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公开(公告)号：KR1020170109779A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：KR1020160033785
申请日：2016-03-22
Applicant: 충남대학교산학협력단
IPC: H01L41/113 , H01L41/047 , H01L41/18 , H01L41/317
Abstract: 본발명은하이브리드에너지하베스팅소자로서유연성기판및 나노단위의층상구조에의해구현이가능하므로초소형장치에적용이용이한압전에너지하베스팅소자에관한것으로, 보다상세하게는제1전극층위에형성된 CHNHPbX(이때, X=Cl, Br 또는 I) 박막층과, 제2전극층이절연층을사이에두고접합되어있는것을특징으로하는압전에너지하베스팅소자에관한것이다.
Abstract translation: CHNHPbX发明形成在，并且更具体地，在混合能量收集在一个紧凑的设备收集设备利用压电能量（第一电极层，因此装置可通过在柔性基板的层叠结构来实现，并且纳米级应用 在这种情况下，X = Cl，Br或I）涉及一种压电能量采集装置，其特征在于，它接合在薄膜层和第二电极层之间的绝缘层。
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公开(公告)号：KR101703124B1
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：KR1020160062075
申请日：2016-05-20
Applicant: 충남대학교산학협력단
IPC: C23C14/58 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/54 , C01F7/02 , C01F7/00 , C01G9/02 , B82Y40/00
CPC classification number: C23C14/5846 , B82Y40/00 , C01F7/001 , C01F7/02 , C01G9/02 , C01P2004/24 , C23C14/086 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/542 , C23C14/5806
Abstract: 본발명은간단하고경제적이고친환경적이며대량생산에적용이용이한 Zn-Al 층상이중수산화물나노시트의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는 (A) 기판상에 Al이도핑된 ZnO(AZO) 박막을형성하는단계; 및 (B) 상기 AZO 박막을탄산수에침지하는단계;를포함하여이루어지는것을특징으로하는 [ZnAl(OH)](CO)·nHO의화학식을갖는 Zn-Al 층상이중수산화물나노시트의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020140039975A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：KR1020130089999
申请日：2013-07-30
Applicant: 충남대학교산학협력단
CPC classification number: C03C17/3607 , B82Y30/00 , C03C17/06 , C03C17/3411 , C03C17/3644 , C03C2217/70
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing antimicrobial glass which has uniformly distributed silver nanoclusters with antimicrobial properties and antimicrobial glass manufactured thereby and, more specifically, to a method for manufacturing antimicrobial glass and antimicrobial glass manufactured thereby, wherein the method includes a step of depositing a SiO2 thin film on glass and a step of forming silver nanoclusters on the SiO2 thin film through sputtering. [Reference numerals] (AA) Fluorine compound
Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有均匀分布的具有抗菌性的银纳米簇的抗微生物玻璃的方法和由其制造的抗微生物玻璃，更具体地说，涉及一种由其制造抗微生物玻璃和抗微生物玻璃的方法，其中该方法包括以下步骤： 在玻璃上沉积SiO 2薄膜，以及通过溅射在SiO2薄膜上形成银纳米团簇的步骤。 （AA）氟化合物
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公开(公告)号：KR101300600B1
公开(公告)日：2013-08-27
申请号：KR1020120002302
申请日：2012-01-09
Applicant: 충남대학교산학협력단
Inventor： 윤순길
Abstract: 본 발명은 단일벽 탄소나노튜브; 단일벽 탄소나노튜브 상에 형성된 ITO(Indium-tin oxide) 박막층; ITO 박막층 상에 형성된 이산화티탄 박막층; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광전기화학 활성이 우수한 이산화티탄/ITO/단일벽 탄소나노튜브 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR100950020B1
公开(公告)日：2010-03-29
申请号：KR1020070064063
申请日：2007-06-28
Applicant: 충남대학교산학협력단 , (주) 케이엠씨 테크놀러지
IPC: H01C7/00
CPC classification number: H01C7/006 , H01C17/075
Abstract: 본 발명은 제4세대 이동통신에 활용되는 감쇠기(attenuator)를 위한 박막저항체에 관한 것으로, AlN(Aluminum nitride) 기판 상에 형성된 Ti(N) 박막으로 이루어진 박막저항체에 관한 것이다.
본 발명의 박막저항체는 면저항과 같은 전기적 특성과 주파수 및 L/W 변화에 따른 감쇠(attenuation) 및 VSWR(voltage standing wave ratio)의 변화 특성이 우수하여 6 GHz의 고주파 영역까지 활용 가능한 특성을 갖는다.
