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公开(公告)号：KR1020160082137A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140194648
申请日：2014-12-31
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: B65D1/0207 , B21C37/06 , B23K9/167 , B65D1/40
Abstract: 본발명은저탄소강을이용한진공용기에관한것으로, 본발명의일 실시예에따른진공용기는저탄소강부재로형성되며, 중공이형성된본체; 저탄소강부재로형성되고, 상기본체의일면에형성되며, 진공부품과연결되는접속관; 상기접속관에용접되는플랜지를포함하여저렴한비용으로고진공, 초고진공, 극고진공에응용가능한진공용기를제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用低碳钢的真空容器。 根据本发明实施例的真空容器包括：主体，其由低碳钢构件制成并具有中空部; 在本体的一个表面上形成由低碳钢构件制成的连接管，并连接到真空室; 以及焊接到连接管的凸缘。 因此，真空容器成本有效地应用于高真空，超高真空和极高真空。
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公开(公告)号：KR101384692B1
公开(公告)日：2014-04-14
申请号：KR1020120149713
申请日：2012-12-20
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: Disclosed is a getter-mounted vacuum vessel capable of improving vacuum efficiency and supporting a getter with a simple structure. The getter-mounted vacuum vessel according to the present invention includes a body with a hollow part and a getter receiving unit which is integrated with the body, connected to the hollow part, and receives the getter so that it comes into contact with the inner wall of the body. Heat is transmitted to the body by a heating element in contact with the body. The getter is heated by the heat conducted to the body.
Abstract translation: 公开了一种能够以简单的结构提高真空效率和支撑吸气剂的吸气剂安装的真空容器。 根据本发明的吸气剂安装的真空容器包括具有中空部分的主体和与本体一体化的吸气剂接收单元，其连接到中空部分，并且接收吸气剂以使其与内壁接触 的身体。 热量通过与身体接触的加热元件传递到身体。 吸气剂被传导到身体的热量加热。
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公开(公告)号：KR101093828B1
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100043006
申请日：2010-05-07
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01J37/34 , H01J37/30 , H01L21/265 , F04B49/00
Abstract: 본 발명은 이온 펌프(sputter ion pump)의 전원 공급을 제어하는 이온 펌프 전원 제어 장치(ion pump power supply controller)에 관한 것으로 보다 자세하게는 최소 8개 이상의 고전압 출력부를 제공함과 동시에 각각의 출력을 콘트롤하고 전류를 읽을 수 있도록 하는 전원 제어 장치를 제공하는 데에 있다. 본 발명에 의한 전원 제어 장치를 사용하면 다수의 이온 펌프를 구동, 제어할 수 있으므로 경제적 손실을 줄이는데 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR101642077B1
公开(公告)日：2016-07-22
申请号：KR1020140194648
申请日：2014-12-31
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은저탄소강을이용한진공용기에관한것으로, 본발명의일 실시예에따른진공용기는저탄소강부재로형성되며, 중공이형성된본체; 저탄소강부재로형성되고, 상기본체의일면에형성되며, 진공부품과연결되는접속관; 상기접속관에용접되는플랜지를포함하여저렴한비용으로고진공, 초고진공, 극고진공에응용가능한진공용기를제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR101529653B1
公开(公告)日：2015-06-29
申请号：KR1020130093268
申请日：2013-08-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은, 메디아제거장치및 방법에관한것으로, 본발명은혼합물챔버, 상기혼합물챔버에퍼지하기위한가스를공급하는가스공급부, 상기혼합물챔버에연결되고세정액을상기혼합물챔버에주입하는액체공급부, 상기혼합물챔버의하단에형성되어액체및 가스를배출하는배기부, 상기배기부와연결되고, 액체를분사하여입자유동가공처리된금속용기내면에잔류하는메디아를제거하는분사부를포함하는메디아제거장치및 이의방법을제공한다. 본발명에의할경우, 입자유동가공기로가공한경면에메디아제거시적절한압력으로세정액과질소를분사하여, 소용돌이현상에따른스크레치가발생하는종래의메디아제거방법의문제점을해결할수 있으며, 메디아제거과정에공기와수분을차단하여내부의경면연마한상태를유지할수 있고, 추가연마공정이필요하지않으며, 이에따른공정효율과제조비용의절감이기대된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100860274B1
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：KR1020070064907
申请日：2007-06-29
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단 , 주식회사 브이엠티
Abstract: A compact UHV(Ultra High Vacuum) sputter ion pump bakable at low temperature and a manufacturing method thereof are provided to lower the temperature for obtaining ultra high vacuum of 10^-11 Torr or less to 100 °C or below. A sputter ion pump includes a body(120), alloy magnets, a pair of titanium cathode plates(20,40), at least one anode cell(30), and a plurality of neodymium magnets(10,50). The surface of the body is treated into a chromic oxide layer. The neodymium magnets are disposed at two opposite sides of the magnets. The titanium cathode plates are disposed between the neodymium magnets. A plurality of cylindrical anode cells are disposed between the titanium cathode plates.
