公开(公告)号：KR1020170058397A

公开(公告)日：2017-05-26

申请号：KR1020177010126

申请日：2015-09-18

Applicant: 플라즈마 앱 리미티드

Inventor： 야모리치드머티

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/32 ,  H01J37/34 ,  H01J37/32

CPC classification number: C23C14/30 ,  C23C14/32 ,  H01J3/025 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/3233 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32596 ,  H01J37/32816 ,  H01J37/34 ,  H01J37/3467 ,  H01J2237/06366 ,  H01J2237/3137 ,  H01J2237/332

Abstract: 가상음극증착장치는고체타겟을삭마하기위한고밀도전자빔을생성하기위해가상플라즈마음극을이용한다. 고전압전기펄스는가스를이온화하여전면에일시적으로나타나고타겟의근방에서가상플라즈마음극으로서의역할을하는플라즈마를생성한다. 그리고이러한플라즈마는사라져서플라즈마플룸의형태인삭마된타겟재료가기판을향해전파되게한다. 병렬적으로동작하는여러가상음극들이균일한플라즈마로합해지는플룸들을제공하고, 이것은인접한기판상에서농축되면균일한두께의박막의광역증착을야기한다.

Abstract translation: 虚拟阴极沉积设备使用虚拟等离子体阴极来产生用于消融固体靶的高密度电子束。 高压电脉冲使气体电离，产生暂时出现在前表面上的等离子体，并充当目标附近的虚拟等离子体阴极。 然后去除该等离子体，使等离子体羽流形式的烧蚀目标材料向基板传播。 平行操作的若干虚阴极提供羽流，羽流结合成均匀的等离子体，当在相邻基板上富集时，引起均匀厚度的薄膜的广泛沉积。