무버블 마스크 조립체
    1.
    发明公开
    무버블 마스크 조립체 有权
    可移动的面罩组件

    公开(公告)号:KR1020140021120A

    公开(公告)日:2014-02-20

    申请号:KR1020120086485

    申请日:2012-08-07

    Abstract: One embodiment of the present invention provides a movable mask assembly capable of reducing the power of a beam and finely controlling the size of the beam. The movable mask assembly according to one embodiment of the present invention includes a pair of mask parts which are successively arranged in an x axis direction in which light travels in front of an optical device in a beam particle accelerator line, are separated in the x axis direction with strokes which are set in y and z axis directions, and control the power and size of the beam.

    Abstract translation: 本发明的一个实施例提供一种能够减小光束功率并精细地控制光束尺寸的可移动掩模组件。 根据本发明的一个实施例的可移动掩模组件包括沿x轴方向连续布置的一对掩模部分,其中光在光束粒子加速器线中在光学装置的前方行进,在x轴上分离 方向与Y轴和z轴方向设置的行程相关联,并控制光束的功率和尺寸。

    광자빔 위치 모니터 장치
    2.
    发明公开
    광자빔 위치 모니터 장치 失效
    光子束位置监测器件

    公开(公告)号:KR1020090109821A

    公开(公告)日:2009-10-21

    申请号:KR1020080035240

    申请日:2008-04-16

    Abstract: PURPOSE: A photon beam position monitor device is provided to detect a profile and position of a beam by installing a PBPM(Photon Beam Position Monitor) on a beam line. CONSTITUTION: In a photon beam position monitor device, a PBPM(Photon Beam Position Monitor) apparatus includes a detector(10), a driving part(20), a high voltage part(30), and a controller. A detector senses a change of a micro current on a beam line, and a driving part horizontally and perpendicularly moves so that a detector senses the micro current. A high voltage part absorbs a photon which collides with a detector, and a controller indicates the sensed current value of a detector.

    Abstract translation: 目的:提供光子束位置监测装置,通过在束线上安装PBPM(光子束位置监测器)来检测光束的轮廓和位置。 构成:在光子束位置监测装置中,PBPM(光子束位置监测器)装置包括检测器(10),驱动部分(20),高压部分(30)和控制器。 检测器感测束线上的微电流的变化,并且驱动部分水平和垂直移动,使得检测器感测微电流。 高电压部分吸收与检测器碰撞的光子,并且控制器指示检测器的感测电流值。

    방사광 가속기의 빔 차단 시스템
    3.
    发明公开
    방사광 가속기의 빔 차단 시스템 失效
    用于拦截加速器梁的系统

    公开(公告)号:KR1020090044226A

    公开(公告)日:2009-05-07

    申请号:KR1020070110225

    申请日:2007-10-31

    CPC classification number: G21K5/02 H01J65/042

    Abstract: 본 발명에 따른 방사광 가속기의 빔 차단 시스템은, 저장링과 실험공간 사이에 빔라인이 설치되고 상기 저장링에서 방사된 방사광이 상기 빔라인을 통과하여 상기 실험공간으로 전달되는 방사광 가속기에서, 상기 실험공간의 전단 상기 빔라인에 설치되고 인접하게 지나는 방사광에 의해서 미세전류를 방생시키는 방사광 감지기, 상기 방사광 감지기의 전단 상기 빔라인에 설치되고 구동상태에 따라서 방사광을 차단하거나 통과시키는 제1 방사광 차단기, 상기 방사광 감지기와 전기적으로 연결되어 상기 방사광 감지기에서 인가된 상기 미세전류를 증폭시키는 전류증폭부 및 상기 전류증폭부와 전기적으로 연결되고 상기 전류증폭부에서 증폭된 전류의 세기를 측정하고 이 증폭된 전류의 강도에 따라서 상기 제1 방사광 차단기를 구동시켜 상기 저장링에서 방사된 방사광을 차단하거나 통과시키는 제어부를 포함한다.
    가속기, 저장링, 방사관, 빔라인, 차단기, 실험공간, 차단블럭, 센서, 플레이트, hutch, interlock

    다중 모터 구동 제어 장치 및 방법
    4.
    发明授权
    다중 모터 구동 제어 장치 및 방법 失效
    用于驱动多电机的控制装置及其方法

