진공 챔버 내부로의 시료 이송장치, 다기능 시료 홀더, 및시료 체인지 어셈블리
    1.
    发明授权
    진공 챔버 내부로의 시료 이송장치, 다기능 시료 홀더, 및시료 체인지 어셈블리 失效
    样品转移到真空室,多功能样品架和样品更换组件中

    公开(公告)号:KR100631748B1

    公开(公告)日:2006-10-11

    申请号:KR1020050025426

    申请日:2005-03-28

    Abstract: 본 발명의 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치는 진공 챔버 내부에서 시료를 분석함에 있어서, 진공 챔버 내부로 시료 홀더의 이송을 용이하게 하고, 이송된 시료 홀더의 장착을 용이하게 하는 것으로서, 시료를 진공 챔버 내부로 이송하여 장착하며, 시료를 부착하는 시료 홀더, 상기 시료 홀더의 일측에 형성되는 삽입구로 삽입되어 삽입구의 다른 측에 결합되는 돌기를 그 선단에 구비하는 커넥션 로드, 및 상기 커넥션 로드의 시료 홀더 반대측에 결합되는 바아(bar)를 포함한다.
    방사광, 가속기, 진공 챔버, 시료, 홀더

    Abstract translation: 用于将样品转移到真空室中的样品转移装置便于将样品架转移到真空室中并且便于将转移的样品架安装在分析真空室中的样品中。 连接杆插入到形成在样品保持器的一侧处的插入端口中,并且在连接杆的尖端设置有与插入端口的另一侧连接的突起, 还有一个连接到支架另一侧的杆。

    무버블 마스크 조립체
    2.
    发明授权
    무버블 마스크 조립체 有权
    可移动的面罩组件

    公开(公告)号:KR101404131B1

    公开(公告)日:2014-06-13

    申请号:KR1020120086485

    申请日:2012-08-07

    Abstract: 본 발명의 일 실시예는 빔의 파워를 경감하고 빔의 사이즈를 미세하게 조절하는 무버블 마스크 조립체를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 무버블 마스크 조립체는, 빔입자 가속기라인의 광학기 전방에서 빔이 진행하는 x축 방향을 따라 순차적으로 배치되어 각각 y축 및 z축 방향으로 설정된 스트로크를 가지고, x축 방향으로 이격되어 빔의 파워 및 빔의 사이즈를 제어하는 1쌍의 마스크부를 포함한다.

    무버블 마스크 조립체
    4.
    发明公开
    무버블 마스크 조립체 有权
    可移动的面罩组件

    公开(公告)号:KR1020140021120A

    公开(公告)日:2014-02-20

    申请号:KR1020120086485

    申请日:2012-08-07

    Abstract: One embodiment of the present invention provides a movable mask assembly capable of reducing the power of a beam and finely controlling the size of the beam. The movable mask assembly according to one embodiment of the present invention includes a pair of mask parts which are successively arranged in an x axis direction in which light travels in front of an optical device in a beam particle accelerator line, are separated in the x axis direction with strokes which are set in y and z axis directions, and control the power and size of the beam.

    Abstract translation: 本发明的一个实施例提供一种能够减小光束功率并精细地控制光束尺寸的可移动掩模组件。 根据本发明的一个实施例的可移动掩模组件包括沿x轴方向连续布置的一对掩模部分,其中光在光束粒子加速器线中在光学装置的前方行进,在x轴上分离 方向与Y轴和z轴方向设置的行程相关联,并控制光束的功率和尺寸。

    진공 챔버 내부로의 시료 이송장치, 다기능 시료 홀더, 및시료 체인지 어셈블리
    5.
    发明公开
    진공 챔버 내부로의 시료 이송장치, 다기능 시료 홀더, 및시료 체인지 어셈블리 失效
    样品传送装置进入真空室,多用途样品容器和样品更换装置

    公开(公告)号:KR1020060103627A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:KR1020050025426

    申请日:2005-03-28

    Abstract: 본 발명의 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치는 진공 챔버 내부에서 시료를 분석함에 있어서, 진공 챔버 내부로 시료 홀더의 이송을 용이하게 하고, 이송된 시료 홀더의 장착을 용이하게 하는 것으로서, 시료를 진공 챔버 내부로 이송하여 장착하며, 시료를 부착하는 시료 홀더, 상기 시료 홀더의 일측에 형성되는 삽입구로 삽입되어 삽입구의 다른 측에 결합되는 돌기를 그 선단에 구비하는 커넥션 로드, 및 상기 커넥션 로드의 시료 홀더 반대측에 결합되는 바아(bar)를 포함한다.
    방사광, 가속기, 진공 챔버, 시료, 홀더

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