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发明授权
단결정 산화갈륨의 결함 평가방법 有权

公开(公告)号：KR102255421B1

公开(公告)日：2021-05-24

申请号：KR1020200100775

申请日：2020-08-11

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 홍순구 , 고시찹 , 능콱부옹

IPC: G01N21/95 , G01N1/32 , G01B11/30

Abstract: 본발명은고가의복잡한장비를사용하지않더라도비숙련자에의해서도표준화된방법에의해대면적단결정산화갈륨시료중 체결함밀도를정성/정량적으로평가할수 있는방법에관한것으로, 보다상세하게는 (A) 단결정의관찰면을에칭하여에치핏을형성하는단계; 및 (B) 체결함에의한사각형의에치핏을선별하는단계;를포함하는것을특징으로하는단결정산화갈륨시료중 체결함의평가방법에관한것이다.

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