    公开(公告)号:KR101296363B1

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:KR1020120052645

    申请日:2012-05-17

    CPC classification number: H02P5/46 H02P8/14 H02P8/40

    Abstract: PURPOSE: A multiple motor driving control apparatus and method are provided to easily perform maintenance and repair by effectively driving multiple motor in a system in which multiple motors are used. CONSTITUTION: A step motor driver produces a drive pulse. A relay part (30) delivers the driving pulse to a step motor to be driven. The relay part comprises multiple solid state relays (SSR). A static torque generating part (50) comprises multiple static torque generation elements. A power supply part (60) supplies power to the multiple static torque generation elements. [Reference numerals] (10) Controller; (20) Step motor driver; (60) Power supply part

    Abstract translation: 目的:提供多电机驱动控制装置和方法,通过在使用多个电动机的系统中有效地驱动多个电动机来容易地执行维护和修理。 构成:步进电机驱动器产生驱动脉冲。 继电器部分(30)将驱动脉冲传送到待驱动的步进电动机。 继电器部分包括多个固态继电器(SSR)。 静转矩产生部件(50)包括多个静转矩产生元件。 供电部(60)向多个静转矩产生元件供电。 (附图标记)(10)控制器; (20)步进电机驱动器; (60)电源部分

    냉각수 진동 감쇠기
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101060284B1

    公开(公告)日:2011-08-29

    申请号:KR1020090111636

    申请日:2009-11-18

    Abstract: 본 발명의 일 실시예는 빔라인의 발열체를 순환하는 냉각수의 진동을 감쇠시키는 냉각수 진동 감쇠기에 관한 것이다.
    본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수 진동 감쇠기는, 전자빔을 받아 열을 발생하는 발열체와 상기 발열체에 냉각수를 순환시키는 냉각기를 공급라인과 리턴라인으로 서로 연결하는 빔입자 가속기라인에서, 상기 공급라인에 설치되어 상기 발열체로 공급되는 냉각수의 진동을 감쇠하는 공급측 감쇠기, 및 상기 리턴라인에 설치되어 상기 발열체에서 리턴되는 냉각수의 진동을 감쇠하는 리턴측 감쇠기를 포함한다.
    빔라인, 공급라인, 리턴라인, 냉각수, 저전도성 워터, 진동

    시료 구조 분석용 빔 라인 장치 및 이에 사용되는 그리퍼
    6.
    发明授权
    시료 구조 분석용 빔 라인 장치 및 이에 사용되는 그리퍼 失效
    用于分析样品结构的束线设备和使用的剥皮机

    公开(公告)号:KR100837330B1

    公开(公告)日:2008-06-12

    申请号:KR1020060124839

    申请日:2006-12-08

    Abstract: A beam line apparatus for analyzing specimen structure and a gripper used for the same are provided to analyze the structure of a specimen by detecting an X-ray image signal diffracted by the specimen. A beam line apparatus for analyzing specimen structure includes a liquid nitrogen container(10), a cassette(20), a robot(30), a chuck(40), a gun(50), a nozzle(60), and a detector(65). The liquid nitrogen container contains liquid nitrogen. The cassette is fixed inside the liquid nitrogen container, containing specimen holders. The robot moves the specimen holder to a gripper according to a control signal. The chuck fixes the specimen holder moved by the robot. The gun radiates X-ray of predetermined wavelength to a specimen in the specimen holder. The nozzle injects the liquid nitrogen to the specimen. The detector detects the X-ray diffracted from the specimen.

    Abstract translation: 提供用于分析样本结构的束线装置和用于其的夹持器,用于通过检测由样本衍射的X射线图像信号来分析样本的结构。 用于分析样本结构的射束线装置包括液氮容器(10),盒(20),机器人(30),卡盘(40),枪(50),喷嘴(60)和检测器 (65)。 液氮容器含有液氮。 盒子固定在液氮容器内,包含样品架。 机器人根据控制信号将样品架移动到夹具。 卡盘固定由机器人移动的样品架。 枪将预定波长的X射线照射到样本保持器中的样本。 喷嘴将液氮注入样品。 检测器检测从样品衍射的X射线。

    무버블 마스크 조립체
    7.
    发明授权
    무버블 마스크 조립체 有权
    可移动的面罩组件

    公开(公告)号:KR101404131B1

    公开(公告)日:2014-06-13

    申请号:KR1020120086485

    申请日:2012-08-07

    Abstract: 본 발명의 일 실시예는 빔의 파워를 경감하고 빔의 사이즈를 미세하게 조절하는 무버블 마스크 조립체를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 무버블 마스크 조립체는, 빔입자 가속기라인의 광학기 전방에서 빔이 진행하는 x축 방향을 따라 순차적으로 배치되어 각각 y축 및 z축 방향으로 설정된 스트로크를 가지고, x축 방향으로 이격되어 빔의 파워 및 빔의 사이즈를 제어하는 1쌍의 마스크부를 포함한다.

