公开(公告)号：KR100812357B1

公开(公告)日：2008-03-11

申请号：KR1020060113002

申请日：2006-11-15

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김일두 ,  홍재민 ,  김동영 ,  조성무 ,  로드쉴드애브너 ,  툴러해리엘

IPC: G01N27/12 ,  B82Y15/00

CPC classification number: G01N27/127

Abstract: 본 발명에 따른 초고감도 금속산화물 가스센서의 제조방법은, 센서 전극 위에 금속산화물 전구체와 고분자를 포함하는 혼합 용액을 방사하여 상기 금속산화물 전구체와 고분자가 혼합된 복합섬유를 형성하는 단계와, 상기 복합섬유를 열압착 또는 열가압하는 단계와, 상기 열압착 또는 열가압된 복합섬유를 열처리하여 상기 복합섬유에서 상기 고분자를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 본 발명에 의한 가스센서는 나노섬유 사이의 거대(macro) 기공과 나노로드들 및/또는 나노그레인들 사이의 미세(meso) 기공을 함께 가짐으로써, 가스 확산의 극대화 및 표면적의 극대화를 달성할 수 있다. 또한, 금속산화물 박층과 센서 전극과의 접착성의 급격한 증대를 통해 기계적, 열적, 전기적 안정성이 높은 초고감도 센서를 구현할 수 있다.
금속산화물, 산화티타늄, 산화아연, 산화주석, 칼슘카파타이타네이트, 도너도핑, 가스센서, 나노파이버, 나노그레인, 나노로드, 전기방사

公开(公告)号：KR1020070066859A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：KR1020060113002

申请日：2006-11-15

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김일두 ,  홍재민 ,  김동영 ,  조성무 ,  로드쉴드애브너 ,  툴러해리엘

IPC: G01N27/12 ,  B82Y15/00

CPC classification number: G01N27/127

Abstract: An ultra-sensitive metal oxide gas sensor and a method for manufacturing the same are provided to maximize the diffusion of gas by providing macro pores between nano-fibers. An ultra-sensitive metal oxide gas sensor includes a sensor electrode and a porous metal oxide thin film. The porous metal oxide thin film is formed on the sensor electrode and has a network structure of nano-fibers including nano-rods of single crystals. The average width of the single crystals is 10 to 20 nm and the average length thereof is 50 to 100 nm. The porous metal oxide thin film has first pores between the nano-fibers and second pores between the nano-rods. The average size of the first pores is 55 to 70nm and the average size of the second pores is 10 to 25nm.

Abstract translation: 提供超敏感金属氧化物气体传感器及其制造方法，以通过在纳米纤维之间提供宏观孔来使气体的扩散最大化。 超敏感金属氧化物气体传感器包括传感器电极和多孔金属氧化物薄膜。 多孔金属氧化物薄膜形成在传感器电极上，并具有包括单晶纳米棒的纳米纤维的网络结构。 单晶的平均宽度为10〜20nm，平均长度为50〜100nm。 多孔金属氧化物薄膜在纳米纤维和纳米棒之间的第二孔之间具有第一孔。 第一孔的平均尺寸为55〜70nm，第二孔的平均尺寸为10〜25nm。