물리증착, Ti(N), AlN 기판, 20dB 및 25W 급 박막저항체. attenuator.-
Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101651946B1
公开(公告)日：2016-08-29
申请号：KR1020150087578
申请日：2015-06-19
Applicant: 충남대학교산학협력단
CPC classification number: B32B17/061 , B32B17/06 , B32B17/1099 , B32B2307/412 , B32B2307/754 , C03C17/36 , C03C17/361 , C03C17/3639 , C03C17/3644 , C03C17/3676 , C03C23/007 , C03C2217/70 , G02B1/16 , G02B1/18
Abstract: 본발명은유리의투명도를유지하면서도전자파차폐능과항균특성을동시에갖는항균유리에관한것으로, 보다상세하게는유리기판상에 AZO/Ag/AZO 다층박막이증착되어있는것을특징으로하는전자파차폐능을갖는광 투과성항균유리에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及具有电磁屏蔽效果和抗微生物特性同时保持玻璃透明度的抗微生物玻璃。 更具体地说，具有电磁屏蔽作用的透光抗菌玻璃通过在玻璃基底上沉积AZO / Ag / AZO多层薄膜来制备。
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公开(公告)号：KR101505449B1
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：KR1020140034527
申请日：2014-03-25
Applicant: 충남대학교산학협력단
CPC classification number: C03C17/09 , C03C17/3644 , C03C17/40 , C03C2217/258 , C03C2217/70 , C03C2218/154
Abstract: 본 발명은 유리의 투명도를 유지하면서도 항균특성을 갖는 물질과 유리의 결합력이 완충층에 의해 강화되어 내구성이 증가한 항균유리의 제조방법 및 그에 의해 제조된 항균유리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (A) 유리 위에 스퍼터링에 의해 티타늄 나노입자를 증착하는 단계;와 (B) 상기 티타늄 나노입자 층 상에 스퍼터링에 의해 항균금속의 나노입자를 증착하는 단계;를 포함하여 제조되는 것을 특징으로 하는 항균유리의 제조방법 및 그에 의해 제조된 항균유리에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种抗微生物玻璃的制造方法，其通过在保持玻璃的缓冲层的透明性的同时，通过增强玻璃与具有抗菌性的材料之间的发现力以及由此制造的抗微生物玻璃来提高耐久性，更具体地说， 包括：通过溅射（A）在玻璃上沉积钛纳米颗粒的步骤; 以及通过溅射将抗微生物金属纳米颗粒沉积在钛纳米颗粒层上的步骤，以及由此制备的抗微生物玻璃。
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9.发明授权
公开(公告)号：KR101092424B1
公开(公告)日：2011-12-09
申请号：KR1020100008175
申请日：2010-01-29
Applicant: 충남대학교산학협력단
IPC: H01L21/365 , H01L27/115 , H01L21/205
Abstract: 본발명은 300℃이하의저온에서상변화메모리재료인 In-Sb-Te의박막을제조할수 있는방법및 이를이용한상변화메모리소자의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로 In, Sb 및 Te의소스증기를진공챔버내의기판상에서반응시키는유기금속화학증착법에의하며, 상기반응시의챔버내의압력이상기반응시 기판의온도가 150~230℃이고챔버내의압력이 1~15 Torr이거나, 기판의온도가 230~300℃이고챔버내의압력이 1~7 Torr인것을특징으로하는유기금속화학증착법에의한상변화메모리소자용 In-Sb-Te 박막의형성방법및 이를이용한상변화메모리소자의제조방법에관한것이다. 본발명에의하면종래기술에의한상변화소재인 GST의대체물질인 IST 박막을 300℃이하의저온에서용이하게형성할수 있으며, 트렌치구조를높은 step-coverage로채울수 있어상변화메모리소자의제조에효율적으로활용할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090046017A
公开(公告)日：2009-05-11
申请号：KR1020070111918
申请日：2007-11-05
Applicant: 충남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분말 야금법에 의한 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟 제조 방법에 있어서 소결단계가 A) 종위 위에 접착제층을 형성하는 단계; B) 상기 접착제 층에 세터 분말을 뿌려 세터 분말층을 형성하는 단계; C) 상기 B) 단계에서 접착체에 접착되지 않은 과량의 세터 분말을 제거하는 단계; 및 D) 기판 위에 세터 분말 층이 위로 향하도록 세터 분말이 도포된 종이를 놓고 그 위에 성형체를 위치시킨 후 소성로에서 소결하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명으로 제조된 타겟은 휨이 거의 없으며 그에 따라 정해진 규격을 맞추기 위한 후공정인 내,외경 연삭의 량과 시간을 절약하여 코스트를 줄일 수 있을 뿐 아니라, 연삭으로 인한 폐기물의 배출량을 줄여 환경적인 측면에도 이점이 있다.
소결, 세라믹 타겟, 금속 타겟, 분말 야금
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