옥심에스테르 화합물, 라디칼 중합개시제, 중합성 조성물, 네가티브형 레지스트 및 화상 패턴
    3.
    发明公开
    옥심에스테르 화합물, 라디칼 중합개시제, 중합성 조성물, 네가티브형 레지스트 및 화상 패턴 有权
    氧化酯化合物,自由基聚合引发剂,可聚合组合物,负极性和图像图案

    公开(公告)号:KR1020120028384A

    公开(公告)日:2012-03-22

    申请号:KR1020127001037

    申请日:2010-01-27

    CPC classification number: C07D209/82 C07D209/86 C08F2/50 G03F7/031

    Abstract: 본 발명의 목적은, 고감도의 라디칼 중합개시제로서 기능할 수 있는 신규 옥심에스테르 화합물 및 이를 이용한 경화성 조성물을 제공하는 것에 있다. 본 발명의 또 다른 목적은, 특히, 포토레지스트 재료에 적합하게 이용되는 네가티브형 레지스트 재료 및 이 네가티브형 레지스트를 이용한 화상 패턴 형성방법을 제공하기 위한 것이다. 하기 일반식(1)로 표시되는 라디칼 중합개시제(A)로서,
    일반식(1)

    식 중, R
    1 , R
    2 는, 알킬기, 아릴기, 복소환기 등; R
    3 ~R
    5 는, 수소원자, 알킬기 등; R
    6 ~R
    9 는, 수소원자, 알킬기, 아릴기, 복소환기 등; R
    10 ~R
    14 는, 수소원자, 시아노기, 니트로기, 할로알킬기, 설피닐기, 설포닐기, 또는 아실기 등에서 선택되고, R
    10 ~R
    14 모두가 동시에 수소원자가 되는 경우는 없다.

    Abstract translation: 公开了能够作为高灵敏度自由基聚合引发剂起作用的新型肟酯化合物和使用其的可固化组合物。 还公开了可以特别适合用作光致抗蚀剂材料的负型抗蚀剂材料,以及使用所述负性抗蚀剂的图像形成方法。 自由基聚合引发剂(A)由通式(1)表示。 在通式(1)中,R 1和R 2选自烷基,芳基,杂环基等; R3至R5选自氢原子,烷基等; R6至R9选自氢原子,烷基,芳基,杂环基等; R 10〜R 14选自氢原子,氰基,硝基,卤代烷基,亚磺酰基,磺酰基,酰基等,条件是R 10〜R 14全部不为氢原子 同一时间。

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