公开(公告)号：KR102230032B1

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：KR1020190134490A

申请日：2019-10-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이헌수 ,  김명종 ,  정운석 ,  김청훈 ,  장세규 ,  안석훈

IPC: C01B21/064 ,  B01J19/08

CPC classification number: C01B21/0641 ,  B01J19/08 ,  B01J2219/0894 ,  C01P2004/13

Abstract: 질화붕소 나노튜브 제조 시스템은 챔버부, 전구체 로드, 레이저 조사부, 플라즈마 발생부 및 수집부를 포함한다. 상기 챔버부는 내부 공간을 형성한다. 상기 전구체 로드는 상기 내부 공간에 위치하며, 소정길이를 가진다. 상기 레이저 조사부는 상기 전구체 로드를 향하여 레이저를 조사한다. 상기 플라즈마 발생부는 상기 레이저 조사에 따라 전구체가 반응하는 영역으로 플라즈마를 발생한다. 상기 수집부는 상기 전구체가 반응하는 영역에서 합성되는 나노튜브를 수거한다.

公开(公告)号：KR102230032B1

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：KR1020190134490

申请日：2019-10-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이헌수 ,  김명종 ,  정운석 ,  김청훈 ,  장세규 ,  안석훈

IPC: C01B21/064 ,  B01J19/08

Abstract: 질화붕소나노튜브제조시스템은챔버부, 전구체로드, 레이저조사부, 플라즈마발생부및 수집부를포함한다. 상기챔버부는내부공간을형성한다. 상기전구체로드는상기내부공간에위치하며, 소정길이를가진다. 상기레이저조사부는상기전구체로드를향하여레이저를조사한다. 상기플라즈마발생부는상기레이저조사에따라전구체가반응하는영역으로플라즈마를발생한다. 상기수집부는상기전구체가반응하는영역에서합성되는나노튜브를수거한다.