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公开(公告)号：KR100152582B1
公开(公告)日：1998-10-15
申请号：KR1019950008802
申请日：1995-04-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N7/18
Abstract: 본 발명은 전자회로 패턴이 되어 있지 않고 전자부품 삽입용 홀, 배선용 비아홀 및, 기판 고정용 홀등을 포함하거나 또는 홀을 포함하지 않는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치 및 그 검색방법에 관한 것으로, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없는 독립적인 단일모듈형 검색기로 구성된 자동검색장치를 이용하여 한개 또는 두개의 길고 가는 선형광원으로 기판 표면에 빔을 조사한 후 표면에서의 반사광을 카메라렌즈에 의해 1차원 CCD 영상센서어레이에서 아날로그 영상신호로 변환시키는 제1단계와; 상기 CCD 영상센서어레이에서 출력된 아날로그 영상신호를 비디오 아날로그/디지탈 변환기를 통해 디지탈 신호로 바꾼 후 고속으로 신호를 처리할 수 있는 디지탈신호처리 칩으로 보내는 제2단계와; 상기 디지탈신호처리 칩 내부에서 프로그램과 데이타 메모리를 통해 신호를 처리하는 알고리즘을 구현하고 이것에 의해 검출된 검색결과를 출력표시부에 표시하는 제3단계를 거쳐 무패턴 기판의 결함을 검출하므로써, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없어 제조비용을 절감할 수 있고, 1차원 스캐닝에 의한 광영상화와 신호처리의 고속화 및 실시간 처리가 가능하며, 디지탈 신호처리 칩(digital signal processing chip)을 내장함으로 인해 다양한 결함 유형의 자동검출이 용이하다는 장점을 가지게 된다. 또한 단일모듈에 의한 검색시스템을 광영상화부, 고속영상신호처리부 및, 출력표시부로 구성하여 응용에 따라 각 기능부를 용이하게 조정할 수 있게 되며, 기판의 크기와 검출되어야 하는 결함의 크기에 따라 기판 표면의 영상화 배율 및 다양한 센서수를 갖는 CCD (charge coupled device) 센서어레이를 쉽게 변경할 수 있는 고신뢰성의 무패턴 기판 결함 자동검색장치를 구현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR1019960038409A
公开(公告)日：1996-11-21
申请号：KR1019950008802
申请日：1995-04-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N7/18
Abstract: 본 발명은 전자회로 패턴이 되어 있지 않고 전자부품 삽입용 홀, 배선용 비이홀 및, 기판 고정용 홀등을 포함하거나 또는 홀을 포함하지 않는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치 및 그 검색방법에 관한 것으로, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없는 독립적인 단일모듈형 검색기로 구성된 자동검색장치를 이용하여 한 개 또는 두 개의 길고 가는 선형 광원으로 기판 표면에 빔을 조사한 후 표면에서의 반사광을 카메라렌즈에 의해 1차원 CCD 영상센서어레이에서 아날로그 영상신호로 변환시키는 제1단계와; 상기 CCD 영상센서어레이에서 출력된 아날로그 영상신호를 비디오 아날로그/디지탈 변환기를 통해 디지탈 신호로 바꾼 후 고속으로 신호를 처리할 수 있는 디지탈신호처리 칩으로 보내는 제2단계와; 상기 디지탈신호처리 칩 내부에서 프로그램과 데이타 메모리를 통해 신호를 처리하는 알고리즘을 구현하고 이것에 의해 검출된 검색결과를 출력표시부에 표시하는 제3단계를 거쳐 무패턴 기판의 결함을 검출함으로써, 별도의 영상처리용 컴퓨터가 필요없이 제조비용을 절감 할 수 있고, 1차원 스캐닝에 의한 광영상화와 신호처리의 고속화 및 실시간 처리가 가능하며, 디지탈 신호처리 칩(digital signal processing chip)을 내장함으로 인해 다양한 결함 유형의 자동검출이 용이 하다는 장점을 가지게 된다. 또한 단일모듈에 의한 검색시스템을 광영상화부, 고속영상신호처리부 및, 출력표시부로 구성하여 응용에 따라 각 기능부를 용이하게 조정할 수 있게 되며, 기판의 크기와 검출되어야 하는 결함의 크기에 따라 기판 표면의 영상화 배율 및 다양한 센서수를 갖는 CCD(charge coupled device) 센서어레이를 쉽게 변경할 수 있는 고신뢰성의 무패턴 기판 결함 자동검색장치를 구현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR100128016B1
公开(公告)日：1998-04-04
申请号：KR1019940015935
申请日：1994-07-04
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01L1/24
Abstract: The minute pressure measuring method is comprised of (a) preparing a remote measuring apparatus(2) composing a light source(5), an optical detector(6), an electronic circuit(7) for position detection and an output displaying part(8), and transmitting the light irradiated from the light source through an optical fiber bundle(3) to a place to be measured, then receiving again the light transmitted through a glass tube(1a) with a measuring probe(4) to transmit light to the remote measuring apparatus(2) through the optical fiber bundle; (b) performing real-time tracking the change of a liquid surface level based on light transmitted to the remote measuring apparatus(2), digitalizing it to display the liquid surface level and a minute pressure on the output displaying part(8).
Abstract translation: 微压力测量方法包括：（a）制备构成光源（5）的远程测量装置（2），光学检测器（6），用于位置检测的电子电路（7）和输出显示部分（8） ），并将从光源照射的光通过光纤束（3）传输到待测量的位置，然后再次接收通过测量探针（4）透射通过玻璃管（1a）的光以透射光 远程测量装置（2）通过光纤束; （b）基于传输到所述远程测量装置（2）的光，实时跟踪液面水平的变化，数字化以在所述输出显示部分（8）上显示液面水平和微小压力。
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