가요성 유리 기판의 피드백 제어식 레이저 절단
    1.
    发明公开
    가요성 유리 기판의 피드백 제어식 레이저 절단 审中-实审
    反馈控制激光切割柔性玻璃基板

    公开(公告)号:KR1020170088371A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:KR1020177016413

    申请日:2015-11-18

    Inventor: 리싱후아

    Abstract: 얇은가요성유리기판을절단하는방법은유리기판상의조사구역에대한크랙팁의위치를감시하도록구성된피드백루프를이용한다. 피드백루프를포함하는공정제어기는크랙팁과조사구역사이의거리에기초하여레이저빔 파워, 레이저속도또는냉각유체속도중의적어도하나를제어한다.

    Abstract translation: 一种切割薄柔性玻璃基板的方法利用反馈回路,该回馈回路被配置成监视裂纹尖端相对于玻璃基板上的照射区域的位置。 包括反馈回路的过程控制器基于裂缝尖端和照射区域之间的距离来控制激光束功率,激光速度或冷却流体速度中的至少一个。

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