公开(公告)号：KR101816222B1

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：KR1020160067736

申请日：2016-05-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 장혜정 ,  이광엽 ,  백승협 ,  문선영 ,  김진연

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20

Abstract: 단결정나노패턴의제조방법이제공된다. 상기단결정나노패턴의제조방법에의하면, 고에너지의집속전자빔을이용하여비정질의박막내에나노크기의결정패턴을간단하게제조할수 있다. 또한, 이종접합산화물의계면으로부터나노구조의결정패턴을성장시켜기판과에피택셜한나노결정구조를제조할수 있다. 그리고나노결정패턴을원자크기로제어하기위해서는부도체이종접합계면에전도성층을형성시키는것이유리하다.

公开(公告)号：KR1020170135584A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：KR1020160067736

申请日：2016-05-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 장혜정 ,  이광엽 ,  백승협 ,  문선영 ,  김진연

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L29/0665 ,  H01L21/02172 ,  H01L21/02598 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/2026

Abstract: 단결정나노패턴의제조방법이제공된다. 상기단결정나노패턴의제조방법에의하면, 고에너지의집속전자빔을이용하여비정질의박막내에나노크기의결정패턴을간단하게제조할수 있다. 또한, 이종접합산화물의계면으로부터나노구조의결정패턴을성장시켜기판과에피택셜한나노결정구조를제조할수 있다. 그리고나노결정패턴을원자크기로제어하기위해서는부도체이종접합계면에전도성층을형성시키는것이유리하다.

Abstract translation: 提供了一种制造单晶纳米图案的方法。 根据用于制造单晶纳米图案的方法，可以使用高能聚焦电子束在非晶薄膜中容易地制造纳米级晶体图案。 另外，可以从异质结氧化物的界面生长纳米晶体图案以与衬底形成外延纳米晶体结构。 为了将纳米晶图案控制为原子尺寸，在非导电异质结界面处形成导电层是有利的。