公开(公告)号：KR101408136B1

公开(公告)日：2014-06-17

申请号：KR1020120119810

申请日：2012-10-26

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김성진 ,  이광렬 ,  문명운 ,  성원경 ,  다이웨이

IPC: B82B3/00 ,  C23C14/24

CPC classification number: B01D69/02 ,  B01D67/0072 ,  B01D71/021 ,  B01D2325/38 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 다공성 물질의 제조방법은 기재를 준비하는 준비단계, 그리고 상기 기재에, 증착압력을 300 mTorr 이상으로 하는 플라즈마 증착을 이용하여 나노클러스터들이 서로 연결되어 네트워크를 형성한 나노 다공성 물질을 제조하는 제조단계를 포함한다. 상기 제조방법을 이용하면, 소재의 표면 및 내부까지 기공이 분포하는 다공성 물질을 한 번의 증착 과정으로 형성할 수 있으면서도, 별도의 추가적인 코팅층을 형성할 필요 없이 의도하는 표면에너지를 가지는 나노 다공성 물질을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020140053637A

公开(公告)日：2014-05-08

申请号：KR1020120119810

申请日：2012-10-26

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김성진 ,  이광렬 ,  문명운 ,  성원경 ,  다이웨이

IPC: B82B3/00 ,  C23C14/24

CPC classification number: B01D69/02 ,  B01D67/0072 ,  B01D71/021 ,  B01D2325/38 ,  B82Y40/00

Abstract: A method for manufacturing nanoporous material according to an embodiment of the present invention comprises the steps of: a preparing step of preparing a substrate; and a manufacturing step of manufacturing the nanoporous material forming the network by nano clusters connected to each other by using plasma vapor deposition having 300 mTorr or more of the deposition pressure on the substrate. By using the manufacturing method, a nanoporous material, which forms a porous material having the pore distributed to the surface and inner part of the material by one deposition process, and has the intended surface energy without the need to form an additional coating layer, can be manufactured.

Abstract translation: 根据本发明的实施方案的制造纳米多孔材料的方法包括以下步骤：准备基材的准备步骤; 以及通过使用在基板上具有300mTorr以上的沉积压力的等离子体气相沉积，通过彼此连接的纳米团制造形成网络的纳米多孔材料的制造步骤。 通过使用该制造方法，通过一次沉积工艺形成具有分布在材料的表面和内部的孔的多孔材料的纳米多孔材料，并且具有预期的表面能，而不需要形成附加的涂层， 制造。