Abstract translation: 提供在低温下可烘烤的紧凑型特高压（超高真空）溅射离子泵及其制造方法，以降低温度以获得10 ^ -11乇或更低至100℃或更低的超高真空度。 溅射离子泵包括主体（120），合金磁体，一对钛阴极板（20,40），至少一个阳极电池（30）和多个钕磁体（10,50）。 身体的表面被处理成氧化铬层。 钕磁体设置在磁体的两个相对的两侧。 钛阴极板设置在钕磁体之间。 在钛阴极板之间设置多个圆柱形阳极电池。
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公开(公告)号：KR101534140B1
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020140013857
申请日：2014-02-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은변압기형이온펌프전원제어장치 1대를이용하여상이한출력전압을출력할수 있도록구조가개선된이온펌프용전원제어장치, 전원제어회로및 전원제어장치의제어방법을제공하는것이다. 본발명에따른이온펌프용전원제어장치는교류전원이입력되는입력부, 입력부로부터입력된교류전원을제1 고압의직류전원및 상기제1 고압의직류전원의전압과상이한전압을갖는제2 고압의직류전원중 어느하나로출력하는출력부, 입력부와출력부사이에배치되어출력부에서제1 고압의직류전원과제2 고압의직류전원중 어느하나가출력되도록스위칭되는스위칭부를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 전원제어장치를이용하여상이한전압을갖는제1 고압의직류전원과제2 고압의직류전원을이온펌프에인가할수 있으므로, 이온펌프의배기성능을향상시킬뿐만아니라이온펌프의수명기간을연장할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于控制离子泵的电源的装置，用于控制电源的电路以及用于控制用于控制电源的装置的方法。 本发明通过使用用于控制离子泵电源的变压器型装置来改善用于输出不同输出电压的结构。 根据本发明的用于控制离子泵的电源的装置包括：输入交流电的输入部;输出部，其输出从所述输入部接收到的第一高压直流电力和 与第一高压直流电力不同的第二高压直流电力，以及设置在输入部和输出部之间的切换部，切换为输出第一高压直流电力和第二高压中的一个 直流电源。 由此，可以通过使用功率控制装置将第一高压直流电力和第二高压直流电力施加到离子泵。 因此，能够提高离子泵的排出性能，能够延长离子泵的寿命。
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公开(公告)号：KR101391831B1
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020120154780
申请日：2012-12-27
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: The present invention relates to a getter pump with an improved thermal mode which can activate a getter from the exterior of a vacuum container in which the getter is accommodated. The getter pump includes: the vacuum container forming a vacuum atmosphere; the getter disposed at a vacuum side which is the inside of the vacuum container; a heating part disposed at an atmosphere side which is the outside of the vacuum container, to supply heat to the getter to activate the getter; and a flange part interposed between the getter and the heating part to divide the vacuum side and the atmosphere side, and transferring the heat to the getter from the heating part. Therefore, the installation and replacement of the getter are easily performed by the use of an indirect heat transferring method to activate the getter at the atmosphere side, thereby increasing the performance and applicability of the product.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有改进的热模式的吸气泵，其可从容纳吸气剂的真空容器的外部激活吸气剂。 吸气泵包括：真空容器形成真空气氛; 吸气剂设置在真空容器内部的真空侧; 设置在真空容器外侧的气氛侧的加热部，向吸气剂供给热量以起动吸气剂; 以及插入在吸气剂和加热部分之间以分隔真空侧和大气侧的凸缘部分，并且将热量从加热部分传递到吸气剂。 因此，通过使用间接传热方法容易地进行吸气剂的安装和更换，以激活大气层的吸气剂，从而提高产品的性能和适用性。
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公开(公告)号：KR1020110123490A
公开(公告)日：2011-11-15
申请号：KR1020100043006
申请日：2010-05-07
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01J37/34 , H01J37/30 , H01L21/265 , F04B49/00
Abstract: PURPOSE: An ion pump power control system and method are provided to reduce an installation space by controlling a plurality of ion pumps with one power supply unit. CONSTITUTION: A shunt resistor(402) serially connects to a high voltage supply line between each ion pump and a power source. The shunt resistor detects a low current flowing in each ion pump. A high pressure relay(412) turns on and off the drive of each ion pump by serially being connected to the shunt resistor. An individual slave board(520) is connected to the shunt resistor and the high pressure relay. A master board(580) is connected to the individual slave board and controls the individual slave board.
Abstract translation: 目的：提供一种离子泵功率控制系统和方法，通过用一个电源单元控制多个离子泵来减少安装空间。 构成：分流电阻（402）串联连接到每个离子泵和电源之间的高压电源线。 分流电阻检测在每个离子泵中流动的低电流。 高压继电器（412）通过串联连接到分流电阻器来打开和关闭每个离子泵的驱动。 单独的从单板（520）连接到分流电阻器和高压继电器。 主板（580）连接到单独的从板，并控制单独的从板。
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10.发明授权
公开(公告)号：KR101567517B1
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：KR1020140013858
申请日：2014-02-06
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은유선의한계및 검사를위한장비의제약을극복하도록구조와방식이개선된누출감지시스템및 누출감지시스템의제어방법에관한것이다. 본발명에따른누출감지시스템은피검사체에분사된트레이스(trace) 가스를감지하는누출감지기, 누출감지기와양방향무선통신되고누출감지기의작동을제어하는제1모드와누출감지기의작동정보를모니터링하는제2모드중 적어도어느하나의모드로작동하는프로그램이저장된저장매체를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 누출감지기를작동하는제1모드와누출감지기의정보를모니터링하는제2모드로작동할수 있는프로그램을저장한저장매체를이용하여피검사체의누출검사를실행할수 있으므로, 피검사체의누출검사를위한장비제약과누출검사소요시간을감소시킬수 있다.
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