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公开(公告)号：KR100970243B1
公开(公告)日：2010-07-16
申请号：KR1020080031130
申请日：2008-04-03
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/687 , H01L21/02 , H01L21/66
CPC classification number: H01L21/67253 , G01N1/28 , G01N2001/2826 , G01N2001/383 , H01L21/67051 , H01L21/68728 , H01L21/68785
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 오염물질 측정장치의 스캔 스테이지에 관한 것으로,
원형의 고정 하우징(11)과, 이 고정하우징(11)의 내측에서 회전가능하게 설치되는 회전체(12)와, 이 회전체(12)의 중심부에서 흡착통로(15)를 형성하되 저부의 진공포트(16)와 연결되는 흡착플레이트(14)와, 상기 회전체(12)를 구동하기 위하여 상기 고정 하우징(11)의 저부에 설치되는 스텝모터(17)로 이루어진 스테이지 본체(10)와, 상기 스테이지 본체(10)의 고정 하우징(11)의 하부공간(a)을 형성하도록 기둥(22)들로 받쳐지게 한 베이스플레이트(20)와, 상기 스테이지 본체(10)의 외측에서 웨이퍼를 받치도록 하는 것으로 도면상 3개를 원형상 3등분하여 배치된 받침지그(30)들을 포함한 것으로 웨이퍼의 받침지그가 상,하 이동가능하게 하여 웨이퍼의 이펙팅이 수월하게 한다.
반도체웨이퍼,오염물질, 측정장치,스캔스테이지,-
公开(公告)号：KR1020090105584A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080031128
申请日：2008-04-03
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/6719 , H01L21/67126 , H01L21/67748 , H01L21/67772
Abstract: PURPOSE: A VPD unit of an auto scanning system and a door opening and closing device are provided to improve wafer yield by increasing the vapor phase decomposition effect of the wafer. CONSTITUTION: A VPD unit of an auto scanning system includes a body(100) and a door. The body is a rectangular cylinder and forms an internal space. A support is formed in the bottom of the body. Gas discharge and suction nozzles are positioned in the body. A transparent window(104) is formed in an upper side of the body. A detection terminal(105) for controlling the inner atmosphere is formed in the center of the body. A wafer slot(106) is formed by opening one side of the body. A door covers or opens the slot of the VPD unit.
Abstract translation: 目的：提供自动扫描系统的VPD单元和门打开和关闭装置，以通过增加晶片的气相分解效果来提高晶片的产量。 构成：自动扫描系统的VPD单元包括主体（100）和门。 身体是一个矩形圆柱体，形成一个内部空间。 在身体的底部形成支撑。 气体放电和吸嘴位于体内。 在身体的上侧形成透明窗（104）。 用于控制内部气氛的检测端子（105）形成在身体的中心。 通过打开主体的一侧来形成晶片槽（106）。 门盖或打开VPD单元的插槽。
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公开(公告)号：KR1020090105585A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080031129
申请日：2008-04-03
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L21/67253 , Y10S134/902 , Y10S438/906
Abstract: PURPOSE: A scanning arm of an auto scanning system and a scanning unit using the same are provided to grasp the contaminant collection situation and the upper and lower position movement of a nozzle by grasping the contact state in the nozzle and a bar frame through a lighting unit. CONSTITUTION: A scanning arm(10) of an auto scanning system includes an X axis(11), a Z axis(12), and a Y axis(13). The Z axis is vertical to the X axis to move forward and backward along the X axis. The Y axis is installed in the Z axis to ascend and descend in the Z axis.
Abstract translation: 目的：提供自动扫描系统的扫描臂和使用其的扫描单元，通过抓住喷嘴中的接触状态和通过照明的杆框来掌握喷嘴的污染物收集状况和上下位置运动 单元。 构成：自动扫描系统的扫描臂（10）包括X轴（11），Z轴（12）和Y轴（13）。 Z轴垂直于X轴，沿X轴向前后移动。 Y轴安装在Z轴上，在Z轴上上下移动。
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公开(公告)号：KR1020100065470A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：KR1020080123807
申请日：2008-12-08
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67778 , H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: PURPOSE: A wafer distribution apparatus is provided to distribute a wafer from a cassette into respective carriers by moving a loading unit back and forth between a stage and a casing. CONSTITUTION: A stage(3) is horizontally extended to settle a wafer carrier on a part of the front side of a supporting stand. A loading apparatus forms an end-effector unit(4) which loads and transfers the wafer from the carrier on the stage. A transferring unit(6) transfers a loading unit back and forth on the upper side of the supporting stand.
Abstract translation: 目的：提供一种晶片分配设备，用于通过在载物台和壳体之间来回移动装载单元，将晶片从盒子分配到相应的载体中。 构成：水平延伸的台（3）在支架的前侧的一部分上沉淀晶片载体。 装载装置形成一个末端执行器单元（4），该单元（4）从台架上的载体加载和传送晶片。 传送单元（6）在支撑架的上侧上来回传送装载单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100959388B1
公开(公告)日：2010-05-24
申请号：KR1020080031128
申请日：2008-04-03
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/6719 , H01L21/67126 , H01L21/67748 , H01L21/67772
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 오염물질 측정장치의 VPD유닛의 도어개폐장치에 관한 것으로,
사각통형의 본체로서 내부에 소정의 공간을 형성하되 바닥측에 받침구들이 형성됨과 아울러 가스배출 및 흡입 노즐들이 위치하며, 상면은 투명하게 투시창을 형성하고 그 중심에 내부 분위기 제어용 검출단자를 형성하며, 일측면을 개방하여 웨이퍼 투입구를 형성하는 VPD유닛의 본체; 및 상기 VPD유닛의 투입구를 밀폐되게 커버함과 아울러 개방되는 도어로서 이 도어의 개폐는 VPD유닛 본체의 입구를 개폐하기 위한 도어(114)를 전후진 이동시키도록 실린더로드(113),에어실린더(112),플레이트(111)로 이루어진 전,후진부(110)와;고정플레이트(121), 가이드바(125), 슬라이드바(124), 실린더(122)로 이루어진 승강부(120)로 이루어진다.
