Abstract:
본 발명에 의한 코일 위치 자동 정밀 제어에 의한 고주파 유도 가열을 이용한 후판의 3차원 곡가공 장치는, 전원공급수단과, 다수 부품을 지지하는 프레임과, 작업대에 안착된 후판에 고주파 유도 가열을 실시하는 가열수단과, 상기 가열수단 또는 작업대의 움직임을 안내하는 이송수단과, 상기 가열수단 일측을 경유하여 냉각하는 열교환기와, 상기 후판에 대하여 가열 전과 후의 높이 변위를 측정하기 위한 변위측정수단과, 상기 가열수단, 이송수단, 열교환기 및 변위측정수단의 동작을 제어하는 제어수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 이와 같은 구성에 의하면, 곡가공 시간 및 전력 사용량이 현저히 감소하고 더불어 기존의 가스 토치식 선상 가열법과는 달리 열원으로서 가스를 사용하지 않으므로 친환경적이며, 변위측정수단이 구비되어 곡가공 정밀도를 높일 수 있는 이점이 있다.
Abstract:
본 발명에 의한 시트 리클라이너의 섹터투스 제조용 냉간 단조 금형은, SCM415로 이루어지고 어닐링처리 후 윤활피막이 도포된 단조소재를 내부에 수용한 후 냉간으로 가압하여 업세팅함으로써 프리폼을 제조하는 1차단조금형과, 상기 프리폼을 내부에 수용하여 냉간으로 가압함으로써 시트 리클라이너의 섹터투스를 제조하는 2차단조금형을 포함하여 구성된다. 본 발명에 의한 시트 리클라이너의 섹터투스 제조용 냉간 단조 금형을 이용한 섹터투스의 제조 방법은, SCM415로 이루어지고 어닐링처리 후 윤활피막이 도포된 단조소재를 준비하는 소재준비단계와, 상기 단조소재를 시트 리클라이너의 섹터투스 제조용 냉간단조 금형의 일 구성인 1차단조금형 내부에 안착한 후 냉간 단조성형하여 프리폼을 형성하는 1차단조단계와, 상기 프리폼을 2차단조금형 내부에 안착한 후 냉간 단조성형하여 시트 리클라이너의 섹터투스를 제조하는 2차단조단계로 이루어진다.
Abstract:
본 발명은 다공성 세라믹 표면을 밀봉하는 치밀한 희토류 금속 산화물 코팅막 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 평균 표면 거칠기가 0.4 내지 2.3m인 다공성 세라믹층을 포함하는 기판의 다공성 세라믹층 상에 형성된 희토류 금속산화물 코팅막을 제공한다. 본 발명에 따른 다공성 세라믹 표면을 밀봉하는 치밀한 희토류 금속 산화물 코팅막 및 이의 제조방법은 충분한 두께의 다공성 세라믹 코팅층에 의해 내전압 특성 확보 및 치밀한 희토류 금속 산화물 코팅막에 의한 플라즈마 내식성 확보가 동시에 이루어질 수 있는 효과가 있어, 반도체 식각장비를 포함하는 다양한 반도체 장비용 부품에 적용될 수 있다.
Abstract:
본 발명은 알루미늄 후판의 곡면성형 방법에 관한 것으로, 상세하게는 탄성 복원량이 감소되는 알루미늄 후판의 곡면성형 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 알루미늄 후판의 곡면성형 방법은, 주재료가 알루미늄으로 형성되는 다수의 플레이트가 접합된 알루미늄 후판을 목표 곡률과 반대 방향의 곡률을 가지도록 성형하는 제1성형단계; 상기 알루미늄 후판을 목표 곡률과 동일 방향으로 더 작은 곡률을 가지도록 예비 성형하는 제2성형단계; 및 상기 알루미늄 후판이 목표 곡률을 가지도록 성형하는 제3성형단계; 를 포함하여 구성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면 알루미늄 후판의 곡면성형이 용이해지는 이점을 가지며, 이로 인해 알루미늄 후판을 이용한 곡면을 가지는 다양한 형태의 성형체 제조가 가능해지는 장점을 가지게 된다.
Abstract:
본 발명은 알루미늄 후판을 이용한 구체 형상 저장용기의 성형 방법에 관한 것으로, 상세하게는 내부 곡률이 목표 곡률을 이루는 알루미늄 후판을 이용한 구체 형상 저장용기의 성형 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 알루미늄 후판을 이용한 구체 형상 저장용기의 성형 방법은, 주재료가 알루미늄으로 형성되는 다수의 플레이트가 접합되면서 구체 형상으로 이루어지는 저장용기를 성형하는 방법에 있어서, 상기 플레이트를 지지하는 면이 목표 곡률을 가지도록 형성되는 다이에 상기 플레이트를 위치시키는 제1단계; 상기 플레이트를 향하는 면이 상기 목표 곡률보다 더 큰 곡률을 가지도록 형성되는 펀치를 이동하여 상기 플레이트를 압착하는 제2단계; 및 상기 펀치를 원위치로 이동시키는 제3단계; 를 포함하여 구성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면 저장용기의 내부 곡률이 목표 곡률을 가지도록 형성됨으로써 탄성 복원력을 저감시켜 치수 정밀도를 향상시킬 수 있는 이점을 가지며, 정확한 저장용량의 파악 및 원하는 용량의 적재가 가능한 장점을 가진다.
Abstract:
본 발명은 금형 형상 변화를 이용한 알루미늄 또는 마그네슘 합금 스크롤 로터의 열간단조 성형방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 금형의 연속적, 비연속적 두께변화를 이용하여 소재 유동을 제어하는 방법과 금형 상에 다양한 크기와 위치, 개수의 벤트홀을 위치시켜 소재 유동을 일정하도록 제어하도록 하여, 불균일하게 성형되는 스크롤 로터 랩부의 높이 편차를 최소화 시킬 수 있으며, 알루미늄 또는 마그네슘 합금 스크롤 로터의 열간 단조성형 후에 발생하는 랩부의 길이 편차를 최소화하고 정밀성형을 유도할 수 있는 금형 형상 변화를 이용한 알루미늄 또는 마그네슘 합금 스크롤 로터의 열간단조 성형방법에 관한 것이다.
Abstract:
PURPOSE: A thermal spray coating agent, which can minutely form an AlN-YAG composite material coating layer expressing excellent thermal conductivity when being coated on a substrate supporting compartment, is provided to present temperature uniformity. CONSTITUTION: A coating agent as a coating material for thermal spray for manufacturing equipment of a semiconductor or a display panel by being used on the ceramic compartment surface includes 50-80 vol% of AlN and 50-20 vol% of YAG (Y3Al5O12). A coating method using the same comprises the steps of: preparing AlN-YAG (Y3Al5O12) composite material powder; blast-processing the surface of the metal or ceramics base material as the substrate support compartments; thermally spraying the AlN-YAG (Y3Al5O12) composite material powder on the surface of the metal or the ceramics base material to form a ceramic coating layer. [Reference numerals] (AA) Heat conductivity (Wm^-1K^-1); (BB) Heat metalizing AIN-YAG coating; (CC) Heat metalizing Al_2O_3; (DD) Measuring temperature (°C)