탄화수소 박막, 탄화수소 박막의 제조방법 및 탄화수소 박막을 포함하는 반도체 소자

    公开(公告)号:WO2020141850A1

    公开(公告)日:2020-07-09

    申请号:PCT/KR2019/018783

    申请日:2019-12-31

    Abstract: 고유전성을 바탕으로 SiO 2 박막은 물론 Hf 또는 Zr 기반의 산화물 박막보다도 유전상수가 현저히 높으면서도 박막의 균일성이 우수하고, 동시에 누설전류가 매우 낮고, 높은 유전강도 특성을 나타내어 10nm 노드 이하의 반도체 소자에 적용되어 우수한 성능을 구현할 수 있는 탄화수소 박막으로서, 비정질 구조를 갖고, 유전상수가 10 이상이며, 수소와 탄소의 이차이온 질량분석(SIMS: secondary-ion mass spectrometry) 상대 강도 비가 4 내지 30이고, XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)의 탄소 1s 스펙트럼 상 280eV 내지 290eV 중에 존재하는 결합 에너지 피크(peak)가 1keV 세기의 아르곤(Ar+) 플라즈마 에칭으로 5초 내지 20초 중 어느 하나의 시간 조건 하에서 표면 처리한 전후의 결합 에너지(eV) 이동폭이 0.5eV 이하인 탄화수소 박막 및 이의 제조방법과 이를 적용한 반도체 소자를 제공한다.

    KR20210032113A - Transition structure between microstrip and hollow substrate integrated waveguide

    公开(公告)号:KR20210032113A

    公开(公告)日:2021-03-24

    申请号:KR1020190113435A

    申请日:2019-09-16

    CPC classification number: H01P11/003 H01P1/047 H01P5/08

    Abstract: 본 발명은 마이크로스트립-빈 공간 기판 집적 도파관의 천이 구조에 관한 것으로, 마이크로스트립-빈 공간 기판 집적 도파관 천이 구조는 일정한 선폭을 가지는 마이크로스트립 선로와 연결되는 제1 테이퍼, 제1 테이퍼와 수직 방향으로 일측에 연결되며, 중앙 영역에 일정한 너비의 빈 공간을 가지는 기판 집적 도파관, 빈 공간 기판 집적 도파관 상에서 제1 테이퍼 방향으로 형성된 복수 개의 비아 홀, 제1 테이퍼에 일직선으로 연결되어 빈 공간 내부에 위치하는 제2 테이퍼, 그리고 제1 테이퍼와 제2 테이퍼의 연결 라인에 이어지는 빈 공간 기판 집적 도파관 일측의 경계면에 형성된 제1 커팅 비아홀 및 제2 커팅 비아홀을 포함한다.

    복합체 시트를 이용한 수직력 및 전단력 측정장치, 이를 이용한 재활훈련장치, 이를 이용한 로봇용 핑거 팁 및 이에 의한 수직력 및 전단력 측정방법
    4.
    发明公开
    복합체 시트를 이용한 수직력 및 전단력 측정장치, 이를 이용한 재활훈련장치, 이를 이용한 로봇용 핑거 팁 및 이에 의한 수직력 및 전단력 측정방법 有权
    使用聚合物复合材料板,其康复训练装置,用于机器人手指的方法测量垂直力和剪切力的装置以及使用该方法测量垂直力和剪切力的方法

