公开(公告)号：KR100613398B1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：KR1020030084160

申请日：2003-11-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김태송 ,  이정훈 ,  황교선 ,  박재범

IPC: G01N33/96

CPC classification number: G01N29/4436 ,  B01L2300/0663 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0487 ,  B82Y30/00 ,  B82Y35/00 ,  G01N29/022 ,  G01N29/036 ,  G01N33/54373 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0426 ,  G01N2291/0427

Abstract: 본 발명은 종래의 미세 물질을 감지하는 분석 시스템에 있어서, 반응물을 주입할 수 있는 유입구와, 상기 유입구와 반응 챔버를 연결하는 미소 유입 채널이 형성된 미소 유체 전달 시스템과; 일단이 기판에 고정된 캔틸레버와, 상기 캔틸레버의 상면 하면 중 적어도 어느 한 면에 적층되며 압전막과 상기 압전막의 하면에 형성된 하부 전극과 상기 압전막의 상면에 형성된 상부 전극으로 이루어진 구동막과, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 전기를 가하는 전기 패드와, 상기 캔틸레버 및 상기 구동막 중 적어도 어느 한면의 상면에 형성되어 분석물과 반응하기 위한 분자 인식층을 포함하며 상기 반응 챔버에 설치된 캔틸레버 센서를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서형 분석 시스템, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 극미세 물질 감지 방법을 제공함으로써, 별도의 외부 액튜에이터 없이 캔틸레버에 일정한 주파수의 진동을 가할 수 있으므로, 캔틸레버 센서의 크기를 현저히 줄여 미세 유체 전달시스템과 결합할 수 있어 극 소량의 반응물질을 측정할 수 있도록 한다.
캔틸레버, 유체 전달 시스템, 바이오 센서

公开(公告)号：KR1020050050425A

公开(公告)日：2005-05-31

申请号：KR1020030084160

申请日：2003-11-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김태송 ,  이정훈 ,  황교선 ,  박재범

IPC: G01N33/96

CPC classification number: G01N29/4436 ,  B01L2300/0663 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0487 ,  B82Y30/00 ,  B82Y35/00 ,  G01N29/022 ,  G01N29/036 ,  G01N33/54373 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0426 ,  G01N2291/0427

Abstract: 본 발명은 종래의 미세 물질을 감지하는 분석 시스템에 있어서, 반응물을 주입할 수 있는 유입구와, 상기 유입구와 반응 챔버를 연결하는 미소 유입 채널이 형성된 미소 유체 전달 시스템과; 일단이 기판에 고정된 캔틸레버와, 상기 캔틸레버의 상면 하면 중 적어도 어느 한 면에 적층되며 압전막과 상기 압전막의 하면에 형성된 하부 전극과 상기 압전막의 상면에 형성된 상부 전극으로 이루어진 구동막과, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 전기를 가하는 전기 패드와, 상기 캔틸레버 및 상기 구동막 중 적어도 어느 한면의 상면에 형성되어 분석물과 반응하기 위한 분자 인식층을 포함하며 상기 반응 챔버에 설치된 캔틸레버 센서를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서형 분석 시스템, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 극미세 물질 감지 방법을 제공함으로써, 별도의 외부 액튜에이터 없이 캔틸레버에 일정한 주파수의 진동을 가할 수 있으므로, 캔틸레버 센서의 크기를 현저히 줄여 미세 유체 전달시스템과 결합할 수 있어 극 소량의 반응물질을 측정할 수 있도록 한다.