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公开(公告)号：KR1020160069476A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：KR1020150171931
申请日：2015-12-04
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
Abstract: 형상및 굴절률이기지의제1 기준렌즈와, 형상및 굴절률이기지의제2 기준렌즈와, 매질에의해피검렌즈를사이에끼워피검유닛을구성한다. 피검유닛을투과한빛의파면을측정하고, 제1 기준렌즈의형상및 굴절률과제2 기준렌즈의형상및 굴절률과, 피검유닛의측정된파면을사용해서, 피검렌즈의굴절률분포를산출한다.
Abstract translation: 测试透镜由具有基本形状和基本折射率的第一参考透镜，具有基本形状和基本折射率的第二参考透镜以及介质构成为被测单元插入。 测量穿透测试单元的光的波前，并通过使用第一参考透镜的形状和折射率，第二参考透镜的形状和折射率以及测量的第一参考透镜的测量波前来计算折射率分布 测试单位。
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公开(公告)号：KR101390721B1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：KR1020110091590
申请日：2011-09-09
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
IPC: G01N21/41
Abstract: 계측방법은, 제1 용기내의 피검물과 제1 매질의 광로길이의 합을 계측하는 단계와, 상기 제1 매질을 포함하지만 상기 피검물을 포함하지 않는 영역에 광을 입사시키고, 상기 제1 매질의 광로길이를 계측하는 단계와, 제2 용기내에 배치된 상기 피검물과, 상기 제1 매질과는 다른 굴절률을 갖는 제2 매질의 광로 길이의 합을 계측하는 단계와, 상기 제2 매질을 포함하지만 상기 피검물을 포함하지 않는 영역에 상기 광을 입사시키고, 상기 제2 매질의 상기 광로길이를 계측하는 단계와, 상기 계측된 상기 광로길이와, 각 광로길이가 계측된 광로의 실제 거리에 의거하여, 상기 피검물의 굴절률을 산출하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020110055396A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：KR1020100110789
申请日：2010-11-09
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
CPC classification number: G01M11/0228 , G01N21/45 , G01N2021/9511
Abstract: PURPOSE: A method and a device for measuring refractive index profile is provided to accurately produce optical elements even if the optical elements are formed using a glass material with high refractive index. CONSTITUTION: A method for measuring refractive index profile is as follows. An object(40) is arranged on a first medium which has a lower refractive index than the object. The first penetrated wave surface of the object is measured by irradiating a reference beam to the object. The object is arranged on a second medium which has a refractive index different from the first medium. the second penetrated wave surface of the object is measured by irradiating a reference beam to the object. The inner refractive index profile of the object is computed.
Abstract translation: 目的：提供用于测量折射率分布的方法和装置，以便即使使用具有高折射率的玻璃材料形成光学元件来精确地产生光学元件。 构成：用于测量折射率分布的方法如下。 物体（40）布置在折射率低于物体的第一介质上。 通过将参考光束照射到物体来测量物体的第一穿透波面。 该物体被布置在具有与第一介质不同的折射率的第二介质上。 通过将参考光束照射到物体来测量物体的第二穿透波面。 计算物体的内部折射率分布。
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公开(公告)号：KR101373659B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020127029786
申请日：2011-05-19
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
CPC classification number: G01N21/45 , G01M11/0228 , G01M11/0257 , G01M11/0271
Abstract: 굴절률 분포 계측방법은, 피검물의 굴절률과는 다른 굴절률을 가지는 매질에 배치된 상기 피검물에 참조 광을 입사하여서 상기 피검물의 투과 파면을 계측하는 단계와, 상기 투과 파면의 계측결과를 사용해서 상기 피검물의 굴절률 분포를 산출하는 단계를 포함한다. 상기 계측 단계는, 제1 파장에 있어서의 제1 투과 파면과, 상기 제1 파장과는 다른 제2 파장에 있어서의 제2 투과 파면을 계측한다. 상기 산출 단계는, 상기 제1 및 제2 투과 파면의 계측결과와, 상기 제1 및 제2 파장 각각에 대해 상기 매질에 배치된 기준 피검물의 투과 파면을 사용하여, 상기 피검물의 형상성분을 제거함으로써, 상기 피검물의 굴절률 분포를 산출한다. 그 기준 피검물은, 상기 피검물과 동일형상 및 특정한 굴절률 분포를 갖는다.
