실리콘 함유 다이아몬드상 카본 박막, 그 제조 방법 및 용도
    2.
    发明公开
    실리콘 함유 다이아몬드상 카본 박막, 그 제조 방법 및 용도 有权
    含硅金刚石碳膜,其制造方法及其使用

    公开(公告)号:KR1020120093985A

    公开(公告)日:2012-08-23

    申请号:KR1020127013507

    申请日:2009-10-08

    Abstract: 본발명은실리콘함유다이아몬드상카본박막, 그제조방법및 용도에관한것으로서, 상기실리콘함유다이아몬드상카본박막은내부및 표면에실리콘을함유한다이아몬드상카본박막의표면에, 상기박막표면에존재하는탄소및 규소원자와상기박막의표면에친수성을부여하는원자 (A) 사이의화학결합이있는것을특징으로한다.

    Abstract translation: 目的:提供含硅的DLC(类金刚石碳)薄膜及其制造方法及其用途,以通过改变薄膜的表面来提高DLC薄膜的抗腐蚀性和血液相容性,以及 控制表面能。 构成:DLC薄膜在内部包含硅和薄膜表面。 赋予薄膜表面亲水性的原子(A)与存在于薄膜表面上的碳原子和硅原子化学键合。 硅的含量为0.5〜17原子%或1.0〜2.5原子%。 表面粗糙度为10〜20nm。

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