    公开(公告)号:KR1020140137039A

    公开(公告)日:2014-12-02

    申请号:KR1020130057051

    申请日:2013-05-21

    CPC classification number: G01L1/22 A61B2505/09 B25J19/02 G01L5/161

    Abstract: 본 발명은, 복합체 시트를 이용한 수직력 및 전단력 측정장치, 이를 이용한 재활훈련장치, 이를 이용한 로봇용 핑거 팁 및 이에 의한 수직력 및 전단력 측정방법에 관한 것으로, 전도성 물질을 비전도성 매트릭스에 혼합하여 형성된 복합체 시트; 상기 복합체 시트에 수평 방향으로 상호 마주하게 설치되는 한 쌍의 수평 전극들; 상기 복합체 시트에 수직 방향으로 상호 마주하게 설치되는 한 쌍의 수직 전극들; 상기 복합체 시트에 외력이 가해진 후 측정된 상기 수평 전극들 사이의 저항값 및 상기 수직 전극들 사이의 저항값을 측정하는 저항 측정 모듈; 및 상기 복합체 시트에 외력이 가해지기 전에 측정된 상기 수평 전극들 사이의 초기 저항값 및 상기 수직 전극들 사이의 초기 저항값과, 상기 저항 측정 모듈에 의하여 측정된 저항값들을 이용하여, 상기 외력에 의한 수직력 및 전단력을 도출하는 제어부를 포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用复合片材测量垂直力和剪切力的装置,使用其的康复训练装置,使用该装置的机器人的指尖,以及使用其的垂直力和剪切力的测量方法,以及 包括通过将非导电性基体与导电性材料混合而形成的复合片材; 一对水平电极,水平地安装在复合片材上以彼此面对; 垂直安装在复合片上的一对垂直电极,以彼此面对; 测量水平电极之间的电阻值的电阻测量模块和在施加外力之后测量的垂直电极之间的电阻值; 以及控制单元,通过使用由电阻测量模块测量的电阻值和水平电极之间的初始电阻值与在外力之前测量的垂直电极之间的初始电阻值来计算由外力引起的垂直力和剪切力 施加到复合片材上。

    위치 추적용 스마트 리모컨 장치
    5.
    发明公开
    위치 추적용 스마트 리모컨 장치 有权
    用于检测位置的智能远程控制

    公开(公告)号:KR1020140094230A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:KR1020130006720

    申请日:2013-01-21

    Inventor: 김영민 김동욱

    CPC classification number: H04Q9/04 H04Q2209/40

    Abstract: One object of the present invention is to provide a smart remote control for tracking a position, which is small and very convenient. To achieve the abovementioned objective, the present invention relates to the smart remote control for tracking a position comprising a remote control and a receiving unit corresponding to the remote control, wherein the remote control is configured to include an input switch to recognize operation by a user; a radiation antenna; an orientation antenna; an oscillator to vibrate the remote control; and a control device transmitting a high-frequency signal via the orientation antenna if the input switch is in an operation and operating the oscillator if the radiation antenna transfers a signal. The receiving unit is configured to include an external antenna and a receiving control device for transmitting other high-frequency signal to the external antenna by the signal received by the external antenna.

    Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种用于跟踪小而非常方便的位置的智能遥控器。 为了实现上述目的,本发明涉及用于跟踪包括与遥控器相对应的遥控器和接收单元的位置的智能遥控器,其中所述遥控器被配置为包括用于识别用户的操作的输入开关 ; 辐射天线; 定向天线; 用于振动遥控器的振荡器; 以及控制装置,如果所述输入开关处于操作中,则经由所述定向天线发送高频信号,并且如果所述辐射天线传送信号则操作所述振荡器。 接收单元被配置为包括外部天线和接收控制装置,用于通过由外部天线接收的信号将其它高频信号发送到外部天线。

    재구성 가능 한 링구조 기반 광대역 전압제어 발진기
    6.
    发明授权
    재구성 가능 한 링구조 기반 광대역 전압제어 발진기 有权
    具有可重构环形结构的宽带电压控制振荡器

    公开(公告)号:KR101398997B1

    公开(公告)日:2014-05-30

    申请号:KR1020130013191

    申请日:2013-02-06

    Inventor: 김재준 김동욱

    CPC classification number: H03B19/14 H03B5/1212 H03B5/1228

    Abstract: In a reconfigurable ring structure-based wideband voltage-controlled oscillator, the present invention comprises a plurality of voltage-controlled oscillators with an on-off switch inside a circuit to be turned on and off itself and a mode switch to reconfigure each voltage-controlled oscillation period based on a ring structure. The present invention reduces power consumption by selectively turning off the unused voltage-controlled oscillator in response to the occurrence of a frequency in various bands and reduces signal loss by preventing the frequency signal, which is generated in the various bands through the mode switch internally configured during the voltage-controlled oscillation period, from passing through the switch after the signal is generated.

