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公开(公告)号：WO2012047042A2
公开(公告)日：2012-04-12
申请号：PCT/KR2011/007413
申请日：2011-10-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단 , 민성용 , 김태식 , 이태우
CPC classification number: H01L51/0005 , B81C1/00031 , G03F7/164 , H01L51/0016 , H01L51/0023 , H01L51/0541 , H01L51/0545 , H01L51/102 , H01L51/428 , H01L51/5296 , Y02E10/549
Abstract: 본 발명의 일 측면에 따라 미세 패턴 형성 방법이 제공된다. 상기 미세 패턴 형성 방법은 기판 위에 원형 또는 타원형의 단면을 가지고 있는 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴이 형성된 상기 기판의 전면(全面) 위에 물질층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴이 형성되지 않은 부분의 상기 물질층만 남도록 상기 기판으로부터 상기 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴을 제거하는 단계; 를 포함한다.
Abstract translation: 提供了根据本发明的一个方面的形成精细图案的方法。 该方法包括以下步骤：在衬底上形成具有圆形或椭圆形横截面的有机线或有机混合线掩模图案; 在其上形成有机线或有机混合线掩模图案的基板的整个表面上形成材料层; 并且从基板去除有机线或有机混合线掩模图案，使得仅留下未形成有机线或有机混合线掩模图案的部分的材料层; 。
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3.发明公开미세 패턴 형성 방법 및 이를 이용한 미세 채널 트랜지스터 및 미세 채널 발광트랜지스터의 형성방법 有权用于形成微尺度和纳米尺度图案的方法和用于生产微尺寸和纳米尺度的通道晶体管的方法，以及使用其的微米和纳米尺度的通道发光晶体管
公开(公告)号：KR1020120037882A
公开(公告)日：2012-04-20
申请号：KR1020110100763
申请日：2011-10-04
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027 , B82B3/00 , H01L21/336 , H01L29/78
CPC classification number: H01L51/0005 , B81C1/00031 , G03F7/164 , H01L51/0016 , H01L51/0023 , H01L51/0541 , H01L51/0545 , H01L51/102 , H01L51/428 , H01L51/5296 , Y02E10/549 , B82B3/0009 , H01L21/0274 , H01L29/78
Abstract: PURPOSE: A method for forming a fine pattern, a minute channel transistor using the same, and a method for forming a minute channel emission transistor are provided to manufacture a minute channel transistor device with high performance by using an organic wire or organic/inorganic hybrid wire as a patterning mask. CONSTITUTION: A solution storage unit(10) stores organic solutions. A discharging control unit(20) discharges the organic solutions through a nozzle(30) with a fixed speed. A voltage applying unit(40) applies a high voltage to the nozzle. A robot stage(60) moves a collector(50). A micro distance controller(70) controls a distance between the nozzle and the collector.
Abstract translation: 目的：提供一种形成精细图案的方法，使用其的微通道晶体管和用于形成微通道发射晶体管的方法，以通过使用有机线或有机/无机混合物制造具有高性能的微通道晶体管器件 线作为图案掩模。 构成：解决方案存储单元（10）存储有机溶液。 排出控制单元（20）以固定速度通过喷嘴（30）排出有机溶液。 电压施加单元（40）向喷嘴施加高电压。 机器人台（60）移动收集器（50）。 微距离控制器（70）控制喷嘴和收集器之间的距离。
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4.发明授权미세 패턴 형성 방법 및 이를 이용한 미세 채널 트랜지스터 및 미세 채널 발광트랜지스터의 형성방법 有权用于形成微尺度和纳米尺度图案的方法以及用于制造微米和纳米级沟道晶体管的方法以及使用其的微米级和纳米级通道发光晶体管
公开(公告)号：KR101407209B1
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：KR1020110100763
申请日：2011-10-04
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027 , B82B3/00 , H01L21/336 , H01L29/78
CPC classification number: H01L51/0005 , B81C1/00031 , G03F7/164 , H01L51/0016 , H01L51/0023 , H01L51/0541 , H01L51/0545 , H01L51/102 , H01L51/428 , H01L51/5296 , Y02E10/549
Abstract: 본 발명의 일 측면에 따라 미세 패턴 형성 방법이 제공된다. 상기 미세 패턴 형성 방법은 기판 위에 원형 또는 타원형의 단면을 가지고 있는 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴이 형성된 상기 기판의 전면(全面) 위에 물질층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴이 형성되지 않은 부분의 상기 물질층만 남도록 상기 기판으로부터 상기 유기 와이어 또는 유무기 하이브리드 와이어 마스크 패턴을 제거하는 단계; 를 포함한다.
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