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公开(公告)号：KR20210030581A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190111861A
申请日：2019-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32422
Abstract: 본 발명은 전력이 인가될 때 발생하는 발광 급증 현상과 전력이 차단될 때 발생하는 잔광 급증 현상의 기여를 펄스 구동 조건의 조절을 통해 최대화하여 활성종의 생성이 극대화되도록 한 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 의하면, 전극의 추가나 변경 없이, 전력 구동 조건의 변화만으로 플라즈마의 활성종 생성의 전력 효율을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.-
公开(公告)号：WO2021049884A1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：PCT/KR2020/012210
申请日：2020-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 전력이 인가될 때 발생하는 발광 급증 현상과 전력이 차단될 때 발생하는 잔광 급증 현상의 기여를 펄스 구동 조건의 조절을 통해 최대화하여 활성종의 생성이 극대화되도록 한 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 의하면, 전극의 추가나 변경 없이, 전력 구동 조건의 변화만으로 플라즈마의 활성종 생성의 전력 효율을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR102258361B1
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：KR1020190111861
申请日：2019-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은전력이인가될때 발생하는발광급증현상과전력이차단될때 발생하는잔광급증현상의기여를펄스구동조건의조절을통해최대화하여활성종의생성이극대화되도록한 펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에관한것이다. 본발명에따른펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에의하면, 전극의추가나변경없이, 전력구동조건의변화만으로플라즈마의활성종생성의전력효율을증대시킬수 있는장점이있다.
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公开(公告)号：KR20210030581A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR20190111861
申请日：2019-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은전력이인가될때 발생하는발광급증현상과전력이차단될때 발생하는잔광급증현상의기여를펄스구동조건의조절을통해최대화하여활성종의생성이극대화되도록한 펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에관한것이다. 본발명에따른펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에의하면, 전극의추가나변경없이, 전력구동조건의변화만으로플라즈마의활성종생성의전력효율을증대시킬수 있는장점이있다.
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