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公开(公告)号：KR1020130006692A
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：KR1020127029786
申请日：2011-05-19
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
CPC classification number: G01N21/45 , G01M11/0228 , G01M11/0257 , G01M11/0271
Abstract: 굴절률 분포 계측방법은, 피검물의 굴절률과는 다른 굴절률을 가지는 매질에 배치된 상기 피검물에 참조 광을 입사하여서 상기 피검물의 투과 파면을 계측하는 단계와, 상기 투과 파면의 계측결과를 사용해서 상기 피검물의 굴절률 분포를 산출하는 단계를 포함한다. 상기 계측 단계는, 제1 파장에 있어서의 제1 투과 파면과, 상기 제1 파장과는 다른 제2 파장에 있어서의 제2 투과 파면을 계측한다. 상기 산출 단계는, 상기 제1 및 제2 투과 파면의 계측결과와, 상기 제1 및 제2 파장 각각에 대해 상기 매질에 배치된 기준 피검물의 투과 파면을 사용하여, 상기 피검물의 형상성분을 제거함으로써, 상기 피검물의 굴절률 분포를 산출한다. 그 기준 피검물은, 상기 피검물과 동일형상 및 특정한 굴절률 분포를 갖는다.
Abstract translation: 折射率分布测量方法，其中通过hayeoseo和分析物折射率入射参考光，所述设置在介质具有使用该方法用于测量分析物的发射波前，发送波阵面的分析物的测定结果不同的折射率的分析物 并计算水的折射率分布。 测量步骤测量第一波长的第一发射波前和不同于第一波长的第二波长的第二发射波前。 由计算步骤中，去除所述发送波前和，所述第一和与水传输波前的参考分析物的第一和第二测量结果，放置在介质用于两个波长的水的分析物状部件 ，计算待检查对象的折射率分布。 参考分析物具有与分析物相同的形状和特定的折射率分布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160142235A
公开(公告)日：2016-12-12
申请号：KR1020160066288
申请日：2016-05-30
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
IPC: G01N21/41 , G01N21/59 , G01N21/894
CPC classification number: G01N21/4133 , G01M11/0285 , G01N21/45 , G01N21/5911 , G01N21/894 , G01N2021/5957
Abstract: 피검물을매질내부에배치하고, 상기피검물을투과한빛의파면들을복수의파장에서계측한다. 상기복수의파장에서계측된상기피검물의상기투과파면들과, 특정한군 굴절률분포를갖는기준피검물이상기매질내부에배치되어있을때 복수의파장에서의투과파면들로부터, 상기피검물의상기투과파면들과상기기준피검물의상기투과파면들의차분에해당하는파면수차의파장에관한변화율을산출한다. 상기파면수차의파장에관한상기변화율에근거하여, 상기피검물의굴절률분포를산출한다.
Abstract translation: 将测试对象放置在介质内，并且以多个波长测量透过测试对象的光的波前。 当具有特定组折射率分布的参考对象被放置在介质中时，从在多个波长处测量的测试对象的发射波前和多个波长的发射波前，相对于波长的波前像差的变化率 对应于测试对象的发送波前与参考对象的发射波阵面之间的差异。 基于相对于波长的波前像差的变化率来计算测试对象的折射率分布。
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公开(公告)号：KR1020150075355A
公开(公告)日：2015-07-03
申请号：KR1020140160549
申请日：2014-11-18
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0271 , G01M11/0285 , G01M11/00 , G01M11/02 , G01M11/0228 , G01N21/00 , G01N21/41
Abstract: 굴절률분포계측방법은광원으로부터방출된빛을참조광과피검광으로분할하고, 상기참조광과, 상기피검물을투과한상기피검광을간섭시켜서, 제1 및제2 파장의각각에있어서의상기참조광과상기피검광간의위상차를측정하고, 상기제1 및제2 파장의각각에있어서의상기피검광의파면수차를측정하는것을포함한다. 이굴절률분포계측방법은제1 파장에있어서의위상차와제2 파장에있어서의위상차간의차분인위상차차분량을산출하고, 상기제1 파장에있어서의파면수차와상기제2 파장에있어서의파면수차간의차분인파면수차차분량을산출하며, 상기위상차차분량과상기파면수차차분량에의거하여상기피검물의굴절률분포를산출하는것을더 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的折射率分布测量方法将从光源发射的光分成参考光和目标光，将参考光与目标物体透射的目标光干涉，测量参考光与目标之间的相位差 测量第一波长和第二波长的光，并且测量在第一波长和第二波长处的目标光的波前像差。 此外，折射率分布测量方法计算第一波长的相位差和第二波长的相位差之间的相位差的差异，计算第一波长的波前像差与波前像差之间的波前像差的差异 并且根据相位差和波前像差的差来计算折射率分布。
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公开(公告)号：KR1020160145496A
公开(公告)日：2016-12-20
申请号：KR1020160070714
申请日：2016-06-08
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
IPC: G01N21/41 , G01N21/45 , G01N21/958 , G01J9/02
CPC classification number: G01N21/45 , G01B9/02024 , G01B11/06 , G01M11/0271 , G01N2201/066 , G01N2201/068 , G01N2201/12 , G01N21/41 , G01J9/02 , G01J2009/0211 , G01N21/958 , G01N2021/9583
Abstract: 피검물의위상굴절률을고정밀도로계측한다. 광원으로부터의빛을참조광 빔과피검광 빔으로분할하고, 피검물을투과한피검광 빔과참조광 빔사이에간섭을일으킴으로써, 참조광 빔과피검광 빔사이의위상차를계측한다. 기준피검물의위상굴절률의파장에관한기울기에근거하여, 위상차에포함된 2π의정수배에대응하는값을산출하여, 피검물의위상굴절률을산출한다.
