집속 전자빔을 이용한 단결정 나노 패턴의 제조방법
    1.
    发明公开
    집속 전자빔을 이용한 단결정 나노 패턴의 제조방법 审中-实审
    使用聚焦电子束的单晶纳米图案的制造方法

    公开(公告)号:KR1020170135584A

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:KR1020160067736

    申请日:2016-05-31

    Abstract: 단결정나노패턴의제조방법이제공된다. 상기단결정나노패턴의제조방법에의하면, 고에너지의집속전자빔을이용하여비정질의박막내에나노크기의결정패턴을간단하게제조할수 있다. 또한, 이종접합산화물의계면으로부터나노구조의결정패턴을성장시켜기판과에피택셜한나노결정구조를제조할수 있다. 그리고나노결정패턴을원자크기로제어하기위해서는부도체이종접합계면에전도성층을형성시키는것이유리하다.

    Abstract translation: 提供了一种制造单晶纳米图案的方法。 根据用于制造单晶纳米图案的方法,可以使用高能聚焦电子束在非晶薄膜中容易地制造纳米级晶体图案。 另外,可以从异质结氧化物的界面生长纳米晶体图案以与衬底形成外延纳米晶体结构。 为了将纳米晶图案控制为原子尺寸,在非导电异质结界面处形成导电层是有利的。

    복합 기능성 방열 입자와 이를 포함하는 구조체 및 필름, 및 그 제조방법
    3.
    发明授权
    복합 기능성 방열 입자와 이를 포함하는 구조체 및 필름, 및 그 제조방법 有权
    多功能热扩散粒子及其阵列及其制造方法

    公开(公告)号:KR101223485B1

    公开(公告)日:2013-01-17

    申请号:KR1020100112647

    申请日:2010-11-12

    Inventor: 김상우 문선영

    Abstract: 본 발명은 열전도 특성과 더불어 전자파흡수성, 난연성, 대전방지성, 절연성, 내열성, 전기전도성 등의 다양한 기능을 적어도 하나 이상 동시에 갖는 복합 기능성 방열 입자와 이를 포함하는 구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 복합 기능성 방열 입자는, 코어 및 쉘로 이루어진 복합 기능성 방열 입자에 있어서, 쉘에 포함되는 입자보다 낮은 열전도도를 갖는 중심 입자를 포함하는 코어와, 상기 중심 입자 보다 높은 열전도도를 갖는 고열전도성 입자를 포함하는 쉘로 이루어진 것이고, 본 발명의 복합 구조체는 상기의 복합 기능성 방열 입자들이 뭉쳐서 이루어진 것이고, 본 발명의 복합 필름은 상기 복합 기능성 방열 입자 및/또는 복합 구조체, 와 유기 결합제를 포함하는 것이고, 본 발명의 복합 기능성 방열 입자의 제조방법은 코어 및 쉘로 구성된 복합 기능성 방열 입자의 제조에 있어서, 쉘에 포함되는 입자보다 낮은 열전도도를 갖는 중심 입자와 상기 중심 입자보다 높은 열전도도를 갖는 고열전도성 입자를 혼합하여, 상기 중심 입자 표면에 상기 고열전도성 입자가 결합하여 쉘을 형성하도록 하는 것이다.

    산화물 센서 및 그 제조방법
    4.
    发明公开
    산화물 센서 및 그 제조방법 无效
    氧化物传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140052162A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:KR1020120117042

    申请日:2012-10-22

    Abstract: The present invention relates to an oxide sensor and a method to manufacture the oxide sensor. The present invention provides an oxide sensor including: an oxide substrate; an oxide thin film layer formed on the oxide substrate and generating a two-dimensional electron gas (2DEG) layer on the bonding interface with the oxide substrate by including an oxide which is a different kind of the oxide substrate; and an electrode wiring connected to the 2DEG layer generated on the bonding interface of the oxide substrate and the oxide thin film layer. Furthermore, the present invention provides a method to manufacture the oxide sensor comprising the steps of: forming the oxide thin film layer generating the 2DEG layer on the bonding interface with the oxide substrate by depositing the oxide whereby is a different kind of the oxide substrate on the oxide substrate; etching the oxide thin film layer; and forming the electrode wiring connected to the 2DEG layer by depositing conductive materials on an etched portion. According to the present invention, it is possible to be ultra slim because the sensitivity of the ultra-thin film is high in principality whereby electrical conductivity of the 2DEG generated on the bonding interface with a different kind of changed oxide is used and be able to provide at a low cost by a simple manufacturing process.

    Abstract translation: 本发明涉及氧化物传感器和制造氧化物传感器的方法。 本发明提供一种氧化物传感器,包括:氧化物基板; 氧化物薄膜层,其形成在所述氧化物基板上,并且通过包含作为所述氧化物基板的不同种类的氧化物,在与所述氧化物基板的接合界面上产生二维电子气(2DEG)层; 以及连接到在氧化物基板和氧化物薄膜层的接合界面上产生的2DEG层的电极配线。 此外,本发明提供一种制造氧化物传感器的方法,包括以下步骤:通过沉积氧化物形成在与氧化物基板的接合界面上产生2DEG层的氧化物薄膜层,由此作为氧化物基板的不同种类 氧化物基板; 蚀刻氧化物薄膜层; 以及通过在蚀刻部分上沉积导电材料来形成连接到2DEG层的电极配线。 根据本发明,由于超薄膜的灵敏度高,因此使用在不同种类的改变的氧化物的接合界面上产生的2DEG的导电性,因此可以超薄 通过简单的制造过程以低成本提供。

    복합 기능성 방열 입자와 이를 포함하는 구조체 및 필름, 및 그 제조방법
    5.
    发明公开
    복합 기능성 방열 입자와 이를 포함하는 구조체 및 필름, 및 그 제조방법 有权
    多功能热膨胀颗粒及其阵列及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020120051282A

    公开(公告)日:2012-05-22

    申请号:KR1020100112647

    申请日:2010-11-12

    Inventor: 김상우 문선영

    Abstract: PURPOSE: Functional heat-radiant particles are provided to have thermal conductive property, and to embody at least one of various functions like electromagnetic absorption, flame retardance, antistatic property, heat insulation, electrical conductivity, etc. CONSTITUTION: Functional heat-radiant particles comprises: a core containing a central particle(1) having thermal conductivity lower than particles in a shell; and a shell(2) containing highly thermoconductive particles(5). The ratio of the shell to the core is 5-60 volume%. The diameter of the core is 50-90% of total diameter of the functional heat-radiant particle. The central particle is at least one particle selected from a group consisting of metal, ceramics, and plastics.

    Abstract translation: 目的:提供功能性热辐射颗粒以具有导热性,并且具有如电磁吸收,阻燃性,抗静电性,隔热性,导电性等各种功能中的至少一种。构成:功能性热辐射颗粒包括 :包含导热率低于外壳中的颗粒的中心颗粒(1)的核心; 和含有高导热性粒子(5)的壳(2)。 壳与芯的比例为5-60体积%。 芯的直径为功能性热辐射颗粒总直径的50-90%。 中心颗粒是选自金属,陶瓷和塑料中的至少一种颗粒。

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