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公开(公告)号:KR101999143B1
公开(公告)日:2019-07-11
申请号:KR1020170020618
申请日:2017-02-15
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 장석재 , 이승기 , 문병준 , 배수강 , 이상현 , 김태욱 , 이동수
IPC: H01L51/05 , H01L21/02