公开(公告)号：KR101124351B1

公开(公告)日：2012-03-15

申请号：KR1020090041171

申请日：2009-05-12

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 이한보람 ,  김재민 ,  이정원 ,  김형준 ,  이흥순

IPC: B82B3/00

Abstract: 본 발명은 초 임계 유체 증착법 (Supercritical Fluid Deposition; SCFD)을 이용하여 기판 위에 금속 나노 구조물을 제작하고, 그 형태와 크기를 조절하는 기술이다.
본 발명에서는 금속 나노 구조물의 형태와 크기를 기판의 온도 또는 금속 전구체의 농도를 조절함으로써 변화시킬 수 있고, 이러한 공정기술을 이용하면, 나노 점에서 박막까지 나노 구조물의 형태와 크기를 연속적으로 변화시키면서 손 쉽게 대면적 기판 위에 제작할 수 있으며, 평판뿐만 아니라, 입체적인 기판 위에도 제작 가능하다.
초 임계 유체 박막 증착 방법, 금속 나노 구조, 나노 점, 나노 크리스털 메모리, 플래시 메모리

公开(公告)号：KR1020100122234A

公开(公告)日：2010-11-22

申请号：KR1020090041171

申请日：2009-05-12

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 이한보람 ,  김재민 ,  이정원 ,  김형준 ,  이흥순

IPC: B82B3/00

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a metal nanostructure using supercritical fluid is provided to control the density, the shape, and the size of the metal nanostructure by controlling the deposition temperature of a metal precursor. CONSTITUTION: A manufacturing method of a metal nanostructure using supercritical fluid comprises the following steps: inserting reaction gas to a chamber including a substrate; setting the reaction temperature of the substrate; mixing a metal precursor with a solvent in a supercritical fluid state, and inserting the mixture to the chamber to react with the reaction gas; and removing non-reactants.

Abstract translation: 目的：提供使用超临界流体的金属纳米结构的制造方法，以通过控制金属前体的沉积温度来控制金属纳米结构的密度，形状和尺寸。 构成：使用超临界流体的金属纳米结构的制造方法包括以下步骤：将反应气体插入到包括基板的室中; 设定基板的反应温度; 将金属前体与超临界流体状态的溶剂混合，并将混合物插入室以与反应气体反应; 并除去非反应物。