으로 증착하여 기판 상에 구리 박막을 제조한 후, 상기 구리 박막이 형성된 기판에 인듐-셀레늄을 포함하는 비대칭 전구체를 온화한 온도 및 시간 조건 하에서 연속 증착하여, 구리: 인듐: 셀레늄의 비율이 1:1:2를 충족하는 단일상의 고순도 CuInSe 2 박막의 제조방법 및 그로부터 제조된 CuInSe 2 박막에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 비대칭 전구체를 이용하고 화학증기증착법으로 증착함으로써, 종래보다 상대적으로 낮은 온도 및 단축된 시간 내에 조성의 변화 없이 일정하고, 불순물의 유입없이 고순도의 CuInSe 2 박막을 제조할 수 있으며, 제조된 고순도의 CuInSe 2 박막은 태양전지의 광흡수 박막층, 양자점 또는 LED 박막분야에 유용하게 적용될 수 있다. 나아가, 본 발명의 고순도의 CuInSe 2 박막은 초박막 광흡수층 태양전지(Extremely Thin Absorber layer Solar cells, ETA Solar Cells) 분야에 활용할 수 있다. 화학증기증착법, 비대칭 구리전구체, 인듐, 셀레늄, 태양전지소자