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公开(公告)号：KR101821723B1
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：KR1020160084244
申请日：2016-07-04
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: C08F297/04 , C08F212/08 , C08F220/18
Abstract: 본발명은블록공중합체제조방법및 고분자필름제조방법에관한것이다. 보다상세하게는, 블록공중합체내에다수의블록을형성할수 있고, 다수의블록은개별적으로수직배향되며, 정렬도가우수한블록공중합체제조방법및 상기블록공중합체제조방법에서얻어진블록공중합체를이용한고분자필름제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及制造嵌段共聚物的方法和制造聚合物膜的方法。 更具体地，该嵌段共聚物，并且可以形成多个在本体块，多个块被垂直分开排列时，取向度优异的嵌段共聚物的制造方法，并用在共聚物生产方法中的嵌段共聚物中的嵌段聚合物 还有一种制作胶片的方法。
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公开(公告)号：KR1020170045838A
公开(公告)日：2017-04-28
申请号：KR1020150145821
申请日：2015-10-20
Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: C08F293/00 , C08F212/08 , C08F220/18
Abstract: 본발명은폴리스틸렌-블록-폴리메틸메타크릴레이트(Polystyrene-block-Polymethylmethacrylate:PS-b-PMMA)블록공중합체의폴리스티렌(PS) 블록과폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 블록의사이에수소결합이가능한관능기가도입된블록공중합체및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른수소결합이가능한관능기가도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체에의하면, 폴리스티렌(PS) 블록과폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 블록의사이에수소결합이가능한관능기가도입됨으로써수소결합가능한관능기들사이에작용하는결합력을통해계면을샤프하게하여패턴제작시발생하는 LER 및 LWR 특성을개선시킬수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明是聚苯乙烯 - 聚甲基丙烯酸甲酯嵌段：嵌段共聚物和聚（甲基丙烯酸甲酯）（PMMA）嵌段（聚苯乙烯 - 嵌段 - 聚甲基丙烯酸甲酯PS-B-PMMA）的聚苯乙烯（PS）块之间的氢键 以及制造嵌段共聚物的方法。 根据本发明的PS-B-PMMA嵌段共聚物氢键的官能团是根据，聚苯乙烯（PS）块和聚甲基丙烯酸甲酯引入可能的（PMMA）氢引入的官能团是所述块是间的氢键潜在 通过作用于可粘合官能团之间的键合力使界面尖锐化，由此改善在图案制造期间发生的LER和LWR特性。
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公开(公告)号：KR1020170039374A
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：KR1020150138417
申请日：2015-10-01
Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: C08F299/00 , C08F297/04 , C08F8/30
Abstract: 본발명은폴리스틸렌-블록-폴리메틸메타크릴레이트(Polystyrene-block-Polymethylmethacrylate:PS-b-PMMA)블록공중합체의폴리스티렌(PS) 블록에가교결합을형성할수 있는기능기를도입된블록공중합체및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른가교결합가능한기능기가도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체에의하면, 폴리스티렌(PS) 블록에가교결합가능한기능기가도입됨으로써종래의 PS-b-PMMA 블록공중합체에비해폴리스티렌(PS) 블록의식각내성이증가하고그로인해식각선택성이향상되는효과가있다.
Abstract translation: 本发明是一种聚苯乙烯 - 嵌段 - 聚甲基丙烯酸甲酯（聚苯乙烯 - 嵌段 - 聚甲基丙烯酸甲酯：PS-B-PMMA）阻断导入官能团的可形成交联的聚苯乙烯（PS）嵌段共聚物的嵌段共聚物和它们的 及其制造方法。 根据本发明交联的PS-B-PMMA嵌段共聚物的官能团是根据能够引入到聚苯乙烯（PS）块交联官能团的基团引入的尽可能通过与聚苯乙烯的常规的PS-B-PMMA嵌段共聚物相比（PS ）提高块的耐蚀刻性，从而提高蚀刻选择性。
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公开(公告)号：KR1020170012024A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020160084244
申请日：2016-07-04
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: C08F297/04 , C08F212/08 , C08F220/18
CPC classification number: C08F297/04 , C08F212/08 , C08F220/18 , C08J2400/206
Abstract: 본발명은블록공중합체제조방법및 고분자필름제조방법에관한것이다. 보다상세하게는, 블록공중합체내에다수의블록을형성할수 있고, 다수의블록은개별적으로수직배향되며, 정렬도가우수한블록공중합체제조방법및 상기블록공중합체제조방법에서얻어진블록공중합체를이용한고분자필름제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101477350B1
公开(公告)日：2014-12-30
申请号：KR1020120118056
申请日：2012-10-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: C08L53/00 , C08J3/00 , B82B3/00 , H01L21/027
Abstract: 본발명은비대칭라인나노패턴및 그제조방법에관한것으로서, 보다상세하게는블록공중합체블렌드를이용하여비대칭라멜라 (lamellar) 마이크로도메인 (microdomain)을형성시키고, 이를이용하여차세대리소그라피로의응용이가능한비대칭라인나노패턴및 그제조방법에관한것이다. 이러한나노패턴을형성하기위해서, 본발명은하나의블록공중합체의적어도하나의블록이다른블록공중합체의적어도하나의블록과 2차결합을이루는 2 이상의블록공중합체혼합물을이용하여비대칭성라멜라패턴을형성하는방법을제시한다.
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公开(公告)号：KR1020140052242A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020120118056
申请日：2012-10-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: C08L53/00 , C08J3/00 , B82B3/00 , H01L21/027
CPC classification number: C08L53/005 , B82B3/0014 , B82B3/0019 , C08J3/005 , H01L21/0273
Abstract: The present invention relates to an asymmetric line nanopattern and a manufacturing method thereof. In particular, the asymmetric line nanopattern can be applied to next generation lithography by using an asymmetric lamellar microdomain formed by a block copolymer blend. To form the nanopattern, the present invention provides the method which forms an asymmetric lamellar pattern using a mixture of two or more copolymers. At least one block of a block copolymer forms a secondary bonding with at least another block of another block copolymer.
Abstract translation: 本发明涉及非对称线状纳米图案及其制造方法。 特别地，通过使用由嵌段共聚物共混物形成的不对称层状微区，可以将不对称线状纳米图案应用于下一代平版印刷。 为了形成纳米图案，本发明提供了使用两种或更多种共聚物的混合物形成不对称层状图案的方法。 嵌段共聚物的至少一个嵌段与至少另一个嵌段共聚物的嵌段形成二次键合。
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