이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터(ISFET) 센서
    2.
    发明公开
    이중 게이트 이온 감지 전계 효과 트랜지스터(ISFET) 센서 无效
    双门敏感场效应晶体管传感器

    公开(公告)号:KR1020160013768A

    公开(公告)日:2016-02-05

    申请号:KR1020140096028

    申请日:2014-07-28

    CPC classification number: G01N27/414 C12Q1/00 G01N33/50

    Abstract: 이중게이트이온감지전계효과트랜지스터(ISFET) 센서가제공되고, 본발명의일 실시예에따른이중게이트이온감지전계효과트랜지스터(ISFET) 센서는하부게이트전극, 하부게이트전극위에위치하는하부절연막, 하부절연막위에위치하고서로이격되어있는소스및 드레인, 하부절연막위에위치하고소스및 상기드레인사이에위치하는채널층, 소스, 드레인, 그리고채널층위에위치하는상부절연막, 그리고상부절연막위에위치하는상부게이트전극을포함하고, 채널층의두께는 10 nm 이하이고, 초정전결합을이용한것일수 있다.

    Abstract translation: 提供了双栅离子敏感场效应晶体管(ISFET)传感器。 根据本发明的实施例,ISFET传感器包括:下栅电极; 下绝缘膜放置在下栅电极上; 放置在下绝缘膜上以彼此远离的源极和漏极; 放置在下绝缘膜上并位于源极和漏极之间的沟道层; 放置在源极,漏极和沟道层上的上绝缘膜; 以及放置在上绝缘膜上的上栅电极。 通道层厚度为10nm或更薄,并且可以使用超电容耦合。

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