公开(公告)号：KR1020130089408A

公开(公告)日：2013-08-12

申请号：KR1020120010741

申请日：2012-02-02

Applicant: 충남대학교산학협력단 ,  한국기계연구원

Inventor： 백경호 ,  이정환

IPC: C09D1/00 ,  C23C4/10 ,  C04B41/87

CPC classification number: C09D1/00 ,  C01P2004/61 ,  C04B41/87 ,  C23C4/11 ,  C23C4/134

Abstract: PURPOSE: A thermal spray coating agent, which can minutely form an AlN-YAG composite material coating layer expressing excellent thermal conductivity when being coated on a substrate supporting compartment, is provided to present temperature uniformity. CONSTITUTION: A coating agent as a coating material for thermal spray for manufacturing equipment of a semiconductor or a display panel by being used on the ceramic compartment surface includes 50-80 vol% of AlN and 50-20 vol% of YAG (Y3Al5O12). A coating method using the same comprises the steps of: preparing AlN-YAG (Y3Al5O12) composite material powder; blast-processing the surface of the metal or ceramics base material as the substrate support compartments; thermally spraying the AlN-YAG (Y3Al5O12) composite material powder on the surface of the metal or the ceramics base material to form a ceramic coating layer. [Reference numerals] (AA) Heat conductivity (Wm^-1K^-1); (BB) Heat metalizing AIN-YAG coating; (CC) Heat metalizing Al_2O_3; (DD) Measuring temperature (°C)

Abstract translation: 目的：提供一种热喷涂剂，其可以在涂布在基材支撑室上时，能够精细地形成表现出优异导热性的AlN-YAG复合材料涂层，以提供温度均匀性。 构成：作为用于制造半导体或显示面板的设备的热喷涂用涂料作为陶瓷室表面的涂布剂包括50-80vol％的AlN和50〜20vol％的YAG（Y3Al5O12）。 使用其的涂布方法包括以下步骤：制备AlN-YAG（Y3Al5O12）复合材料粉末; 将金属或陶瓷基材的表面作为基板支撑隔室进行冲压加工; 将AlN-YAG（Y3Al5O12）复合材料粉末热喷涂在金属或陶瓷基材的表面上以形成陶瓷涂层。 （标号）（AA）导热率（Wm ^ -1K ^ -1）; （BB）热金属化AIN-YAG涂层; （CC）热金属化Al_2O_3; （DD）测量温度（°C）

公开(公告)号：KR100877381B1

公开(公告)日：2009-01-09

申请号：KR1020070015622

申请日：2007-02-14

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 백경호

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 본 발명은 반도체/디스플레이패널 제조장비에서의 웨이퍼 또는 유리기판을 안정적으로 고정시킬 때 사용되는 정전척의 제조방법에 관한 것으로, 정전척의 핵심 부분을 열용사 코팅에 의하여 형성하되 흡착강도의 증대, 균일한 흡착력, 탈착시간의 단축 그리고 수명의 연장을 이루기 위하여 전기적 절연특성과 유전특성이 요구되는 부분을 내구성이 우수한 Al
2 O
3 -YAG계 코팅 소재를 적용하는 것을 특징으로 한다.
정전척, 유전층, 전기저항, 절연파괴전압, 알루미나-야그

公开(公告)号：KR1020120092227A

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：KR1020110012126

申请日：2011-02-11

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 백경호

IPC: C23C4/10 ,  C23C4/02 ,  B22F9/06

Abstract: PURPOSE: A coating material for thermal spray and a manufacturing and coating method thereof are provided to improve the durability and lifespan of components and to guarantee a chamber in a high purity condition by applying Zr-doped Y2O3 coating layer. CONSTITUTION: A coating method of coating materials for thermal spray is as follows. Mixed powder in which Y2O3 powder and ZrO2 powder are mixed, binder, and dispersing agent are put in liquid solvent. Uniformly mixed slurry is manufacture by ball-milling. The mixed solution of the slurry is sprayed as micron sized droplets and the solvent is removed under a high temperature air or an inner gas condition. Granule powders are manufactured and is thermally treated at 1,000-1,600°C.