    거울 챔버 구동 장치
    8.
    发明授权
    거울 챔버 구동 장치 失效
    镜筒驱动装置

    公开(公告)号:KR101093121B1

    公开(公告)日:2011-12-13

    申请号:KR1020090019320

    申请日:2009-03-06

    Abstract: 본 발명은 거울 챔버 구동 장치에 관한 것으로, 자동으로 빔의 각도를 조절할 수 있는 기술을 개시한다. 이를 위해, 본 발명은 전자빔 경로의 각도를 조절하고, 서로 평행하게 위치하는 제1 및 제2 거울과, 제1 및 제2 거울의 각도를 조절하여, 전자빔 경로의 각도를 조절하는 거울 각도 조절 모터와, 제1 및 제2 지점 각각으로부터 전자빔에 대응하는 제1 및 제2 검출 전류를 생성하는 검출부와, 제1 및 제2 검출 전류에 대응하는 제1 및 제2 검출 전압을 생성하는 전류-전압 변환부와, 제1 및 제2 검출 전압을 각각 제1 및 제2 기준 주파수로 변환하고, 제1 및 제2 검출 전압의 차에 대응하는 전압을 차동 주파수로 변환하는 전압-주파수 변환부 및 차동 주파수, 제1 및 제2 기준 주파수에 따라 거울 각도 조절 모터를 제어하는 각 산출부를 포함한다.
    빔라인, 거울, 차동 주파수

    냉각수 진동 감쇠기
    9.
    发明公开
    냉각수 진동 감쇠기 失效
    冷却剂振动衰减器

    公开(公告)号:KR1020110054845A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:KR1020090111636

    申请日:2009-11-18

    CPC classification number: H05H7/001 F01P7/14 H05H3/02 H05H2242/10

    Abstract: PURPOSE: A coolant vibration attenuator is provided to stably withdraw a beam from an accelerator by attenuating the vibration of cooling water which is returned or supplied. CONSTITUTION: A monochrometer(2) is installed inside a vacuum chamber, and first and second mirrors(11,12) face each other. The beam particle accelerator line includes a mask(21) and a slit(22) which allows the pass of an electronic beam in the front direction of the monochrometer. An electronic beam location monitor(23) and a slit(24) monitor the location of the electronic beam in the backside of the monochrometer.

    Abstract translation: 目的:提供一种冷却剂振动衰减器,通过衰减返回或供应的冷却水的振动来稳定地从加速器中退出光束。 构成:单色仪(2)安装在真空室内,第一和第二反射镜(11,12)彼此面对。 光束粒子加速器线包括掩模(21)和狭缝(22),其允许电子束在单色仪的正面方向通过。 电子束定位监视器(23)和狭缝(24)监视电子束在单色仪背面的位置。

    더블 멀티레이어 모노크로미터
    10.
    发明公开
    더블 멀티레이어 모노크로미터 失效
    双层多层单色显影器

    公开(公告)号:KR1020100125049A

    公开(公告)日:2010-11-30

    申请号:KR1020090044051

    申请日:2009-05-20

    CPC classification number: G01J3/12 G01N23/20025 G01N23/201 G21K1/10

    Abstract: PURPOSE: A double multilayer monochromator is provided to secure the smooth operation of a first mirror and a second mirror by applying a z stage and an x stage. CONSTITUTION: A z stage(22) is operated in a z axis. An x stage(23) is mounted on the z stage. The x stage is operated in an x axial direction. A rotation angel control plate(31) is mounted on the x stage to rotate around the x axis. A first mirror(M1) is mounted on the rotation angle control plate. A second mirror(M2) is mounted on a space control plate(32). The space control plate is mounted on the x stage. The space control plate is operated in the z axis to control the space between the first and second mirrors.

    Abstract translation: 目的:提供双层多层单色仪,通过施加z平台和x平台来确保第一镜和第二镜的平滑操作。 构成:z级(22)在z轴上运行。 x台(23)安装在z台上。 x级在x轴方向上运行。 旋转角度控制板(31)安装在x台上绕x轴旋转。 第一反射镜(M1)安装在旋转角度控制板上。 第二反射镜(M2)安装在空间控制板(32)上。 空间控制板安装在x台上。 空间控制板在z轴上操作以控制第一和第二反射镜之间的空间。

Patent Agency Ranking