    Abstract translation: 在基于可重构环形结构的宽带压控振荡器中,本发明包括多个电压控制振荡器,其中电路内的开 - 关开关本身被接通和断开,并且模式开关重新配置每个电压控制 基于环形结构的振荡周期。 本发明通过选择性地关闭未使用的压控振荡器来响应于各种频带中的频率的出现而降低功耗,并且通过防止通过内部配置的模式开关在各种频带中产生的频率信号来减少信号损失 在电压控制的振荡周期期间,在信号产生之后通过开关。

    선형 중첩을 이용한 광대역 송수신 시스템
    7.
    发明公开
    선형 중첩을 이용한 광대역 송수신 시스템 有权
    使用线性监视的宽带收发器系统

    公开(公告)号:KR1020150081032A

    公开(公告)日:2015-07-13

    申请号:KR1020140000583

    申请日:2014-01-03

    Inventor: 김재준 김동욱

    CPC classification number: H03D7/12 H03K3/354

    Abstract: 본발명은선형중첩을이용한광대역송수신시스템에서전압제어발진부와주파수채배부를통해광대역주파수를생성하도록하고, 전압제어발진부와주파수혼합부를통해생성된로컬오실레이터주파수로는수신된광대역주파수의 RF 신호를해석할수 있도록함으로써, 낮은주파수에서부터높은주파수까지다양한주파수대역의활용이가능하도록한다. 또한, 이러한주파수전송시스템을통해하나의칩(chip)으로여러성능을낼 수있는통합칩을구현할수 있도록한다.

    Abstract translation: 在使用线性叠加的宽带收发机系统中,通过电压控制振荡部分和倍频器产生宽带频率。 可以通过通过电压控制振荡部分产生的本地振荡器频率和频率混合部分来分析所接收的宽带频率的RF信号。 因此,可以使用从低频到高频的各种频率范围。 而且,通过频率传输系统通过芯片执行各种性能的集成芯片。

    위치 추적용 스마트 리모컨 장치
    8.
    发明授权
    위치 추적용 스마트 리모컨 장치 有权
    智能遥控器用于检测位置

    公开(公告)号:KR101444942B1

    公开(公告)日:2014-09-26

    申请号:KR1020130006720

    申请日:2013-01-21

    Inventor: 김영민 김동욱

    Abstract: 본 발명은 부피가 작고 사용이 극히 편리한 위치 추적용 스마트 리모컨 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
    상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 리모컨과 상기 리모컨에 대응하는 수신부를 포함하는 위치 추적용 스마트 리모컨 장치에 있어서, 상기 리모컨은: 사용자가 작동을 인식하는 입력 스위치; 방사 안테나; 지향 안테나; 리모컨을 진동시키는 가진기; 및 상기 입력 스위치가 작동 시 상기 지향 안테나를 통하여 고주파의 신호를 송신하며, 상기 방사 안테나를 통하여 신호가 수신되는 경우 상기 가진기를 작동시키는 제어장치를 포함하여 구성되고, 상기 수신부는: 외부 안테나 및 상기 외부 안테나에 의하여 수신된 신호에 의하여 다른 고주파 신호를 상기 외부 안테나로 송신하는 수신 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

    고조파를 이용한 광대역 주파수 혼합장치
    9.
    发明公开
    고조파를 이용한 광대역 주파수 혼합장치 无效
    宽带调音台使用子谐波

    公开(公告)号:KR1020150061937A

    公开(公告)日:2015-06-05

    申请号:KR1020130146329

    申请日:2013-11-28

    Inventor: 김재준 김동욱

    CPC classification number: H03D7/16

    Abstract: 본발명은광대역주파수믹서에서다수의전압제어발진기를링구조로구성하고, 링구조의전압제어발진기에서만들어진다중위상을이용하여국부발진주파수를 1배, 2배, 4배등으로생성가능하도록하는주파수혼합부의구성을통해전압제어발진기에서만들수 있는최대주파수보다상대적으로더 높은광대역주파수를생성하고생성된주파수를혼합할 수있다.

    Abstract translation: 电压控制发生器在宽带可调混合器中形成有环形结构。 频率混合部分通过使用在环形结构的电压控制发生器中产生的多相来产生一次,两次,四次等的本地振荡频率。 因此,产生与电压控制发生器可产生的最大频率相比较高的宽带频率。 产生的频率可以混合。

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