公开(公告)号：KR101965368B1

公开(公告)日：2019-04-03

申请号：KR1020170125325

申请日：2017-09-27

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 홍순구 ,  르뒤덕

IPC: C30B25/18 ,  C30B25/10 ,  C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR101897494B1

公开(公告)日：2018-09-12

申请号：KR1020170081111

申请日：2017-06-27

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 홍순구 ,  고시찹

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02249 ,  H01L21/02269 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/02598 ,  H01L21/324

Abstract: 본발명은산화갈륨와동일한결정구조를가지며산화갈륨의넓은밴드갭을유지하면서도산화갈륨에비해표면거칠기를저감시키고, 밴드갭을미세하게조절할수 있는산화질화갈륨박막의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는갈륨과함께산소와질소의혼합플라즈마가스를공급하여분자선에피텍시(MBE, Molecular Beam Epitaxy) 방법에의해기판상에박막을성장시키는것을특징으로하는산화질화갈륨단결정박막의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR102012809B1

公开(公告)日：2019-08-21

申请号：KR1020190040362

申请日：2019-04-05

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 홍순구 ,  고시찹 ,  르뒤덕 ,  이정국

IPC: G01N21/95 ,  G01B11/22 ,  G02B21/00 ,  H01L21/66 ,  G01N21/88

公开(公告)号：KR102255421B1

公开(公告)日：2021-05-24

申请号：KR1020200100775

申请日：2020-08-11

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 홍순구 ,  고시찹 ,  능콱부옹

IPC: G01N21/95 ,  G01N1/32 ,  G01B11/30

Abstract: 본발명은고가의복잡한장비를사용하지않더라도비숙련자에의해서도표준화된방법에의해대면적단결정산화갈륨시료중 체결함밀도를정성/정량적으로평가할수 있는방법에관한것으로, 보다상세하게는 (A) 단결정의관찰면을에칭하여에치핏을형성하는단계; 및 (B) 체결함에의한사각형의에치핏을선별하는단계;를포함하는것을특징으로하는단결정산화갈륨시료중 체결함의평가방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101955370B1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：KR1020170136677

申请日：2017-10-20

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 홍순구 ,  홍순익 ,  이정국 ,  르뒤덕 ,  고시찹

IPC: C22C29/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58 ,  C23C14/00