Abstract translation: 以高精度测量被测物体的相位折射率。 通过将来自光源的光分成参考光束和测试光束来测量参考光束和测试光束之间的相位差，并且使透过测试对象的测试光束与参考光之间的干涉 光束。 基于相对于波长的参考对象的相位折射率的斜率，通过计算对应于包括在相位差中的2π的整数倍的值来计算被测物体的相位折射率。
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公开(公告)号：KR101226088B1
公开(公告)日：2013-01-24
申请号：KR1020100110789
申请日：2010-11-09
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
CPC classification number: G01M11/0228 , G01N21/45 , G01N2021/9511
Abstract: 굴절률 분포 계측방법은, 피검물 굴절률보다도 낮은 굴절률을 갖는 제1 및 제2 매질에 피검물을 배치하고, 상기 피검물에 참조 광이 입사되게 하여 제1 및 제2 투과 파면을 계측하는 제1 및 제 2 단계를 포함한다. 상기 피검물의 주변부에 입사해서 상기 피검물의 동일점을 지나는 광선을 제1 및 제2 광선으로서 정의할 때, 상기 방법은, 이들 광선의 진행 방향을 서로 다르게 해서, 피검물을 투과한 후의 참조 광이 상기 피검물에 입사하기 전의 상기 참조 광보다 평행 광에 더 가깝도록 상기 참조 광의 NA를 변경한다. 상기 방법은, 상기 피검물의 기하학적 두께를 사용해서 상기 피검물의 실효적 두께를 산출하고, 상기 제1 및 제2 투과 파면과 상기 실효적 두께를 사용해서 상기 피검물의 굴절률 분포를 산출한다.
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公开(公告)号：KR1020120029329A
公开(公告)日：2012-03-26
申请号：KR1020110091590
申请日：2011-09-09
Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
Inventor： 스기모토토모히로
IPC: G01N21/41
Abstract: PURPOSE: A refractive index measuring method and a measuring device are provided to maintain a reflective index rate of an object at a constant density because the temperature difference between first and second media is diminished. CONSTITUTION: A refractive index measuring method is as follows. The light incidents to an object(50) in a first container(40) and a first medium(60) and a length sum of optical paths of the object and the first medium is measured. The light incidents to a region in which contain the first medium however doesn't contain the object and the optical path's length of the first medium is measured. The light incidents to the object in a second container(41) and the second medium. A length sum of optical paths of the object and the second medium(61) is measured. The light incidents to a region in which contain the second medium however doesn't contain the object and the optical path's length of the second medium is measured. The refractive index of the object is calculated based on the actual distance of the optical path and the measured optical path's length.
Abstract translation: 目的：提供折射率测量方法和测量装置，以保持物体的反射率在恒定的密度，因为第一和第二介质之间的温度差减小。 构成：折射率测定方法如下。 对第一容器（40）和第一介质（60）中的物体（50）和物体和第一介质的光路长度之和进行测量。 然而，对包含第一介质的区域的光事件不包含物体并且测量第一介质的光路长度。 光在第二容器（41）和第二介质中碰到物体。 测量物体和第二介质（61）的光路长度之和。 然而，测量到包含第二介质的区域的光不包含物体并且测量第二介质的光路长度。 基于光路的实际距离和测量光路的长度来计算物体的折射率。
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