Abstract:
PURPOSE: A nanostructure is provided to improve electron conductivity and structural stability and to obtain high capacity and high retention for the negative electrode of a lithium secondary battery. CONSTITUTION: A nanostructure consists of a core/shell structure that a core is made of a metal silicide and is covered with silicon. A manufacturing method of the nanostructure comprises a step of forming a metal thin film on a substrate(11); a step of forming an oxide film by oxidizing a part of the metal thin film; a step of injecting silicon-containing reaction gas into an oxide film and forming a metal silicide nanostructure(14); a step of injecting the silicon-containing reaction gas into the metal silicide nanostructure and forming silicon on the surface of the metal silicide nanostructure.
Abstract:
본 발명은 니켈 실리사이드 나노 선(wire)을 제조함에 있어서 그 밀도를 조절할 수 있고 직경을 균일하게 할 수 있는 니켈 실리사이드 나노 구조체의 대면적 형성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 니켈 실리사이드 나노 구조체 형성방법은 니켈층과 실리콘을 포함하는 반응 기체 간의 합성 전에, 니켈층의 표면에 형성된 산화막에 대해 산화 또는 환원처리를 하여 산화막의 양을 조절함으로써, 합성시 형성되는 니켈 실리사이드 나노 구조체의 밀도가 조절되도록 하는 것을 특징으로 한다. 니켈 실리사이드, 나노 구조체
Abstract:
본 발명은 금속 실리사이드로 이루어진 나노 선 형상의 코어와 상기 코어의 표면에 실리콘이 덮여진 코어-쉘 구조의 나노 구조체로서 특히 리튬 이온 전지의 음극에 사용되었을 때 고보존력(high retention)과 고충방전(high capacity) 특성을 나타낼 수 있는 나노 구조체와 이의 형성 방법 및 상기 나노 구조체를 적용한 리튬 이온 전지에 관한 것이다.
Abstract:
PURPOSE: A method for forming nickel silicide nano structure through oxide-reduction reaction of nickel thin film catalyst is provided to apply on various areas having different densities. CONSTITUTION: A method for forming a nickel silicide nano structure comprises: a step of forming a nickel layer(33) on a substrate(31); a step of regulating the amount of oxide film(34) formed on the nickel layer through oxidation or reduction; and a step of reacting reaction vapor containing the silicon with nickel layer and oxide film to synthesize the nickel silicide. The amount of oxide film is regulated by controlling oxidation time. The substrate is quartz substrate, ITO substrate, glass substrates or SiO2/Si substrate.
Abstract:
본 발명은 니켈 실리사이드 나노 구조체를 포함하는 전자 방출원을 제공한다. 상기 본 발명에 따른 니켈 실리사이드 나노 구조체는 높은 종횡비를 가지며, 선단이 뾰족한 형태로서 우수한 전기적 특성을 갖는다. 따라서 상기 본 발명에 따른 니켈 실리사이드 나노 구조체를 이용한 전자 방출 소자는 구동전압, 전계 방출 특성 등에 있어서 우수한 특성을 구현할 수 있다. 또한, 상기 니켈 실리사이드 나노 구조체는 실리콘 기반 물질로서 실리콘 기반 산업에 접목이 유리하다. 한편, 본 발명에 따른 니켈 실리사이드 나노 구조체 제조 방법은 저온 공정이 가능함에 따라, 공정 단가를 낮추며, 또한 촉매를 사용하는 통상적인 나노 구조체 공정에 비하여 단순화된 것으로서, 양산 가능한 제조 방법이다. 나노 구조체, 니켈 실리사이드, 전자 방출원