Abstract:
본 명세서는 생체분자 농축 기능 일체형 센서에 관한 것으로서, 본 명세서의 일실시예에 따른 센서는 마이크로 채널, 상기 마이크로 채널 양단에 형성된 표적물질 시료를 수용하는 레저버(reservoir) 및 선택적 이온투과막 패턴을 포함하는 농축기 및 두 전극이 상호 슬롯(Slot)을 형성하며 소정 간격 이격되도록 기판상에 패턴 형성되는 교차전극부를 포함하며, 상기 마이크로 채널상의 소정 영역에 농축된 상기 표적물질이 상기 두 전극이 형성하는 상기 슬롯에서 포획될 수 있는 감지기를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 압력 센서의 표면에 나노 구조물을 접착하여, 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 구조물을 갖는 압력 센서는, 기판; 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되어 배열되는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 배치되는 플렉시블 센서 레이어; 및 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착되며, 나노 크기의 주름을 갖는 나노 구조물을 포함한다.
Abstract:
캔틸레버 센서; 및 상기 센서 표면에 형성된 패턴층을 포함하며, 상기 패턴층은, 친수성 영역 및 소수성 영역 중 어느 하나 이상을 포함하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 캔틸레버 센서는 구조가 간단하면서도 분석능이 매우 우수하며, 한번의 측정을 통해 다수의 시료를 동시 분석할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 종래의 미세 물질을 감지하는 분석 시스템에 있어서, 반응물을 주입할 수 있는 유입구와, 상기 유입구와 반응 챔버를 연결하는 미소 유입 채널이 형성된 미소 유체 전달 시스템과; 일단이 기판에 고정된 캔틸레버와, 상기 캔틸레버의 상면 하면 중 적어도 어느 한 면에 적층되며 압전막과 상기 압전막의 하면에 형성된 하부 전극과 상기 압전막의 상면에 형성된 상부 전극으로 이루어진 구동막과, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 전기를 가하는 전기 패드와, 상기 캔틸레버 및 상기 구동막 중 적어도 어느 한면의 상면에 형성되어 분석물과 반응하기 위한 분자 인식층을 포함하며 상기 반응 챔버에 설치된 캔틸레버 센서를; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서형 분석 시스템, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 극미세 물질 감지 방법을 제공함으로써, 별도의 외부 액튜에이터 없이 캔틸레버에 일정한 주파수의 진동을 가할 수 있으므로, 캔틸레버 센서의 크기를 현저히 줄여 미세 유체 전달시스템과 결합할 수 있어 극 소량의 반응물질을 측정할 수 있도록 한다. 캔틸레버, 유체 전달 시스템, 바이오 센서
Abstract:
PURPOSE: A cantilever sensor and a method for manufacturing the same are provided to reduce a size of a cantilever sensor system by allowing the cantilever sensor to detect an electric signal instead of an optical signal. CONSTITUTION: A part of a first silicon nitride layer(21) is formed on a silicon substrate(20) and the remaining part of the first silicon nitride layer is formed on a membrane. A silicon oxide layer(23) is formed on the first silicon nitride layer. A lower electrode(24) having a predetermined size is formed on the silicon oxide layer. A first piezo-electric layer(25) is formed on the lower electrode and a second piezo-electric layer is formed in such a manner that the second piezo-electric layer is separated from the first piezo-electric layer. An upper electrode layer(26) is formed on the first and second piezo-electric layers. A protective layer having first and second openings(31,32) is formed on the upper electrode. First and second contact pads(28,29) are formed in the first and second openings.