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公开(公告)号：KR101534140B1
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020140013857
申请日：2014-02-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은변압기형이온펌프전원제어장치 1대를이용하여상이한출력전압을출력할수 있도록구조가개선된이온펌프용전원제어장치, 전원제어회로및 전원제어장치의제어방법을제공하는것이다. 본발명에따른이온펌프용전원제어장치는교류전원이입력되는입력부, 입력부로부터입력된교류전원을제1 고압의직류전원및 상기제1 고압의직류전원의전압과상이한전압을갖는제2 고압의직류전원중 어느하나로출력하는출력부, 입력부와출력부사이에배치되어출력부에서제1 고압의직류전원과제2 고압의직류전원중 어느하나가출력되도록스위칭되는스위칭부를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 전원제어장치를이용하여상이한전압을갖는제1 고압의직류전원과제2 고압의직류전원을이온펌프에인가할수 있으므로, 이온펌프의배기성능을향상시킬뿐만아니라이온펌프의수명기간을연장할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于控制离子泵的电源的装置，用于控制电源的电路以及用于控制用于控制电源的装置的方法。 本发明通过使用用于控制离子泵电源的变压器型装置来改善用于输出不同输出电压的结构。 根据本发明的用于控制离子泵的电源的装置包括：输入交流电的输入部;输出部，其输出从所述输入部接收到的第一高压直流电力和 与第一高压直流电力不同的第二高压直流电力，以及设置在输入部和输出部之间的切换部，切换为输出第一高压直流电力和第二高压中的一个 直流电源。 由此，可以通过使用功率控制装置将第一高压直流电力和第二高压直流电力施加到离子泵。 因此，能够提高离子泵的排出性能，能够延长离子泵的寿命。
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公开(公告)号：KR100674204B1
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020050021750
申请日：2005-03-16
Applicant: 학교법인 포항공과대학교 , 주식회사 브이엠티 , 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 스퍼터 이온펌프에서 두 개의 티타늄 음극판과 그 사이에 위치하는 원통형 양극 셀 튜브들간에 PIC 시뮬레이션을 이용하여 간격을 도출하여 배기 성능을 극대화하기 위한 것으로, 이를 위한 구조는 고전압에 의해 생성된 양이온이 두 개의 음극판에 충돌하여 티타늄 원자들이 스퍼터링되어 원통형 양극 셀 튜브들 내부 표면에 티타늄 층으로 형성되는 스퍼터 이온 펌프의 구조에 있어서, 두 개의 음극판과 그 사이에 위치하는 원통형 양극 셀 튜브들간의 갭을 PIC 시뮬레이션을 통해 7㎜의 간격으로 도출하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 따라서, 기체의 이온화 확률 및 음극판에서 스퍼터링된 티타늄 원자가 양극으로 증착되는 양을 최적화하여 배기 성능을 극대화 할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020060100095A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020050021750
申请日：2005-03-16
Applicant: 학교법인 포항공과대학교 , 주식회사 브이엠티 , 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 스퍼터 이온펌프에서 두 개의 티타늄 음극판과 그 사이에 위치하는 원통형 양극 셀 튜브들간에 PIC 시뮬레이션을 이용하여 최적화된 간격을 도출하여 배기 성능을 극대화하기 위한 것으로, 이를 위한 구조는 고전압에 의해 생성된 양이온이 두 개의 음극판에 충돌하여 티타늄 원자들이 스퍼터링되어 원통형 양극 셀 튜브들 내부 표면에 티타늄 층으로 형성되는 스퍼터 이온 펌프의 구조에 있어서, 두 개의 음극판과 그 사이에 위치하는 원통형 양극 셀 튜브들간의 갭을 PIC 시뮬레이션을 통해 7㎜의 간격으로 도출하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 따라서, 기체의 이온화 확률 및 음극판에서 스퍼터링된 티타늄 원자가 양극으로 증착되는 양을 최적화하여 배기 성능을 극대화 할 수 있는 효과가 있다.
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