웨이퍼,오염물질측정장치,VPD유닛,도어개폐.-
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公开(公告)号：KR100968781B1
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080031129
申请日：2008-04-03
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L21/67253 , Y10S134/902 , Y10S438/906
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 오염물질 측정장치의 스캐닝 암과 이를 이용한 스캐닝 유닛에 관한 것으로 특히, 3축의 작동궤적을 갖는 스캐닝 암이 X축부와,이 X축부를 타고 전,후진 이동되도록 X축부에 수직 설치된 Z축부와, 이 Z축부에서 승,하강되도록 Z축에 설치되는 Y축부로 이루어지며, 이러한 스캐닝암; 및 웨이퍼표면에 시약을 펌핑함과 동시에 흡입하여 오염물질을 스캐닝하도록 상기 Y축부에 설치되는 스캐닝 노즐을 포함하며, 상기 스캐닝암은 X,Y,Z축부는 각각 외부케이싱내에 LM가이드와, 스크류바를 설치하고, 이 스크류바에는 슬라이더가 볼너트로 맞추어져 스크류바를 회동하므로서 슬라이더가 이동되며, 상기 스캐닝 노즐은 펌핑부와, 이 펌핑부를 지지하는 받침대와, 펌핑부의 하방에 연결되는 노즐 본체로 이루어진다. 이 반도체 웨이퍼 오염물질 포집장치의 스캐닝 유닛은 3축의 작동궤적을 갖는 스캐닝암과, 이 스캐닝암에 부착된 노즐에 의한 접촉상황을 드라이어에 의하여 포집과 동시에 건조가 이루어지는 특징을 갖는다.
반도체웨이퍼,오염물질,포집장치,스캐닝 암,노즐,유닛.-
公开(公告)号：KR1020100065471A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：KR1020080123808
申请日：2008-12-08
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/673 , H01L21/02 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67265 , B25J11/0095 , H01L21/67706
Abstract: PURPOSE: A mapping apparatus for a wafer distribution machine is provided to prevent the damage and the breakage of a wafer by transferring and separating a plurality of wafers with two or more end-effector units. CONSTITUTION: A stage(3) is horizontally extended to settle a carrier on a part of the front part of a supporting stand. A loading unit forms an end-effector unit(4) which loads and transfers a wafer from the carrier on the upper side of the supporting stand. A transferring unit(6) transfers the loading unit back and forth on the upper side of the supporting stand. An inspection unit inspects the loading state and the location of a wafer on the upper side of the supporting stand.
Abstract translation: 目的：提供一种用于晶片分配机的映射装置，用于通过用两个或多个端部执行器单元传送和分离多个晶片来防止晶片损坏和断裂。 构成：水平延伸的台架（3）可以在支架的前部的一部分上固定托架。 装载单元形成端部执行器单元（4），其从支架的上侧的载体加载和传送晶片。 传送单元（6）在支撑架的上侧上前后移动装载单元。 检查单元检查在支撑台的上侧上的晶片的装载状态和位置。
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公开(公告)号：KR1020090105586A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080031130
申请日：2008-04-03
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/687 , H01L21/02 , H01L21/66
CPC classification number: H01L21/67253 , G01N1/28 , G01N2001/2826 , G01N2001/383 , H01L21/67051 , H01L21/68728 , H01L21/68785
Abstract: PURPOSE: A scan stage of an auto scanning system is provided to rotate a rotator at each stage accurately by installing a step motor in a fixing housing. CONSTITUTION: A stage body(10) is comprised of a circular fixing housing(11), an absorption plate(14), and a step motor. The absorption plate is installed to rotate in an inner side of the fixing housing. An absorption path(13) is formed in the center of the absorption plate and is connected to a vacuum port. The absorption plate is rotated by the external rotation power. The step motor is installed in the lower side of the fixing housing to drive the absorption plate and is connected to the absorption plate. A base plate(20) is supported by a post(22) to form a fixing housing lower space of the stage body. A cylinder(24) is connected to the lower side by a cylinder rod to move the base plate up and down. A support jig(30) supports the wafer in the outside of the stage body.
Abstract translation: 目的：提供自动扫描系统的扫描阶段，通过将步进电机安装在固定外壳中，精确地旋转每个阶段的旋转器。 构成：台体（10）由圆形固定壳体（11），吸收板（14）和步进电机构成。 吸收板安装成在固定壳体的内侧旋转。 吸收路径（13）形成在吸收板的中心并连接到真空口。 吸收板通过外部旋转动力旋转。 步进电机安装在固定壳体的下侧，以驱动吸收板并连接到吸收板。 基板（20）由支柱（22）支撑，以形成台架主体的下部空间。 气缸（24）通过气缸杆连接到下侧，以使底板上下移动。 支撑夹具（30）在台体的外侧支撑晶片。
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