Abstract translation: 目的：提供热喷涂用涂料及其制造和涂布方法，以提高组分的耐久性和寿命，并通过施加Zr掺杂的Y 2 O 3涂层来保证高纯度条件下的室。 构成：热喷涂用涂料的涂布方法如下。 混合有Y2O3粉末和ZrO2粉末的混合粉末，粘合剂和分散剂置于液体溶剂中。 通过球磨制造均匀混合的浆料。 将浆料的混合溶液以微米大小的液滴喷雾，并在高温空气或内部气体条件下除去溶剂。 制造颗粒粉末，并在1000-1,600℃进行热处理。

公开(公告)号：KR1020080008941A

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：KR1020070015622

申请日：2007-02-14

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 백경호

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: A high-resistivity ceramic thermal sprayed coating materials and a method for manufacturing the electrostatic chuck having the same are provided to extend a lifespan by applying a ceramic coating layer on a lower insulating layer and an upper dielectric. An electrostatic chuck is formed by stacking a lower dielectric(3), a conductive electrode layer(4), and an upper dielectric(5) on metal members. At least one of the lower and upper dielectrics is formed by coating Al2O3-YAG complex oxide powders. The Al2O3-YAG complex oxide powders include YAG with 5wt% to 95wt% and Al2O3 with 95wt% to 5wt%.

Abstract translation: 提供了一种高电阻率陶瓷热喷涂材料及其制造方法，以通过在下绝缘层和上电介质上施加陶瓷涂层来延长使用寿命。 通过在金属构件上层叠下电介质（3），导电电极层（4）和上电介质（5）来形成静电卡盘。 通过涂覆Al2O3-YAG复合氧化物粉末来形成下电介质和上电介质中的至少一种。 Al2O3-YAG复合氧化物粉末包括具有5重量％至95重量％的YAG和95重量％至5重量％的Al 2 O 3。

公开(公告)号：KR101729229B1

公开(公告)日：2017-05-02

申请号：KR1020160117132

申请日：2016-09-12

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 백경호

IPC: C25B11/04 ,  C25B1/04 ,  C23C4/02 ,  C23C4/134 ,  C23C4/129 ,  C23C4/08 ,  C23C4/18 ,  C22C19/05

Abstract: 본발명은저가의스테인리스강을전극지지체로사용하면서도내식성이향상된알칼리수전해용전극의제조방법및 그에의해제조된전극에관한것으로, 보다상세하게는스테인리스강전극지지체의표면에 Ni-Cr계합금분말을용사코팅하여 Ni-Cr계부식방지층을형성하는것을특징으로하는알칼리수전해용스테인리스강전극의제조방법및 그에의해제조된전극에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在使用低成本电极支承改善碱性水不锈钢制造电极用于电解的耐腐蚀性，它涉及通过制造的电极，并且更尤其是不锈钢强Ni-Cr基合金粉末与极性构件的表面 为了形成Ni-Cr系防腐蚀层，本发明还涉及由该方法制造的电极。

公开(公告)号：KR102136619B1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：KR1020180079294

申请日：2018-07-09

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 백경호

IPC: C25B11/04 ,  C23C4/08 ,  C23C4/18

公开(公告)号：KR101293766B1

公开(公告)日：2013-08-05

申请号：KR1020110012126

申请日：2011-02-11

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 백경호

IPC: C23C4/10 ,  C23C4/02 ,  B22F9/06

Abstract: 반도체/디스플레이패널 제조장비에서 금속 또는 세라믹 부품의 표면에 할로겐 플라스마에 대한 화학적 안정성 및 에칭 저항성이 우수한 Zr이 도핑된 Y
2 O
3
(이하, 'Zr-doped Y
2 O
3 '로 표기한다) 코팅소재를 열용사 방법으로 적용하는 열용사 코팅재 및 그 제조방법과 코팅방법에 관한 것으로, 80 내지 95wt%의 Y
2 O
3 와 20 내지 5wt%의 ZrO
2 로 이루어진 분말을 마련한다.
상기와 같은 열용사 코팅재 및 그 제조방법과 코팅방법을 이용하는 것에 의해, 열용사법을 이용한 반도체/디스플레이패널 제조 공정 부품의 표면 코팅에 있어 F 및 Cl기를 사용하는 플라스마 환경에서 우수한 화학적 안정성과 식각저항성을 나타내는 Zr-doped Y
2 O
3 코팅층을 적용함에 따라 부품의 내구성 및 수명을 향상시킴과 동시에 고청정 챔버 환경을 제공할 수 있다.