公开(公告)号：KR101618337B1

公开(公告)日：2016-05-09

申请号：KR1020140046849

申请日：2014-04-18

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김상훈 ,  변지영 ,  퀸 ,  하헌필

IPC: G01N27/26 ,  G01N27/30 ,  G01N27/31

Abstract: 본발명은효소를사용하지않으면서도메조포러스(mesoporous)(중기공성) 박막을이용하여반응감도및 안정성이우수한센서를제조하는방법및 이에의하여제조된센서에관한것이다. 본발명은기판상에접착층(adhesive layer)을형성하는단계, 접착층상에두 가지이상의원소를함유하는합금박막을형성하는단계, 합금박막으로부터특정원소를선택적으로제거하여다공층을형성하는제3 단계, 상기제조된박막을열처리하는제4단계및 기판, 접착층및 다공층을포함하는다공성박막을작동전극으로하여센서를제조하는단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 기존센서에비해안정성및 감도가우수하고, 신속한측정이가능하여현장에서즉시측정결과를확인할수 있는환경센서를구현할수 있다.

公开(公告)号：KR1020150121368A

公开(公告)日：2015-10-29

申请号：KR1020140046849

申请日：2014-04-18

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김상훈 ,  변지영 ,  퀸 ,  하헌필

IPC: G01N27/26 ,  G01N27/30 ,  G01N27/31

CPC classification number: G01N27/26 ,  G01N27/30 ,  G01N27/31

Abstract: 본발명은효소를사용하지않으면서도메조포러스(mesoporous)(중기공성) 박막을이용하여반응감도및 안정성이우수한센서를제조하는방법및 이에의하여제조된센서에관한것이다. 본발명은기판상에접착층(adhesive layer)을형성하는단계, 접착층상에두 가지이상의원소를함유하는합금박막을형성하는단계, 합금박막으로부터특정원소를선택적으로제거하여다공층을형성하는제3 단계, 상기제조된박막을열처리하는제4단계및 기판, 접착층및 다공층을포함하는다공성박막을작동전극으로하여센서를제조하는단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 기존센서에비해안정성및 감도가우수하고, 신속한측정이가능하여현장에서즉시측정결과를확인할수 있는환경센서를구현할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及使用不使用酶的介孔薄膜制造具有高响应灵敏度和高稳定性的传感器的方法及其制造的传感器。 本发明包括：在基板上形成粘合剂层的第一步骤，在粘合剂层上形成含有两种或更多种元素的合金薄膜的第二步骤，通过选择性地除去特定元素形成多孔层的第三步骤 由合金薄膜制造热处理制造的薄膜的第四步骤，以及使用包括多孔层，基板和粘合剂层的多孔薄膜作为操作电极来制造传感器的第五步骤。 根据本发明，实现了与现有传感器相比能够获得高稳定性和高灵敏度的环境传感器，并且通过快速测量立即检查场上的测量结果。