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公开(公告)号：KR1019990080976A
公开(公告)日：1999-11-15
申请号：KR1019980014602
申请日：1998-04-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C14/34
Abstract: 본 발명은 수십 MHz 이상의 고주파 영역에서 높은 포화자속밀도와 우수한 연자기 특성을 가지며 추가적인 열처리 공정 등을 거치지 않는 새로운 Fe-Hf-CN계 및 Fe-Hf-N계 재료 및 상기 재료의 제조방법을 제공하기 위해, 철계 연자성 박막의 증착 중에 형성되는 비정질화를 막고 조직을 결정화하기 위하여 입자의 에너지를 증가시킨다. 본 발명의 철계 연자성 박막합금의 조성은 다음과 같고 미세구조는 초미세결정립으로 이루어져 있으며 그 조성은 다음과 같다: Fe
x Hf
y C
z N
v ; 이때, x, y, z, v는 각각 원자 %로서, 68 ≤ x ≤ 85; 4 ≤ y ≤ 10; 0 ≤ z ≤ 12; 3 ≤ v≤ 20; 15 ≤ y + z + v ≤ 32; (단, x + y + z + v = 100). 또한, 순철, Fe-Hf계 합금, Fe-Hf-C계 합금 등에 Hf, Hf의 질화물 및 탄화물 그리고 C의 소편을 배치하여 불활성 가스 분위기나 C나 N을 함유하고 있는 분위기 하에서 나노(nano) 크기의 초미세 결정립 조직을 얻기 위해 냉각속도의 조절 또는 입자에너지를 조절하는 증착조건으로 전력의 양이 4~8W/㎠, N
2 분량은 2~20%이며 ([C]+[N])/[Hf]의 성분비를 1.5~2.5로 유지함으로써, 열처리 공정 없이 증착 상태에서 초미세 결정립 구조를 갖는 철계 연자성 박막합금의 제조방법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR100270605B1
公开(公告)日：2000-12-01
申请号：KR1019980014602
申请日：1998-04-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C14/34
CPC classification number: H01F41/183 , C21D2201/03 , C22C38/002 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , H01F10/131 , H01F10/138 , H01F41/18
Abstract: PURPOSE: A process for preparing the titled alloy having high-saturation magnetic flux density and excellent soft-magnetism in a high-frequency area of several tens MHz or more is provided, thereby obtaining excellent soft-magnetism without heat treatment. CONSTITUTION: An iron soft magnetic thin film alloy for magnetic head expressed by a composition expression of Fex Hfy Cz Ny is manufactured by the sputtering method. Each atom % of x, y, v, and w in this case satisfies 68≤x≤85, 4≤y≤10, 0≤z≤12, 3≤ v≤12, 15≤y+z+v≤32 (x+y+z+v=100). The thin film alloy has ultrafine crystal grains in a vapor deposition state without heat treatment.
Abstract translation: 目的：提供在数十MHz以上的高频区域制备具有高饱和磁通密度和优异软磁性的标准合金的方法，从而获得优异的软磁性而不进行热处理。 构成：通过溅射法制造由Fex Hfy Cz Ny的组成表达式表示的用于磁头的铁软磁性薄膜合金。 在这种情况下，x，y，v和w的每个原子％满足68≤x≤85,4≤y≤10,0≤z≤12,3≤v≤12,15≤y+ z +v≤32（ X + Y + Z + v = 100）。 该薄膜合金在没有热处理的情况下具有气相沉积状态的超细晶粒。
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